[實用新型]高穩(wěn)定的微調平臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821821005.0
• 申請日: 2018-11-06
• 公開（公告）號: CN209069964U
• 公開（公告）日: 2019-07-05
• 發(fā)明（設計）人: 林詠華
• 申請（專利權）人: 深圳市凱碼時代科技有限公司
• 主分類號: G01R1/02
• 分類號: G01R1/02;G01R1/04
• 代理公司: 深圳市宏德雨知識產權代理事務所(普通合伙) 44526
• 代理人: 李捷

1.一種高穩(wěn)定的微調平臺，其特征在于，包括基座、設置在所述基座四角的微調模塊以及用于驅動所述微調模塊運動的驅動組件；

其中所述微調模塊包括：

第一滑塊，滑動連接在所述基座上；

第二滑塊，滑動連接在所述第一滑塊的頂面上，所述第二滑塊的滑動方向與所述第一滑塊的滑動方向垂直；

套筒件，固定設置在所述第二滑塊的頂面上；

轉臺件，通過兩個軸承轉動連接在所述套筒件內，轉動軸線的延伸方向為豎向方向，所述轉動軸線的延伸方向、所述第一滑塊的滑動方向以及所述第二滑塊的滑動方向互相垂直，所述轉臺的一端從所述套筒件頂部延出至外部以與需要微調的部件連接。

2.根據權利要求1所述的高穩(wěn)定的微調平臺，其特征在于，在所述套筒件的兩端設置有第一擋板和第二擋板，所述第一擋板位于所述套筒件遠離所述第二滑塊的一端，所述第二擋板位于所述套筒件和所述第二滑塊之間，所述第一擋板與所述套筒件固定連接，所述第二擋板與所述轉臺件固定連接，在所述轉臺件上套設有軸套件，一個所述軸承限位在所述第一擋板和所述軸套件之間，另一個所述軸承限位在所述第二擋板和所述軸套件之間。

3.根據權利要求1所述的高穩(wěn)定的微調平臺，其特征在于，在所述套筒件的內壁上設置有用于設置所述軸承的定位槽，在所述轉臺件上遠離所述第二滑塊的一端設置有用于限制所述軸承的位置的軸肩。

4.根據權利要求1所述的高穩(wěn)定的微調平臺，其特征在于，所述高穩(wěn)定的微調平臺包括分別與對應的一個所述微調模塊的第一滑塊傳動連接第一驅動組件、第二驅動組件以及第三驅動組件，所述第二驅動組件的驅動方向為X方向，所述第一驅動組件和所述第三驅動組件的驅動方向為Y方向，所述X方向和所述Y方向互相垂直。

5.根據權利要求4所述的高穩(wěn)定的微調平臺，其特征在于，在所述基座上固定設置有三個磁柵尺組件，三個磁柵尺組件分別用于一一對應的測量所述第一驅動組件、所述第二驅動組件以及所述第三驅動組件連接的第一滑塊的位移。

6.根據權利要求5所述的高穩(wěn)定的微調平臺，其特征在于，所述磁柵尺組件包括支架座、尺體、磁頭、滑動連接塊、頂桿以及彈簧，在所述支架座的兩端均設置有擋塊；

所述尺體固定設置在所述支架座上，所述滑動連接塊滑動設置在所述支架座上，所述頂桿和所述磁頭均與所述滑動連接塊固定連接，所述磁頭與所述尺體接觸，所述頂桿的延伸方向、所述滑動連接塊的滑動方向均與所述第一滑塊的滑動方向一致，所述頂桿的一端與所述第一滑塊接觸，所述頂桿的另一端套接所述彈簧，所述頂桿貫穿滑動連接在一端的擋塊上，所述彈簧限位在所述滑動連接塊和另一端的所述擋塊之間。

7.根據權利要求6所述的高穩(wěn)定的微調平臺，其特征在于，所述頂桿的一端設置有用于與所述第一滑塊接觸的倒圓面。

8.根據權利要求1所述的高穩(wěn)定的微調平臺，其特征在于，所述驅動組件包括絲杠、螺母件以及電機，所述螺母件于所述第一滑塊固定連接，所述絲杠與所述螺母件傳動連接，所述絲杠與所述電機傳動連接。

9.根據權利要求1所述的高穩(wěn)定的微調平臺，其特征在于，在所述基座上固定設置有第一導軌，在所述第一滑塊上設置有與所述第一導軌相對應的第一滑槽，在所述第一滑塊上的頂面上設置有第二滑槽，在所述第二滑塊上設置有與所述第二滑槽相對應的第二導軌。

10.根據權利要求1所述的高穩(wěn)定的微調平臺，其特征在于，所述軸承為角接觸球軸承。