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[實用新型]蒸鍍裝置及其擋板機構(gòu)有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201821778438.2 申請日: 2018-10-30
公開(公告)號: CN209128529U 公開(公告)日: 2019-07-19
發(fā)明(設(shè)計)人: 魏雄偉 申請(專利權(quán))人: 廣東聚華印刷顯示技術(shù)有限公司
主分類號: C23C14/24 分類號: C23C14/24;C23C14/12
代理公司: 廣州華進聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224 代理人: 向薇
地址: 510000 廣東省廣州市廣州*** 國省代碼: 廣東;44
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 薄膜 沉積 擋板 收放裝置 蒸鍍材料 擋板機構(gòu) 蒸鍍裝置 收放 本實用新型 收集面 覆蓋 卷收 蒸鍍 污染
【權(quán)利要求書】:

1.一種蒸鍍裝置的擋板機構(gòu),其特征在于,包括擋板、收放裝置和收集薄膜,所述擋板的一端用于與蒸鍍裝置的蒸鍍腔體連接,所述擋板具有收集面;所述收放裝置設(shè)于所述擋板上,所述收集薄膜設(shè)于所述收放裝置上且覆蓋所述收集面,所述收集薄膜用于收集蒸鍍材料,所述收放裝置用于收放所述收集薄膜。

2.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍裝置的擋板機構(gòu),其特征在于,所述收放裝置包括平行設(shè)置的放卷軸及收卷軸,所述收集薄膜的一端纏繞形成的卷筒套設(shè)于所述放卷軸上,所述收集薄膜的另一端固定于所述收卷軸上。

3.如權(quán)利要求2所述的蒸鍍裝置的擋板機構(gòu),其特征在于,所述收卷軸與所述放卷軸分別設(shè)置在所述擋板的收集面和與所述收集面相對的表面上。

4.如權(quán)利要求2所述的蒸鍍裝置的擋板機構(gòu),其特征在于,所述放卷軸與所述收卷軸靠近所述擋板的同一端設(shè)置。

5.如權(quán)利要求4所述的蒸鍍裝置的擋板機構(gòu),其特征在于,還包括滾軸,所述滾軸可轉(zhuǎn)動地設(shè)置在所述擋板的遠離所述放卷軸和所述收卷軸的端部,所述滾軸與所述放卷軸平行設(shè)置。

6.如權(quán)利要求5所述的蒸鍍裝置的擋板機構(gòu),其特征在于,所述滾軸的直徑不小于所述擋板的厚度。

7.如權(quán)利要求1~6任一項所述的蒸鍍裝置的擋板機構(gòu),其特征在于,還包括擋板支架,所述擋板支架的一端連接于所述擋板,所述擋板支架的另一端用于與所述蒸鍍裝置的蒸鍍腔體連接,所述擋板支架能夠伸縮以帶動所述擋板運動。

8.一種蒸鍍裝置,其特征在于,包括蒸鍍腔體以及設(shè)置在所述蒸鍍腔體內(nèi)的基板支架和如權(quán)利要求1~7任一項所述的擋板機構(gòu),所述基板支架連接于所述蒸鍍腔體的頂部,所述擋板機構(gòu)設(shè)置在所述基板支架的下方,所述擋板連接于所述蒸鍍腔體的側(cè)壁,且所述收集面背向所述基板支架設(shè)置。

9.如權(quán)利要求8所述的蒸鍍裝置,其特征在于,還包括蒸出速率監(jiān)測器,所述蒸出速率監(jiān)測器設(shè)置在所述蒸鍍腔體內(nèi),所述蒸出速率監(jiān)測器用于檢測蒸鍍材料的蒸出速率。

10.如權(quán)利要求8或9所述的蒸鍍裝置,其特征在于,還包括蒸鍍?nèi)萜鳎稣翦內(nèi)萜髟O(shè)置在所述蒸鍍腔體的底部。

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