[實(shí)用新型]蒸鍍掩模裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821792400.0
• 申請(qǐng)日: 2018-11-01
• 公開（公告）號(hào): CN209816256U
• 公開（公告）日: 2019-12-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 岡本英介
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 大日本印刷株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C23C14/04
• 分類號(hào): C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 11127 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 于靖帥;黃綸偉

1.一種蒸鍍掩模裝置，其至少臨時(shí)與保持部件所保持的基板組合，其特征在于，該蒸鍍掩模裝置具有：

蒸鍍掩模，其包含從位于所述基板側(cè)的第1面至位于所述第1面的相反側(cè)的第2面的多個(gè)掩模貫通孔；以及

框架，其設(shè)置有與所述蒸鍍掩模的一部分重疊的開口部并且對(duì)所述蒸鍍掩模進(jìn)行支承，

所述框架具有：

正面，其面向所述蒸鍍掩模的所述第2面；

背面，其與所述正面對(duì)置；

外側(cè)面，其在所述正面與所述背面之間擴(kuò)展；以及

內(nèi)側(cè)面，其面向所述開口部，在比所述外側(cè)面靠?jī)?nèi)側(cè)的位置在所述正面與所述背面之間擴(kuò)展，

在所述框架的所述正面中的遠(yuǎn)離所述開口部的位置形成有能夠收納所述保持部件的至少一部分的多個(gè)收納部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍掩模裝置，其特征在于，

多個(gè)所述收納部形成于所述開口部與所述外側(cè)面之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍掩模裝置，其特征在于，

多個(gè)所述收納部延伸至所述外側(cè)面。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍掩模裝置，其特征在于，

所述框架的所述正面包含：

第1正面，其位于所述內(nèi)側(cè)面?zhèn)龋灰约?/p>

第2正面，其位于所述外側(cè)面?zhèn)炔⑶椅挥诒人龅?正面靠所述背面?zhèn)鹊奈恢茫?/p>

所述第1正面與所述第2正面經(jīng)由中間面而相互連結(jié)，

所述收納部形成于所述第1正面并且延伸至所述中間面。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍掩模裝置，其特征在于，

多個(gè)所述收納部形成為圍繞所述開口部。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍掩模裝置，其特征在于，

所述蒸鍍掩模包含焊接于所述框架的所述正面的接合部，

所述接合部的至少一部分位于所述開口部與所述收納部之間。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍掩模裝置，其特征在于，

各個(gè)所述收納部的至少一部分形成于比所述蒸鍍掩模的長(zhǎng)度方向上的一對(duì)端部靠?jī)?nèi)側(cè)的位置。

8.一種蒸鍍掩模裝置，其特征在于，具有：

蒸鍍掩模，其具有第1面和位于所述第1面的相反側(cè)的第2面；以及

框架，其具有位于所述蒸鍍掩模側(cè)的第3面和位于所述第3面的相反側(cè)的第4面，

所述蒸鍍掩模與所述框架經(jīng)由接合部而相互接合，

所述框架還具有位于所述接合部的外側(cè)的第5面，

所述第5面的至少一部分位于比所述第3面靠所述第4面?zhèn)鹊奈恢茫?/p>

所述第5面是收納部的一個(gè)面，在將保持部件所保持的基板組合于蒸鍍掩模裝置時(shí)，所述收納部能夠收納所述保持部件的至少一部分。