[實用新型]氮化鋁陶瓷高溫氫氣燒結爐

有效

• 申請號: 201821825472.0
• 申請日: 2018-11-07
• 公開（公告）號: CN209013750U
• 公開（公告）日: 2019-06-21
• 發明（設計）人: 劉云飛;張春生;房陽陽;齊亞軍;王社禮
• 申請（專利權）人: 寶雞鼎晟真空熱技術有限公司
• 主分類號: F27B21/00
• 分類號: F27B21/00
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 宋秀珍;翟小梅

1.氮化鋁陶瓷高溫氫氣燒結爐，其特征在于：包括爐體(1)，所述爐體(1)上口通過上爐蓋(7)蓋合，所述爐體(1)下口通過可上下升降的活動爐底(2)蓋合，所述活動爐底(2)通過固定于地基上的平臺升降傳動系統(24)實現上下升降，所述爐體(1)內部設有防止對爐內氮化鋁物料造成污染的低揮發型爐襯(3)，所述低揮發型爐襯(3)內部設有能夠保持爐內溫度均衡的均溫型加熱器(16)，所述上爐蓋(7)上設有上進氣通道(20)，所述活動爐底(2)上設有下出氣通道(23)，所述上進氣通道(20)和下出氣通道(23)形成上進下出的氫氣進出通道結構。

2.根據權利要求1所述的氮化鋁陶瓷高溫氫氣燒結爐，其特征在于：所述低揮發型爐襯(3)包括設于爐體(1)內側面一周的側隔熱屏(4)、固定于上爐蓋(7)內側的頂部隔熱屏(5)和固定于活動爐底(2)內側的底部隔熱屏(6)，所述爐體(1)內表面設有對側隔熱屏(4)進行定位的側屏定位裝置(17)，所述側隔熱屏(4)、頂部隔熱屏(5)和底部隔熱屏(6)均采用全金屬鎢鉬材料制成。

3.根據權利要求2所述的氮化鋁陶瓷高溫氫氣燒結爐，其特征在于：所述側隔熱屏(4)主要是由多個套合在一起的單側屏(401)組成，所述套合在一起的多個單側屏(401)外上部設有側屏支架(402)，所述多個單側屏(401)通過側屏支撐柱(403)與側屏支架(402)固定連接，相鄰兩個所述單側屏(401)之間設有側屏隔柱組件(404)，所述側隔熱屏(4)內外表面上均設有側屏橫筋(405)，所述側隔熱屏(4)內表面下部設有側屏定型環(406)；所述頂部隔熱屏(5)包括多個頂部單屏片(501)，所述多個頂部單屏片(501)通過上螺栓組件(502)固定在頂屏支撐板(503)上；所述底部隔熱屏(6)包括多個底部單屏片(601)，所述多個底部單屏片(601)通過下螺栓組件(602)固定在底屏支撐板(603)上。

4.根據權利要求2所述的氮化鋁陶瓷高溫氫氣燒結爐，其特征在于：所述均溫型加熱器(16)包括設于低揮發型爐襯(3)內側部一周的主加熱器(8)、設于低揮發型爐襯(3)內上部的頂部輔助加熱器(10)和設于低揮發型爐襯(3)內下部的底部輔助加熱器(9)；所述主加熱器(8)內側設有主加熱控溫熱偶(14)和檢測熱偶(15)，所述上爐蓋(7)上設有主加熱引出電極(11)；所述頂部輔助加熱器(10)通過穿過頂部隔熱屏(5)的連接件與上爐蓋(7)連接，所述上爐蓋(7)上設有頂部加熱控溫熱偶(13)和頂部加熱引出電極(12)；所述底部輔助加熱器(9)通過穿過底部隔熱屏(6)的連接件與活動爐底(2)固定連接，所述活動爐底(2)上設有底部控溫熱偶(18)和底部加熱引出電極(19)。

5.根據權利要求4所述的氮化鋁陶瓷高溫氫氣燒結爐，其特征在于：所述主加熱器(8)采用鎢板材料制成，所述頂部輔助加熱器(10)和底部輔助加熱器(9)均采用鎢桿材料制成。

6.根據權利要求2所述的氮化鋁陶瓷高溫氫氣燒結爐，其特征在于：所述頂部隔熱屏(5)上設有進氫通道(21)，所述頂部隔熱屏(5)上部外沿設有擋氫環(22)。

7.根據權利要求2所述的氮化鋁陶瓷高溫氫氣燒結爐，其特征在于：所述上進氣通道(20)外端與氣源控制柜(25)連接，所述氣源控制柜(25)內設有氫氣控制氣路(26)和氮氣控制氣路(29)，所述氫氣控制氣路(26)上設有氫氣控制主閥門(28)和氫氣檢測流量計(27)，所述氮氣控制氣路(29)上設有氮氣控制主閥門(31)和氮氣檢測流量計(30)，所述氫氣控制氣路(26)和氮氣控制氣路(29)出口端接合后通過不銹鋼管(32)與上進氣通道(20)進口端連接；所述下出氣通道(23)出口端通過波紋管(33)與點火裝置(34)連接。