[實(shí)用新型]一種砷烷氣體吸收過濾系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821767909.X
• 申請日: 2018-10-29
• 公開（公告）號: CN209247731U
• 公開（公告）日: 2019-08-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉文杰;趙青松
• 申請（專利權(quán)）人: 東泰高科裝備科技有限公司
• 主分類號: G01N33/00
• 分類號: G01N33/00
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩;吳歡燕

1.一種砷烷氣體吸收過濾系統(tǒng)，其特征在于：包括電解槽、氣體過濾裝置以及手套箱，所述電解槽設(shè)置于所述手套箱中，所述電解槽的出氣口與第一輸送管路的一端相連，所述第一輸送管路的另一端穿過所述手套箱與所述氣體過濾裝置的進(jìn)氣口相連，所述手套箱通過第二輸送管路與所述氣體過濾裝置的進(jìn)氣口相連。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的砷烷氣體吸收過濾系統(tǒng)，其特征在于：還包括通風(fēng)櫥，所述手套箱和所述氣體過濾裝置均設(shè)置于所述通風(fēng)櫥中，所述氣體過濾裝置的出氣口與第三輸送管路的一端相連，所述第三輸送管路的另一端穿過所述通風(fēng)櫥設(shè)置于所述通風(fēng)櫥外部。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的砷烷氣體吸收過濾系統(tǒng)，其特征在于：還包括設(shè)置于所述通風(fēng)櫥中的砷烷氣體檢測器，所述第一輸送管路設(shè)有第一檢測口，所述第一檢測口通過第一檢測管路與所述砷烷氣體檢測器的進(jìn)氣口相連。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的砷烷氣體吸收過濾系統(tǒng)，其特征在于：所述手套箱設(shè)有第二檢測口，所述第二檢測口通過第二檢測管路與所述砷烷氣體檢測器的進(jìn)氣口相連。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的砷烷氣體吸收過濾系統(tǒng)，其特征在于：位于所述通風(fēng)櫥中的所述第三輸送管路設(shè)有第三檢測口，所述第三檢測口通過第三檢測管路與所述砷烷氣體檢測器的進(jìn)氣口相連。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的砷烷氣體吸收過濾系統(tǒng)，其特征在于：所述通風(fēng)櫥中設(shè)有第四檢測口，所述第四檢測口通過第四檢測管路與所述砷烷氣體檢測器的進(jìn)氣口相連。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的砷烷氣體吸收過濾系統(tǒng)，其特征在于：所述砷烷氣體檢測器的出氣口通過第四輸送管路與所述第一輸送管路相連。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的砷烷氣體吸收過濾系統(tǒng)，其特征在于：所述第一輸送管路上設(shè)有第一單向閥，所述第二輸送管路上分別設(shè)有第一風(fēng)機(jī)和第二單向閥，所述第三輸送管路上設(shè)有第二風(fēng)機(jī)。

9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的砷烷氣體吸收過濾系統(tǒng)，其特征在于：所述氣體過濾裝置的進(jìn)氣口與稀釋空氣輸送管路的一端相連，所述稀釋空氣輸送管路的另一端穿過所述通風(fēng)櫥設(shè)置于所述通風(fēng)櫥外部。

10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的砷烷氣體吸收過濾系統(tǒng)，其特征在于：所述電解槽的進(jìn)氣口與第一氮?dú)夤苈废噙B，所述第一氮?dú)夤苈芬来未┻^所述手套箱、所述通風(fēng)櫥與氮?dú)庠聪噙B；所述手套箱設(shè)有氮?dú)馊肟冢龅獨(dú)馊肟谂c第二氮?dú)夤苈废噙B，所述第二氮?dú)夤苈反┻^所述通風(fēng)櫥與所述氮?dú)庠聪噙B。