[實用新型]一種激光加工間距調整結構有效

申請號：	201821821062.9	申請日：	2018-11-06
公開（公告）號：	CN209407661U	公開（公告）日：	2019-09-20
發明（設計）人：	李忠乾;辛煥寅;李福海;費康杰;周黎明;李海峰;陳紅;黃浩;張紅江;柳嘯;尹建剛;高云峰	申請（專利權）人：	大族激光科技產業集團股份有限公司
主分類號：	B23K26/067	分類號：	B23K26/067
代理公司：	深圳市世聯合知識產權代理有限公司 44385	代理人：	汪琳琳
地址：	518000 廣東省深***	國省代碼：	廣東;44
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摘要：
搜索關鍵詞：	驅動軸分光間距調整結構激光加工元器件轉動子激光束安裝架皮帶激光加工技術待加工工件元器件放置皮帶轉動軸線平行劃痕焦點申請加工
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【說明書】：

本申請屬于激光加工技術領域，公開了一種激光加工間距調整結構。所述激光加工間距調整結構包括安裝架、驅動軸和皮帶；將所述分光元器件放置于所述安裝架內；所述驅動軸與所述分光元器件的軸線平行，且兩者通過皮帶相連接，所述驅動軸轉動帶動所述皮帶轉動進而帶動所述分光元器件轉動。通過轉動所述驅動軸，使其轉過一定的角度，進而帶動所述分光元器件轉過一定的角度改變射向所述待加工工件的多束所述子激光束中的每兩束所述子激光束的焦點之間的實際有效加工的劃痕間距。

技術領域

本申請屬于激光加工技術領域，公開了一種激光加工間距調整結構。

背景技術

在晶元精密加工領域，隨著激光加工技術越來越成熟，對效率要求也越來越高的背景下，如何進一步有效、大幅度地提高激光加工效率，是很值得研究的問題。目前晶元加工都采用單軌加工的方式，即單束激光束進行加工的方式，且加工技術已經很成熟，想要進一步提升效率，只有依賴提升加工速度，而且考慮到工藝效果、精密平臺的運動性能，也不可能大幅度改變加工速度，想要進一步提升效率已經幾乎不可能。

在新研發的多軌道激光加工中，涉及到調整激光束的間距調整問題。

實用新型內容

為了解決上述技術問題，本申請實施例提供了一種能夠調整激光束的間距的激光加工間距調整結構。

一種激光加工間距調整結構，包括安裝有分光元器件的安裝架、驅動軸和皮帶；

所述驅動軸與所述分光元器件的軸線平行，且兩者通過皮帶相連接，所述驅動軸轉動帶動所述皮帶轉動進而帶動所述分光元器件轉動。

進一步的，在所述驅動軸上套設有與所述皮帶相嵌合的第一皮帶輪，所述驅動軸轉動通過所述第一皮帶輪帶動所述皮帶轉動進而帶動所述分光元器件轉動。

進一步的，所述分光元器件的外側設有與所述皮帶相嵌合的皮帶輪，所述皮帶輪在所述皮帶的作用下轉動進而帶動所述分光元器件轉動。

進一步的，所述安裝架包括水平方向的座板、垂直于座板上的豎直架、調節組件；

所述調節組件包括五維調節件、安裝所述五維調節件并與所述豎直架固定連接的豎直安裝板以及平行于所述安裝板的調節板；

所述五維調節件包括三個平行設置且上下分布的調節旋鈕，所述調節旋鈕活動穿過安裝板并與所述調節板固定連接，用于調節所述分光元器件與豎直方向的角度。

可選的，所述五維調節件還包括兩個調節旋鈕，一個調節旋鈕裝設于所述調節板的上表面，用于調節所述分光元器件的豎直方向的位置，另一個調節旋鈕裝設于所述調節板上沿分光元器件的徑向方向的側面，用于調節所述分光元器件的水平方向的位置。

進一步的，所述分光元器件裝設于所述調節板背離所述五維調節件的一側，且所述分光元器件的中心軸線垂直于所述調節板。