[實(shí)用新型]一種晶硅太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)線(xiàn)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821769393.2
• 申請(qǐng)日: 2018-10-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209056515U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-07-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張堯;霍亭亭;倪志春;魏青竹;連維飛;胡黨平
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 蘇州騰暉光伏技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L31/18
• 分類(lèi)號(hào): H01L31/18
• 代理公司: 蘇州創(chuàng)元專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 32103
• 代理人: 孫仿衛(wèi);李萍

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種晶硅太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)線(xiàn)，包括沿硅片輸送方向依次設(shè)置的制絨設(shè)備、第一鍍膜設(shè)備、堿拋光槽、清洗機(jī)、氫氟酸槽、擴(kuò)散爐、刻蝕設(shè)備、第二鍍膜設(shè)備、第三鍍膜設(shè)備、第四鍍膜設(shè)備、激光開(kāi)槽設(shè)備及絲網(wǎng)印刷設(shè)備，所述清洗機(jī)包括依次設(shè)置的第一清洗槽、第二清洗槽及第三清洗槽，所述第一清洗槽中盛有氫氟酸，所述第二清洗槽中盛有氨水、雙氧水、水，所述第三清洗槽中盛有鹽酸、雙氧水、水。生產(chǎn)的硅片背面拋光效果較好且潔凈度較好，提升光電轉(zhuǎn)換效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于晶硅太陽(yáng)能電池制造領(lǐng)域，特別涉及一種晶硅太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)線(xiàn)。

背景技術(shù)

在晶硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線(xiàn)中，傳統(tǒng)的單晶PERC電池(鈍化發(fā)射極背面接觸電池)背拋光采用鏈?zhǔn)皆O(shè)備通過(guò)硝酸進(jìn)行酸拋，拋光后反射率為30%左右。然而，現(xiàn)有的背面酸拋具有如下缺點(diǎn)：反射率不夠高，背表面較粗糙，入射光利用率不高，且粗糙的背表面影響背面鈍化效果。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型旨在提供一種晶硅太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)線(xiàn)，生產(chǎn)的硅片背面拋光效果較好且潔凈度較好，提升光電轉(zhuǎn)換效率。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下：

一種晶硅太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)線(xiàn)，包括沿硅片輸送方向依次設(shè)置的制絨設(shè)備、第一鍍膜設(shè)備、堿拋光槽、清洗機(jī)、氫氟酸槽、擴(kuò)散爐、刻蝕設(shè)備、第二鍍膜設(shè)備、第三鍍膜設(shè)備、第四鍍膜設(shè)備、激光開(kāi)槽設(shè)備及絲網(wǎng)印刷設(shè)備，所述清洗機(jī)包括依次設(shè)置的第一清洗槽、第二清洗槽及第三清洗槽，所述第一清洗槽中盛有氫氟酸，所述第二清洗槽中盛有氨水、雙氧水、水，所述第三清洗槽中盛有鹽酸、雙氧水、水。

進(jìn)一步地，還包括用于輸送硅片的傳輸網(wǎng)鏈，所述傳輸網(wǎng)鏈依次經(jīng)過(guò)所述第一清洗槽、所述第二清洗槽及所述第三清洗槽。

進(jìn)一步地，所述第一清洗槽、所述第二清洗槽、所述第三清洗槽的上方分別設(shè)有用于對(duì)所述傳輸網(wǎng)鏈進(jìn)行支撐和導(dǎo)向的導(dǎo)輪。

進(jìn)一步地，所述堿拋光槽中盛有氫氧化鈉。

進(jìn)一步地，還包括用于輸送硅片的輸送裝置。

進(jìn)一步地，所述第一鍍膜設(shè)備、第三鍍膜設(shè)備、第四鍍膜設(shè)備分別為PECVD鍍膜設(shè)備，所述第二鍍膜設(shè)備為ALD鍍膜設(shè)備或PECVD鍍膜設(shè)備。

本實(shí)用新型采用以上方案，相比現(xiàn)有技術(shù)具有如下優(yōu)點(diǎn)：

本實(shí)用新型的生產(chǎn)線(xiàn)中，在擴(kuò)散爐之前設(shè)置堿拋光槽，從而在擴(kuò)散之前先對(duì)硅片進(jìn)行堿拋光，然后再通過(guò)刻蝕設(shè)備進(jìn)行酸拋光，改善了硅片背面的拋光效果，使得硅片背表面更加平整，提高入射光反射率，更好利用入射光；也使得背面鈍化效果更好。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為根據(jù)本實(shí)用新型的一種晶硅太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)線(xiàn)的示意圖；

圖2為圖1中清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)闡述，以使本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征能更易于被本領(lǐng)域的技術(shù)人員理解。在此需要說(shuō)明的是，對(duì)于這些實(shí)施方式的說(shuō)明用于幫助理解本實(shí)用新型，但并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的限定。此外，下面所描述的本實(shí)用新型各個(gè)實(shí)施方式中所涉及到的技術(shù)特征只要彼此之間未構(gòu)成沖突就可以互相結(jié)合。

實(shí)施例