[實用新型]帶有折射鏡的光路一致式位移傳感器

有效

• 申請號: 201821794652.7
• 申請日: 2018-11-01
• 公開（公告）號: CN208936970U
• 公開（公告）日: 2019-06-04
• 發明（設計）人: 張白;張家坤;楊海濤
• 申請（專利權）人: 北方民族大學
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 北京市領專知識產權代理有限公司 11590
• 代理人: 林輝輪;張玲

1.一種帶有折射鏡的光路一致式位移傳感器，其特征在于，包括：

三角波反射鏡，包括第一反射面和第二反射面；

激光束，入射至三角波反射鏡的第一反射面；

反射鏡，用于接收激光束被三角波反射鏡的第一反射面反射的激光束，且使該激光束在激光束入射至同一個第一反射面的測量過程中，沿同一路徑反射至三角波反射鏡的第二反射面；

折射鏡，用于接收反射鏡反射至三角波反射鏡的第二反射面后經第二反射面反射的激光束，并使入射的激光束發生折射；

光電探測器，用于接收經所述折射鏡折射后的激光束，并測量其入射位置；

處理系統，用于根據光電探測器接收到的激光束的入射位置變化量計算出被測物體的位移變化值。

2.根據權利要求1所述的帶有折射鏡的光路一致式位移傳感器，其特征在于，反射鏡平行于第一反射面，同時平行于第二反射面，激光束與第一反射面的銳角夾角等于兩倍第一反射面與水平面的夾角。

3.根據權利要求2所述的帶有折射鏡的光路一致式位移傳感器，其特征在于，所述三角波反射鏡的第一反射面和第二反射面分別與水平面的夾角為150度，激光束入射至第一反射面的入射角為30度。

4.根據權利要求1所述的帶有折射鏡的光路一致式位移傳感器，其特征在于，所述折射鏡與光電探測器貼合。

5.根據權利要求1所述的帶有折射鏡的光路一致式位移傳感器，其特征在于，所述激光束為P偏振光。

6.根據權利要求1所述的帶有折射鏡的光路一致式位移傳感器，其特征在于，所述折射鏡的入射面與出射面均為平面，且入射面與出射面相互平行。

7.根據權利要求1-6任一所述的帶有折射鏡的光路一致式位移傳感器，其特征在于，還包括殼體，激光束由激光源發射得到，激光源、反射鏡、折射鏡和光電探測器均固定設置于殼體內，組成讀數頭。

8.根據權利要求7所述的帶有折射鏡的光路一致式位移傳感器，其特征在于，所述讀數頭為至少兩個，且所述至少兩個讀數頭之間的位置關系滿足：在測量過程中，至少有一個讀數頭可以讀取到激光束在光電探測器上的入射位置變化量。