[實用新型]一種基于DMD數字光刻的高速實時調焦機構

有效

• 申請號: 201821822460.2
• 申請日: 2018-11-07
• 公開（公告）號: CN209356844U
• 公開（公告）日: 2019-09-06
• 發明（設計）人: 盧振武;孫強;許文斌;藺春波;劉建卓;許家林;王鶴;徐佳
• 申請（專利權）人: 長春長光中天光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B7/04
• 代理公司: 長春吉大專利代理有限責任公司 22201
• 代理人: 劉世純

1.一種基于DMD數字光刻的高速實時調焦機構，其特征在于，包括鉸接座(1)，所述鉸接座(1)固定在外部框架上，所述鉸接座(1)與第一連桿(2)的一端鉸接，所述第一連桿(2)的另一端與第二連桿(5)的一端鉸接，所述第二連桿(5)的另一端與調焦座(6)的側面鉸接，所述調焦座(6)的底面與滑塊(7)固定連接，所述滑塊(7)與導軌(8)滑動連接，所述導軌(8)安裝在支板(12)上，所述第一連桿(2)中間設有滑槽(4)，所述滑槽(4)內安裝有轉輪(3)，所述轉輪(3)與主動桿(9)的一端鉸接，所述主動桿(9)的另一端與伺服電機(10)的軸固定連接，所述伺服電機(10)通過安裝板固定安裝在支板(12)上。

2.如權利要求1所述的一種基于DMD數字光刻的高速實時調焦機構，其特征在于，所述調焦座(6)包括基體(60)及調換殼(61)，所述基體(60)為階梯式的中空結構，調換殼(61)安裝在基體(60)內，所述調換殼(61)內裝有鏡片(63)，壓蓋(62)接觸鏡片(63)并固定安裝在基體(60)上。

3.如權利要求2所述的一種基于DMD數字光刻的高速實時調焦機構，其特征在于，所述調換殼(61)和壓蓋(62)的材料為尼龍。

4.如權利要求1所述的一種基于DMD數字光刻的高速實時調焦機構，其特征在于，所述導軌(8)的兩端設有限位塊。

5.如權利要求1所述的一種基于DMD數字光刻的高速實時調焦機構，其特征在于，所述調焦座(6)正上方依次設有第一中繼鏡(11)和第二中繼鏡(13)，所述第一中繼鏡(11)和第二中繼鏡(13)分別固定安裝在支板(12)上。