[實(shí)用新型]顯影機(jī)供液系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821752483.0
• 申請日: 2018-10-26
• 公開（公告）號: CN208796027U
• 公開（公告）日: 2019-04-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曾竟陵;申景偉;王毅
• 申請（專利權(quán)）人: 揚(yáng)州揚(yáng)杰電子科技股份有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 揚(yáng)州市蘇為知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32283
• 代理人: 周全;葛軍

1.顯影機(jī)供液系統(tǒng)，設(shè)于顯影機(jī)臺(tái)上，包括裝有顯影液的容置罐，所述容置罐的頂部設(shè)有進(jìn)液口、底部設(shè)有出液口，所述容置罐的頂部還設(shè)有排氣閥，其特征在于，

所述容置罐為緩沖罐，所述緩沖罐包含兩個(gè)，兩個(gè)所述緩沖罐的頂部分別設(shè)有一對進(jìn)液管路，所述進(jìn)液管路連通進(jìn)液口，兩個(gè)所述緩沖罐的底部分別設(shè)有一對出液管路，所述出液管路連通出液口；

兩個(gè)所述緩沖罐的頂部均設(shè)有排氣閥；

一對所述出液管路上分別設(shè)有截止閥一和截止閥二。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影機(jī)供液系統(tǒng)，其特征在于，所述緩沖罐的頂部設(shè)有開口，所述開口連通進(jìn)液管路，所述開口的下方設(shè)有引流板，所述引流板斜向設(shè)于緩沖罐內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯影機(jī)供液系統(tǒng)，其特征在于，所述引流板的兩側(cè)邊向上彎曲、呈圓弧狀。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影機(jī)供液系統(tǒng)，其特征在于，所述緩沖罐的頂部設(shè)有開口，所述開口連通進(jìn)液管路，所述緩沖罐內(nèi)設(shè)有彈簧管，所述彈簧管的頂部連通開口、底部位于緩沖罐內(nèi)底部。