[實用新型]一種雙臺面直寫式曝光機

有效

• 申請號: 201821818325.0
• 申請日: 2018-11-06
• 公開（公告）號: CN209433179U
• 公開（公告）日: 2019-09-24
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 蘇州源卓光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 蘇州國誠專利代理有限公司 32293
• 代理人: 王麗

本實用新型提供了一種雙臺面直寫式曝光機，提升了設備利用率,減少了設備各系統的工作的空閑時間,從而有效提升了曝光機的產能，包括底座和通過龍門機構順序設置在底座上的對位機構、曝光機構，在底座上設置有兩個相互平行設置的步進軸運動組件，步進軸運動組件上分別安裝有Z軸運動組件，步進軸運動組件能夠帶動Z軸運動組件前后移動經過對位機構、曝光機構，Z軸運動組件分別與基板承載臺面固定連接，基板承載臺面上設有吸盤，基板承載臺面一上一下設置成兩層，Z軸運動組件能夠帶動基板承載臺面上下移動使得曝光焦面對準。

技術領域

本實用新型涉及激光直寫式曝光機技術領域，具體為一種雙臺面直寫式曝光機。

背景技術

激光直寫式曝光是用于在襯底表面上印刷具有特征的構圖，相比于傳統的掩膜版和菲林底片等曝光的影像直接轉移技術，直寫式曝光技術產能高，對位精度高。在半導體及PCB生產領域有著非常重要的作用。

目前市場上直寫曝光多以單臺面曝光機為主。現有的單臺面曝光機的產能較低，生產周期長，每一片基板的曝光需要完成上板，對準，曝光，下板等工序，整個流程時間較長。而曝光產能又是客戶需求的一項重要指標，提高直寫曝光機的產能非常有必要。

實用新型內容

針對上述問題，本實用新型提供了一種雙臺面直寫式曝光機，提升了設備利用率,減少了設備各系統的工作的空閑時間,從而有效提升了曝光機的產能。

其技術方案的是這樣的：一種雙臺面直寫式曝光機，包括底座和通過龍門機構順序設置在所述底座上的對位機構、曝光機構，其特征在于：在所述底座上設置有兩個相互平行設置的步進軸運動組件，所述步進軸運動組件上分別安裝有Z軸運動組件，所述步進軸運動組件能夠帶動所述Z軸運動組件前后移動經過所述對位機構、曝光機構，所述Z軸運動組件分別與基板承載臺面固定連接，所述基板承載臺面上設有吸盤，所述基板承載臺面一上一下設置成兩層，所述Z軸運動組件能夠帶動所述基板承載臺面上下移動使得曝光焦面對準。

進一步的，所述對位機構包括安裝在第一龍門機構上的對位軸運動組件，所述對位軸運動組件包括運動電機和直線導軌，運動電機上設置有對位系統，所述運動電機能夠帶動對位系統沿所述直線導軌運動。

進一步的，所述曝光機構包括安裝在所述龍門機構上的掃描軸運動組件，所述掃描軸運動組件上安裝有曝光系統，所述掃描軸運動組件能夠帶動所述曝光系統運動。

進一步的，所述曝光機構包括安裝在第一龍門機構上的第一掃描軸運動組件和安裝在所述第二龍門機構上的第二掃描軸運動組件，所述第一掃描軸運動組件平行于所述第二掃描軸運動組件設置，所述第一掃描軸運動組件與所述第二掃描軸運動組件之間設置有橫梁，所述第一掃描軸運動組件和所述第二掃描軸運動組件能夠同步帶動橫梁運動，所述曝光系統順序排布在所述橫梁上。

進一步的，所述曝光系統等距安裝在所述橫梁上。

進一步的，所述龍門機構包括分別設置在所述底座兩側的龍門立柱，所述龍門立柱的上端設置有安裝龍門。

進一步的，所述步進軸運動組件、Z軸運動組件、對位軸運動組件、第一掃描軸運動組件、第二掃描軸運動組件分別與運動控制系統電控連接。

進一步的，所述曝光系統包括曝光鏡頭，所述對位系統包括CCD相機、對準鏡頭和照明光源。

進一步的，所述基板承載臺面通過螺釘固定在所述Z軸運動組件的Z軸懸臂上。