[實用新型]集成電路制程異常的定位裝置

有效

• 申請號: 201821784199.1
• 申請日: 2018-10-31
• 公開（公告）號: CN209199879U
• 公開（公告）日: 2019-08-02
• 發明（設計）人: 閆曉東
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L21/67
• 代理公司: 北京律智知識產權代理有限公司 11438
• 代理人: 闞梓瑄;袁禮君

1.一種集成電路制程異常的定位裝置，其特征在于，包括：

信息輸入模塊，用于輸入數據類型以及產品預設的編號信息；

制程選擇模塊，用于顯示與被輸入所述編號信息的所述產品相關的若干制程量測信息，并從若干所述制程量測信息中選擇目標制程量測信息，所述目標制程量測信息與輸入的所述數據類型相符合；

顯示標記模塊，用于顯示所選擇的所述制程量測信息，并將所述制程量測信息中處于預設閾值范圍之外的量測數據進行標記，實現對所述集成電路制程異常的定位。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述信息輸入模塊中所述數據類型包括：線上量測數據，缺陷測試數據，電性測試數據，晶圓測試數據以及封裝測試數據。

3.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置還連接至制程信息存儲系統，所述制程信息存儲系統中存儲有與所述產品的相關所述制程量測信息。

4.根據權利要求3所述的裝置，其特征在于，所述制程選擇模塊連接至所述制程信息存儲系統，并根據被輸入的所述編號信息的產品顯示相關的制程信息，所述制程信息包括：制程站點信息和制程量測信息；在選擇所述制程站點信息時顯示與所述制程站點相關的制程量測信息，從中選擇需要查看的部分所述制程量測信息。

5.根據權利要求3所述的裝置，其特征在于，所述顯示標記模塊連接至所述制程信息存儲系統，具體用于：

根據所選擇的所述數據類型，將預設時間段內的各個量測數據輸出；

將超出所述預設閾值范圍的上限值的量測數據進行標記，和/或

將低于所述預設閾值范圍的下限值的量測數據進行標記。