[實(shí)用新型]一種化學(xué)氣相沉積工藝排氣煙囪有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201821764404.8 | 申請(qǐng)日： | 2018-10-29 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN209490666U | 公開（公告）日： | 2019-10-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張偉明;李晉濤;劉慶磊 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B01D53/26 | 分類號(hào)： | B01D53/26 |
| 代理公司： | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 羅滿 |
| 地址： | 201821 上海市嘉定區(qū)*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 煙囪本體 化學(xué)氣相沉積 熱風(fēng)輸入裝置 高溫氣體 工藝排氣 煙囪 輸入管 熱風(fēng) 排氣溫度升高 水蒸氣 本實(shí)用新型 排氣口 白煙 煙氣 凝結(jié) | ||
1.一種化學(xué)氣相沉積工藝排氣煙囪，其特征在于，包括煙囪本體(1)和用以向所述煙囪本體(1)通入高溫氣體的熱風(fēng)輸入裝置(2)，所述煙囪本體(1)通過熱風(fēng)輸入管(3)與所述熱風(fēng)輸入裝置(2)相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)氣相沉積工藝排氣煙囪，其特征在于，所述熱風(fēng)輸入管(3)設(shè)有用以控制高溫氣體流量的風(fēng)閥。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學(xué)氣相沉積工藝排氣煙囪，其特征在于，所述熱風(fēng)輸入裝置(2)為有機(jī)廢氣處理設(shè)備，所述熱風(fēng)輸入管(3)與所述有機(jī)廢氣處理設(shè)備的高溫排氣口相連。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的化學(xué)氣相沉積工藝排氣煙囪，其特征在于，所述熱風(fēng)輸入管(3)外周設(shè)有隔熱層。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的化學(xué)氣相沉積工藝排氣煙囪，其特征在于，所述隔熱層為保溫巖棉隔熱層。
6.根據(jù)權(quán)利要求2至5任意一項(xiàng)所述的化學(xué)氣相沉積工藝排氣煙囪，其特征在于，所述風(fēng)閥為電動(dòng)風(fēng)閥(4)，所述煙囪本體(1)設(shè)有用以檢測(cè)煙氣的當(dāng)前溫度的第一溫度傳感器(5)，還包括用以根據(jù)所述當(dāng)前溫度控制所述電動(dòng)風(fēng)閥(4)開度的控制裝置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的化學(xué)氣相沉積工藝排氣煙囪，其特征在于，所述熱風(fēng)輸入管(3)設(shè)有用以檢測(cè)熱風(fēng)溫度的第二溫度傳感器(6)，所述第二溫度傳感器(6)與所述控制裝置相連。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的化學(xué)氣相沉積工藝排氣煙囪，其特征在于，所述熱風(fēng)輸入管(3)中設(shè)有用以提高高溫氣體流速的壓縮機(jī)，所述壓縮機(jī)與所述控制裝置相連。
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