[實(shí)用新型]一種用于環(huán)形基片涂布光刻膠的夾具有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201821794965.2 | 申請(qǐng)日： | 2018-11-02 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN209452202U | 公開(kāi)（公告）日： | 2019-10-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 郭翔宇 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 長(zhǎng)沙邁博光電有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B05C13/02 | 分類號(hào)： | B05C13/02 |
| 代理公司： | 安化縣梅山專利事務(wù)所 43005 | 代理人： | 夏贊希 |
| 地址： | 410000 湖南省長(zhǎng)沙市長(zhǎng)沙經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)*** | 國(guó)省代碼： | 湖南;43 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 夾具 環(huán)形基片 光刻膠 臺(tái)階部 橡膠圈 底座 本實(shí)用新型 固定螺釘 頂柱孔 固定孔 螺紋孔 頂柱 壓帽 釘螺 下端位置 壓緊螺釘 壓緊螺 壓帽套 環(huán)片 夾緊 夾裝 內(nèi)孔 配套 嵌入 膨脹 制作 | ||
1.一種用于環(huán)形基片涂布光刻膠的夾具，其特征在于，包括：
底座，所述底座上周向設(shè)有若干個(gè)固定孔和頂柱孔，所述底座的中部設(shè)有臺(tái)階部，所述臺(tái)階部的中部開(kāi)設(shè)有螺紋孔；
頂柱，所述頂柱嵌入設(shè)于所述頂柱孔內(nèi)；
固定螺釘，所述固定螺釘設(shè)于所述固定孔內(nèi)；
壓帽，所述壓帽套接于所述臺(tái)階部上；
橡膠圈，所述橡膠圈緊配套設(shè)于所述壓帽外；
工件，所述工件設(shè)于所述臺(tái)階部上，并且緊配套設(shè)于所述橡膠圈外的下端位置；
壓緊螺釘，所述壓緊螺釘螺接于所述螺紋孔內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于環(huán)形基片涂布光刻膠的夾具，其特征在于，所述固定孔為3個(gè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于環(huán)形基片涂布光刻膠的夾具，其特征在于，所述頂柱孔為3個(gè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于環(huán)形基片涂布光刻膠的夾具，其特征在于，所述底座采用LY12鋁合金制成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于環(huán)形基片涂布光刻膠的夾具，其特征在于，所述頂柱采用PTFE制成。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于環(huán)形基片涂布光刻膠的夾具，其特征在于，所述壓帽采用304不銹鋼制成。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于環(huán)形基片涂布光刻膠的夾具，其特征在于，所述橡膠圈采用硅膠圈。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于環(huán)形基片涂布光刻膠的夾具，其特征在于，所述工件為環(huán)形玻璃基片。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于環(huán)形基片涂布光刻膠的夾具，其特征在于，所述頂柱高度低于所述臺(tái)階部的高度。
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