[實用新型]半導(dǎo)體制程設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821778556.3
• 申請日: 2018-10-26
• 公開（公告）號: CN208938918U
• 公開（公告）日: 2019-06-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張佑語;黃俊堯
• 申請（專利權(quán)）人: 麥豐密封科技股份有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H01L21/687
• 代理公司: 北京派特恩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11270
• 代理人: 康艷青;姚開麗

1.一種半導(dǎo)體制程設(shè)備，承載一晶圓，其特征在于，包括：

上部組件，承載所述晶圓；

下部組件，承載所述上部組件，且具有側(cè)壁表面；

環(huán)狀凹口，位于所述下部組件及所述上部組件之間；以及

彈性體，具有相互連接的本體以及延伸部，其中所述本體設(shè)置于所述凹口內(nèi)，所述延伸部凸出于所述本體以及所述側(cè)壁表面，且沿所述側(cè)壁表面延伸。

2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制程設(shè)備，其特征在于，還包括連接層，位于所述上部組件及所述下部組件之間，用以連接所述上部組件及所述下部組件。

3.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制程設(shè)備，其特征在于，還包括外側(cè)組件，環(huán)繞所述上部組件及所述下部組件且對應(yīng)于所述上部組件的外側(cè)表面及所述下部組件的所述側(cè)壁表面設(shè)置，其中所述外側(cè)組件與所述延伸部之間相隔一距離。

4.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體制程設(shè)備，其特征在于，所述下部組件還具有凸出部，朝所述外側(cè)組件方向凸出，且所述延伸部抵接所述凸出部。

5.如權(quán)利要求1至4中任一項所述的半導(dǎo)體制程設(shè)備，其特征在于，所述延伸部于所述彈性體的徑向方向上具有一寬度，且所述延伸部的所述寬度的范圍介于0.05mm至1.0mm之間。

6.如權(quán)利要求1至4中任一項所述的半導(dǎo)體制程設(shè)備，其特征在于，還包括保護膜，設(shè)置于所述下部組件的所述側(cè)壁表面上，且位于所述下部組件以及所述彈性體之間。

7.如權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體制程設(shè)備，其特征在于，還包括第一側(cè)壁防護組件，設(shè)置于所述側(cè)壁表面并抵接所述凸出部，用以保護所述側(cè)壁表面。

8.如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體制程設(shè)備，其特征在于，還包括第二側(cè)壁防護組件，設(shè)置于所述側(cè)壁表面并抵接所述第一側(cè)壁防護組件，用以保護所述側(cè)壁表面，其中所述第二側(cè)壁防護組件位于所述凸出部與所述第一側(cè)壁防護組件之間。

9.如權(quán)利要求1至4中任一項所述的半導(dǎo)體制程設(shè)備，其特征在于，所述彈性體還具有至少一導(dǎo)角面，形成于所述本體的內(nèi)緣，且所述導(dǎo)角面為斜角或圓角。

10.如權(quán)利要求1至4中任一項所述的半導(dǎo)體制程設(shè)備，其特征在于，所述延伸部于所述彈性體的軸向方向上具有一長度，且所述長度的范圍介于0.3mm至20mm之間。

11.如權(quán)利要求1至4中任一項所述的半導(dǎo)體制程設(shè)備，其特征在于，所述彈性體具有氟化橡膠(Fluoro-elastomer)、全氟化橡膠(Perfluoro-elastomer)或氟硅橡膠(Fluorosilicone)材質(zhì)。

12.一種半導(dǎo)體制程設(shè)備，承載一晶圓，其特征在于，包括：

上部組件，承載所述晶圓，且具有第一側(cè)壁表面；

下部組件，承載所述上部組件，且具有第二側(cè)壁表面；

環(huán)狀凹口，位于所述下部組件及所述上部組件之間，且鄰接所述第一、第二側(cè)壁表面；以及

彈性體，具有相互連接的本體以及第一延伸部，其中所述本體設(shè)置于所述凹口內(nèi)，所述第一延伸部凸出于所述本體以及所述第一側(cè)壁表面，且沿所述第一側(cè)壁表面延伸。

13.如權(quán)利要求12所述的半導(dǎo)體制程設(shè)備，其特征在于，所述彈性體還具有第二延伸部，所述第二延伸部凸出于所述本體以及所述第二側(cè)壁表面，且沿所述第二側(cè)壁表面延伸。

14.如權(quán)利要求12所述的半導(dǎo)體制程設(shè)備，其特征在于，還包括連接層，位于所述上部組件及所述下部組件之間，用以連接所述上部組件及所述下部組件。