[實(shí)用新型]一種靶材噴砂工裝

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821777771.1
• 申請日: 2018-10-31
• 公開（公告）號: CN209256702U
• 公開（公告）日: 2019-08-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 夏乾坤;李玉鵬;張曉娜;郭姍姍;王紹帥;龐欣;陳明;劉冬青
• 申請（專利權(quán)）人: 有研億金新材料有限公司
• 主分類號: B24C9/00
• 分類號: B24C9/00
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11246
• 代理人: 張文寶

本實(shí)用新型公開了一種靶材噴砂工裝，該工裝主要分為上蓋，壓圈，底座，喉箍四個(gè)部分。四個(gè)部分相互配合，打破了傳統(tǒng)固定尺寸配合的噴砂辦法。上蓋結(jié)構(gòu)的改變，使上蓋的不再是簡單的扣在靶面上平面，而是可以包在靶面的側(cè)面。喉箍的安裝位置安裝在上蓋的側(cè)面，通過對喉箍的調(diào)節(jié)使上蓋緊緊包在靶面?zhèn)让妫ＷC噴砂時(shí)砂粒不會(huì)鉆進(jìn)蓋子內(nèi)劃傷靶面。壓圈的角度比傳統(tǒng)的開得更大，大的角度可以使噴槍更加傾斜接近于水平方向，從而間接增大噴槍對靶的壓力，從而增加噴砂的粗糙度。通過本實(shí)用新型對噴砂工裝結(jié)構(gòu)的改變，可以較容易的獲得較高的噴砂粗糙度，且對靶面有更好的保護(hù)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及濺射技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種靶材噴砂工裝。

背景技術(shù)

自20世紀(jì)90年代以來，中國電子設(shè)備市場便有著高的速發(fā)展，在高純?yōu)R射靶材的需求量日益增大的同時(shí)靶材的市場規(guī)模也在不斷地?cái)U(kuò)大，半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展使靶材行業(yè)的發(fā)展呈現(xiàn)高速增長的勢頭。隨著我國濺射靶材生產(chǎn)技術(shù)的成熟，尤其是國產(chǎn)濺射靶材具備較高的性價(jià)比優(yōu)勢，并且符合濺射靶材國產(chǎn)化的政策導(dǎo)向，我國濺射靶材的市場規(guī)模在進(jìn)一步擴(kuò)大，并且在全球市場中已經(jīng)獲得了更多客戶的認(rèn)可，市場份額也在不斷地提高，總體來說，靶材行業(yè)前景十分廣闊。因此到目前位置，靶材的使用量十分龐大，而噴砂工序是大多數(shù)靶材的重要工序之一，因此噴砂十分重要。

而在靶材加工生產(chǎn)的過程中，噴砂工序中存在著許許多多的問題。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的進(jìn)步，客戶對靶材質(zhì)量的要求也越來越高。因?yàn)榘胁膰娚皡^(qū)在靶材濺射中起著吸附的作用，從而直接影響著硅片的質(zhì)量。所以靶材對噴砂區(qū)的要求也越來越高，直接體現(xiàn)在對靶材噴砂區(qū)的粗糙度數(shù)值上。隨著噴砂區(qū)粗糙度要求的提高，一些噴砂工裝也逐漸達(dá)不到要求。部分噴砂工裝因?yàn)閲姌尳嵌仁艿搅讼拗疲虼嗽趬毫υ谶_(dá)到最大的時(shí)候，噴砂區(qū)粗糙度仍然達(dá)不到要求。而噴砂區(qū)粗糙度相對較低的時(shí)候便會(huì)引起以下問題：

靶材噴砂區(qū)粗糙度較低，在靶材濺射的過程中，吸附能力相對來說比較弱，因此對靶材反濺射層的雜質(zhì)粒子吸附的不夠完全,沒有被吸附的雜質(zhì)粒子便落在了硅片上，輕者影響硅片質(zhì)量及壽命，嚴(yán)重的話便造成硅片顆粒指數(shù)超標(biāo)，導(dǎo)致硅片不合格。

還有一些傳統(tǒng)工裝，為了增大壓力，通過改變了壓圈的結(jié)構(gòu)調(diào)整了噴槍對靶材側(cè)面的角度。這種工裝雖然增大了壓力，但由于噴砂上蓋扣在靶面的上平面上，而且由于噴槍角度的調(diào)整，壓力的增大，從而導(dǎo)致砂粒更容易在上蓋與靶面的縫隙中鉆進(jìn)蓋子內(nèi)部，落在靶面上，對靶材濺射面造成劃傷。靶面的劃傷會(huì)導(dǎo)致靶材的不合格。所以，對噴砂工藝過程中所用到的整套噴砂進(jìn)行相應(yīng)的改進(jìn)還是十分有必要的。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)中的問題，針對現(xiàn)有技術(shù)中的問題，本實(shí)用新型提供一種靶材噴砂工裝，可在提高噴砂效果的同時(shí)避免靶面損傷。

一種靶材噴砂工裝，包括：噴砂上蓋、噴砂壓圈和噴砂底座，其特征在于：噴砂上蓋扣在靶面上，設(shè)置有支撐在靶材濺射面上的支撐腳架與貼在靶面?zhèn)让鎶A緊腳架，靶材坐在噴砂底座上，噴砂壓圈壓在靶材法蘭面以及噴砂底座的上平面上，噴砂底座與噴砂壓圈之間通過固定裝置連接。噴砂上蓋包括握把、平板、排氣孔、支撐腳架和夾緊腳架五個(gè)部分，支撐腳架支撐在靶面上平面且底部有圓角，夾緊腳架夾緊在靶材側(cè)面且底部有圓角。壓圈包括壓板和安裝孔兩個(gè)部分，底座分為支撐板、安裝孔和U型槽三個(gè)部分，安裝孔和安裝孔軸心共線。還設(shè)置有喉箍，其包括鋼圈和調(diào)節(jié)螺釘兩個(gè)部分，鋼圈套在夾緊腳架的外側(cè)。

本實(shí)用新型的有益效果為：

1、實(shí)現(xiàn)了靶材噴砂區(qū)較高的粗糙度要求。

2、該工裝可反復(fù)多次利用，且參數(shù)不變的情況下每次噴砂完成后，噴砂區(qū)的外觀，粗糙度等狀態(tài)均為一致。

3、該工裝操作簡單、效率明顯，工人上手操作比較容易，借助工裝，可以避免誤差；

4、該工裝在增大了噴槍壓力的同時(shí)，通過噴砂上蓋的結(jié)構(gòu)的改變，避免了砂粒進(jìn)入蓋子內(nèi)部對靶面造成劃傷。