[實用新型]一種氣體除塵裝置及具有該氣體除塵裝置的氣體處理裝置

有效

• 申請號: 201821753440.4
• 申請日: 2018-10-26
• 公開（公告）號: CN209123507U
• 公開（公告）日: 2019-07-19
• 發明（設計）人: 楊翼虎;趙瓊;何毓緯
• 申請（專利權）人: 合肥晶合集成電路有限公司
• 主分類號: B01D45/06
• 分類號: B01D45/06;F23G7/06
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 王華英

本實用新型公開了一種氣體除塵裝置及具有該氣體除塵裝置的氣體處理裝置，氣體除塵裝置包括氣源系統，氣源系統連接有導出氣體的氣源管，氣體通道的一端具有出氣口，并且氣體通道內設有氣體幕墻發生裝置，氣體幕墻發生裝置出口處的氣流流向氣體通道的出氣口，氣體處理裝置包括燃燒室，燃燒室的頂壁連接有尾氣管，燃燒室的頂壁還安裝有點火器，燃燒室的頂壁通過氣體除塵裝置安裝有火焰紫外線傳感器，氣體除塵裝置與燃燒室的室內連通。該氣體除塵裝置能夠產生氣體幕墻，從而能夠有效的對粉塵進行清除，該尾氣處理裝置能夠及時清理粉塵，防止粉塵結晶堵塞光傳輸路徑，提高了半導體尾氣的處理效率，避免產能以及人力的損失。

技術領域

本實用新型涉及半導體尾氣處理技術，特別涉及一種氣體除塵裝置及具有該氣體除塵裝置的氣體處理裝置。

背景技術

對于半導體尾氣的處理，通常都是采用燃燒的方式對其處理。由于半導體尾氣燃燒時會產生粉塵，而粉塵在遇冷后容易形成結晶，沉積在燃燒室的頂壁，從而影響火焰紫外線傳感器的光傳輸路徑，導致觸發警報，造成產能以及人力的損失。

實用新型內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種氣體除塵裝置及具有該氣體除塵裝置的氣體處理裝置，該氣體除塵裝置能夠產生氣體幕墻，從而能夠有效的對粉塵進行清除，該氣體處理裝置能夠及時清理粉塵，防止粉塵結晶堵塞光傳輸路徑，提高了半導體尾氣的處理效率，避免產能以及人力的損失。

為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種氣體除塵裝置，所述氣體除塵裝置包括：

氣源系統，存儲有除塵氣體；

至少一氣源管，連接所述氣源系統；

氣體幕墻發生裝置，與氣源管連接；

至少一氣體通道，連接于所述氣體幕墻發生裝置，氣體通道的一端具有出氣口；

其中，所述氣體幕墻發生裝置出口處的氣流流向所述氣體通道的出氣口。

可選的，所述氣體幕墻發生裝置與所述氣源管通過連接件連接。

可選的，所述氣體幕墻發生裝置包括環形管，所述環形管開設有若干出氣管，所述出氣管沿所述環形管的內側圓周均勻分布。

可選的，所述出氣管的數量設有六個，每相鄰的兩個所述出氣管的軸線之間的夾角60°。

可選的，所述出氣管的軸線與所述氣體通道的軸線之間的夾角為45°，且所述出氣管的朝向指向所述氣體通道出氣口的一端。

可選的，所述環形管的外部截面呈正六邊形，氣體通道包括兩段，分別連接在環形管的兩端。

可選的，所述氣源系統內存儲的除塵氣體的溫度為50℃～80℃。

本實用新型還提供一種氣體處理裝置，包括燃燒室，所述燃燒室的頂壁連接有至少一尾氣管，燃燒室的頂壁還安裝有點火器，所述燃燒室的頂壁至少連接一所述氣體處理裝置，所述燃燒室的頂壁通過氣體除塵裝置安裝有火焰紫外線傳感器，所述氣體除塵裝置與所述燃燒室的室內連通。

可選的，所述火焰紫外線傳感器的感應端安裝于遠離所述氣體通道出氣口的一端，并且所述氣體通道在安裝火焰紫外線傳感器的一端開設有與火焰紫外線傳感器感應端對接的紫外線感應口。

可選的，所述氣體通道的軸線與燃燒室的頂壁之間的夾角為30°～70°，并且所述氣體通道的出氣口指向尾氣燃燒位置。