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[實用新型]一種帶有雙氧水的電子級廢硫酸處理機構有效

專利信息
申請號: 201821752656.9 申請日: 2018-10-29
公開(公告)號: CN209123641U 公開(公告)日: 2019-07-19
發明(設計)人: 尚小科;朱曉輝 申請(專利權)人: 天津渤大硫酸工業有限公司
主分類號: B01D53/50 分類號: B01D53/50;B01D53/78
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 300270 天津市濱*** 國省代碼: 天津;12
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摘要:
搜索關鍵詞: 雙氧水 電子級 輸送管 處理機構 儲水罐 廢硫酸 換熱器 循環泵 循環酸 排煙 閥門 廢酸 本實用新型 全封閉式的 尾氣輸送管 廢酸輸送 尾氣處理 整套設備 整體機構 輸出管 水輸送 提取管 稀釋池 稀釋 二氧化硫 換熱 尾氣 消耗 排放 清晰
【說明書】:

實用新型的目的是提供一種帶有雙氧水的電子級廢硫酸處理機構,由循環酸容器、排煙塔、循環泵、儲水罐、換熱器、閥門和稀釋池組成,其特征在于:循環酸容器一側設有電子級廢酸輸送管,排煙塔一側設有尾氣輸送管,循環泵兩側分別設有雙氧水提取管和雙氧水輸送管,儲水罐一側設有水輸送管,換熱器一次額設有換熱輸送管,閥門上還設有雙氧水輸出管和雙氧水稀釋輸送管,各個管路將整套設備連接起來;此工藝不僅解決了電子級廢酸的處理問題,而且最大程度的利用了廢酸中的雙氧水,降低了尾氣處理消耗雙氧水的成本,大大降低了尾氣中二氧化硫的排放,減少了環境污染;整體機構思路清晰,全封閉式的連接和處理使得操作更加安全可靠。

技術領域

本實用新型涉及廢酸處理領域,尤其涉及一種帶有雙氧水的電子級廢硫酸處理機構。

背景技術

隨著中國微電子工業的高速發展,電子級硫酸的需求量日益增加。作為集成電路制造業、封裝測試業以及整機裝配業原料供應的上游行業,電子級硫酸廣泛應用于大規模集成電路(IC)、半導體等微電子工業,用作清洗和蝕刻劑。而電子級別的硫酸,都是處理芯片后所產生的,外觀為淡黃色或無色液體,根據《HG/T 2692-2015蓄電池用硫酸》的方法進行檢測,廢酸透明度大于200,整體上看,此種規格的廢酸,外觀較好,而在生產過程中,對于這些電子級廢酸的處理方式有很多,能夠達到以上標準的設備或者一系列循環系統也隨之衍生,但是目前,這些對于電子級廢酸處理的裝置,并沒有充分利用電子級廢酸的特性,對于污染的處理做得不是特別到位,尤其是對于廢酸中含有的雙氧水的處理,并沒有得到充分利用和解決,并且對于后期的稀釋處理也不是很周全,無論是單體設備還是處理系統來說,成本的支出和環境的保護都沒有得到有效改善。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供了一種用于對廢酸排放過程中,將雙氧水加入尾氣吸收塔中,便于除去尾氣中的二氧化硫,最大程度的利用了廢酸中的雙氧水,從而降低了尾氣處理消耗雙氧水的成本,減少了環境污染的電子級廢硫酸處理機構。

本實用新型的技術方案為:一種帶有雙氧水的電子級廢硫酸處理機構,由循環酸容器、排煙塔、循環泵、儲水罐、換熱器、閥門和稀釋池組成,其特征在于:所述循環酸容器上還設有電子級廢酸輸送管,所述電子級廢酸輸送管位于循環酸容器的一側,所述電子級廢酸輸送管與循環酸容器為固定連接,所述排煙塔位于循環酸容器的上部,所述排煙塔與循環酸容器為固定連接,所述排煙塔上還設有尾氣輸送管,所述尾氣輸送管位于排煙塔的一側,所述尾氣輸送管與排煙塔為固定連接,所述循環泵位于循環酸容器的另一側,所述循環泵與地面或者其他基礎設置為固定連接,所述循環泵上還設有雙氧水提取管和雙氧水輸送管,所述雙氧水提取管位于循環泵的一側,所述雙氧水提取管的一端與循環泵為固定連接,所述雙氧水提取管的另一端與循環酸容器為固定連接,所述雙氧水輸送管位于循環泵的另一側,所述雙氧水輸送管的一端與循環泵為固定連接,所述雙氧水輸送管的另一端與換熱器為固定連接,所述儲水罐位于循環酸容器的一側,所述儲水罐與地面或者其他基礎設置為固定連接,所述儲水罐上還設有水輸送管,所述水輸送管位于儲水罐的一側,所述水輸送管的一端與儲水罐為固定連接,所述水輸送管的另一端與循環酸容器為固定連接,所述換熱器位于循環泵的一側,所述換熱器與地面或者其他基礎設置為固定連接,所述換熱器上還設有換熱輸送管,所述換熱輸送管的一端與換熱器為固定連接,所述換熱輸送管的另一端與閥門為固定連接,所述閥門位于排煙塔的另一側,所述閥門上還設有雙氧水輸出管和雙氧水稀釋輸送管,所述雙氧水輸出管位于排煙塔和閥門之間,所述雙氧水輸出管的一端與排煙塔為固定連接,所述雙氧水輸出管的另一端與閥門為固定連接,所述雙氧水稀釋輸送管位于閥門和稀釋池之間,所述雙氧水稀釋輸送管的一端與閥門為固定連接,所述雙氧水稀釋輸送管的另一端與稀釋池為固定連接,所述稀釋池位于儲水罐的一側,所述稀釋池與地面或者其他基礎設置為固定連接。

進一步,所述循環酸容器為碳鋼密封罐。

進一步,所述循環泵為抗酸防腐蝕液體輸送泵。

進一步,所述儲水罐為過濾式不銹鋼儲罐。

進一步,所述閥門為旋轉式三通路球形閥門。

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