[實用新型]便攜式自動引晶設備和單晶爐

有效

• 申請號: 201821819265.4
• 申請日: 2018-11-06
• 公開（公告）號: CN209144308U
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發明（設計）人: 閆廣寧;趙會剛;張在存;閆建輝;曹潔;董永見
• 申請（專利權）人: 寧晉松宮電子材料有限公司
• 主分類號: C30B15/20
• 分類號: C30B15/20;C30B29/06
• 代理公司: 石家莊德皓專利代理事務所(普通合伙) 13129
• 代理人: 楊瑞龍

本實用新型公開了一種便攜式自動引晶設備和單晶爐，其中，便攜式自動引晶設備包括：至少一個圖像采集裝置，分別安裝在每個單晶爐的伊爾根處；接口，可拆卸地連接在每個單晶爐的控制柜的手操器上；控制器，根據至少一個圖像采集裝置采集的圖像，并通過接口對每個單晶爐的控制器進行控制。本實用新型實施例提供的便攜式自動引晶設備和單晶爐，避免在引晶過程中摻入人為影響，從而降低產品在品質上的差異，為晶體生長提供較為穩定的環境，解決了現有技術依賴人工操作對引晶過程進行控制及其引發的各種問題。

技術領域

本實用新型涉及硅晶單元制備裝置技術領域，具體涉及一種便攜式自動引晶設備和單晶爐。

背景技術

引晶在提拉法晶體生產工藝中占據著重要的地位，引晶的好壞直接影響后續晶體生長的品質，以及晶體能否成功生長。長期以來引晶過程都依靠人工操作進行控制，由工人憑借自身經驗來判斷溫度是否已適合晶體生長，帶有很大的主觀性，極易造成產品在品質上的差異，例如不同產品的引細徑參差不齊，從而使得晶體生長存在很大的不穩定性。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型實施例提供了一種便攜式自動引晶設備和單晶爐，以解決現有技術依賴人工操作對引晶過程進行控制的問題。

根據第一方面，本實用新型實施例提供了一種便攜式自動引晶設備，包括：至少一個圖像采集裝置，分別安裝在每個單晶爐的伊爾根處，所述至少一個圖像采集裝置可拆卸；接口，可拆卸地連接在所述每個單晶爐的控制柜的手操器上；控制器，根據所述至少一個圖像采集裝置采集的圖像，并通過所述接口對所述每個單晶爐的控制器進行控制。

本實用新型實施例提供的便攜式自動引晶設備，由于利用圖像采集裝置采集每個單晶爐內部的晶體生長圖像，使得通過對圖像的特征提取及識別，能夠對每個單晶爐內部的晶體生長情況進行統一標準的劃分，進而實現對引晶過程的控制。由于對圖像進行客觀地統一標準的劃分，避免在引晶過程中摻入人為影響，從而降低產品在品質上的差異，為晶體生長提供較為穩定的環境，解決了現有技術依賴人工操作對引晶過程進行控制及其引發的各種問題。此外，本實用新型實施例提供的便攜式自動引晶設備可以根據需要操控的單晶爐的數量，對應設置圖像采集裝置的數量，即為每一個單晶爐配置至少一個圖像采集裝置，并配合多線程的數據處理方式，能夠實現對多個單晶爐的自動引晶控制，不僅能夠方便地實現現有人工控制的單晶爐的自動化改造，還有利于提高自動引晶的生產效率。

結合第一方面，在第一方面第一實施方式中，所述的便攜式自動引晶設備還包括：顯示器，與所述控制器和所述至少一個圖像采集裝置電連接。

本實用新型實施例提供的便攜式自動引晶設備，通過設置顯示器，使得用戶能夠利用顯示器實時觀察每個單晶爐內部的晶體生長圖像，以及便攜式自動引晶設備對每個單晶爐的具體的控制參數，從而幫助用戶實時掌握自動引晶的進展。

結合第一方面第一實施方式，在第一方面第二實施方式中，所述顯示器為觸摸屏。

本實用新型實施例提供的便攜式自動引晶設備，由于選用觸摸屏作為顯示器，不僅使用戶實時掌握自動引晶的進展，還能夠使用戶在發現自動引晶異常時及時通過觸摸屏向便攜式自動引晶設備輸入人工控制信號，從而避免生產事故的發生。

結合第一方面第一或第二實施方式，在第一方面第三實施方式中，所述的便攜式自動引晶設備還包括：電源，為所述控制器、所述至少一個圖像采集裝置和所述顯示器供電。

本實用新型實施例提供的便攜式自動引晶設備，通過設置電源，實現了對控制器、圖像采集裝置及顯示器的不間斷供電，從而保證了自動引晶的可靠性。

結合第一方面第三實施方式，在第一方面第四實施方式中，所述接口為航空插頭。

本實用新型實施例提供的便攜式自動引晶設備，通過航空插頭將單晶爐控制器與便攜式自動引晶設備連接起來，從而使便攜式自動引晶設備能夠對單晶爐的控制器進行控制，從而實現自動引晶。