[實用新型]一種增強光吸收的光探測器有效
| 申請號： | 201821752797.0 | 申請日： | 2018-10-29 |
| 公開（公告）號： | CN208765847U | 公開（公告）日： | 2019-04-19 |
| 發明（設計）人： | 不公告發明人 | 申請（專利權）人： | 中山科立特光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G01J1/42 | 分類號： | G01J1/42;G01J1/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 528458 廣東省中*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光探測器 金屬條 熱敏感 光吸收 金屬膜 法布里 珀羅腔 外圍 電導率 本實用新型 檢測敏感度 電極 檢測光 共振 空腔 入射 吸收 響應 檢測 轉化 | ||
1.一種增強光吸收的光探測器，其特征在于：包括熱敏感線（1），設置于熱敏感線（1）兩端的電極（5），所述熱敏感線（1）的外圍設置有多個呈圓筒狀排列的金屬條（4），所述金屬條（4）的外圍設置有金屬膜（2），金屬條（4）與金屬膜（2）之間形成空腔（3）。
2.如權利要求1所述的一種增強光吸收的光探測器，其特征在于：所述空腔（3）內填充有透光導電材料。
3.如權利要求2所述的一種增強光吸收的光探測器，其特征在于：所述透光導電材料為TCO。
4.如權利要求2所述的一種增強光吸收的光探測器，其特征在于：所述透光導電材料為二氧化硅。
5.如權利要求1所述的一種增強光吸收的光探測器，其特征在于：所述熱敏感線（1）材料包括VOx、Si、SiGe、YBCO或NiO。
6.如權利要求1所述的一種增強光吸收的光探測器，其特征在于：所述金屬條（4）與熱敏感線（1）的外表面相連。
7.如權利要求1所述的一種增強光吸收的光探測器，其特征在于：所述金屬條（4）與熱敏感線（1）的外表面之間有第二空腔（6）。
8.如權利要求7所述的一種增強光吸收的光探測器，其特征在于：所述第二空腔（6）內填充有導熱介質。
9.如權利要求1所述的一種增強光吸收的光探測器，其特征在于：所述金屬膜（2）的厚度為5～30nm。
10.如權利要求1所述的一種增強光吸收的光探測器，其特征在于：所述金屬條（4）的間距為50～130nm。
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