[實用新型]電容式氣壓傳感器

有效

• 申請號: 201821750407.6
• 申請日: 2018-10-26
• 公開（公告）號: CN208736600U
• 公開（公告）日: 2019-04-12
• 發明（設計）人: 于文秀;閆文明
• 申請（專利權）人: 歌爾科技有限公司
• 主分類號: G01L9/12
• 分類號: G01L9/12
• 代理公司: 深圳市世紀恒程知識產權代理事務所 44287
• 代理人: 胡海國

本實用新型公開一種電容式氣壓傳感器，電容式氣壓傳感器包括相對設置的第一極板和第二極板，所述第一極板設置為與外部空氣接觸的第一敏感膜，所述第二極板設置為與外部空氣接觸的第二敏感膜；所述第一敏感膜的至少一表面的至少部分設置為微凹凸面，和/或，所述第二敏感膜的至少一表面的至少部分設置為微凹凸面。如此，微凹凸面的凹凸結構可緩沖敏感膜發生形變時產生的應力，從而可提高敏感膜和電容式氣壓傳感器的耐破壞能力，增強電容式氣壓傳感器的可靠、穩定性能。

技術領域

本實用新型涉及傳感器技術領域，特別涉及一種電容式氣壓傳感器。

背景技術

電容式氣壓傳感器一般包括作為敏感膜的第一極板、成形于襯底的第二極板，第一極板和第二極板間隔相對設置，第一極板和第二極之間形成電容。當氣壓載荷P發生變化時，第一極板會發生形變，從而導致第一極板與第二極板之間的間距d變化，進而會引起電容C的變化，故，根據電容C的變化，可測得氣壓的變化值ΔP。

對于傳統電容式氣壓傳感器，其至少存在以下缺點：

1)當處于潮濕環境中或溫差變化較大時，第一極板表面容易堆積水分子，從而會影響靈敏度。

2)受限于第一極板的彈性性能，當第一極板受到猛烈撞擊或瞬時超大氣壓等特殊使用情況時，第一極板隨即發生形變產生應力、甚至破碎，從而會導致傳感器靈敏度下降、甚至失效。

實用新型內容

本實用新型的主要目的是提出一種電容式氣壓傳感器，旨在解決現有技術中存在的技術問題之一。

為實現上述目的，本實用新型提出一種電容式氣壓傳感器，所述電容式氣壓傳感器包括相對設置的第一極板和第二極板，所述第一極板設置為與外部空氣接觸的第一敏感膜，所述第二極板設置為與外部空氣接觸的第二敏感膜；

所述第一敏感膜的至少一表面的至少部分設置為微凹凸面，和/或，所述第二敏感膜的至少一表面的至少部分設置為微凹凸面。

可選地，所述第一敏感膜的內外表面均至少部分設置為微凹凸面，所述微凹凸面包括成形于所述第一敏感膜的外表面的第一微凹凸面、及成形于所述第一敏感膜的內表面的第二微凹凸面；

所述第一微凹凸面的凸起處與所述第二微凹凸面的凹陷處對應設置，且所述第一微凹凸面的凹陷處與所述第二微凹凸面的凸起處對應設置。

可選地，所述第二敏感膜的內外表面均至少部分設置為微凹凸面，所述微凹凸面包括成形于所述第二敏感膜的外表面的第三微凹凸面、及成形于所述第二敏感膜的內表面的第四微凹凸面；

所述第三微凹凸面的凸起處與所述第四微凹凸面的凹陷處對應設置，且所述第三微凹凸面的凹陷處與所述第四微凹凸面的凸起處對應設置。

可選地，所述微凹凸面設置為凸峰與凹谷依次相接的凹凸形狀；或者

所述微凹凸面設置為凸峰與平谷依次相接的凹凸形狀，或者，所述微凹凸面設置為平峰與凹谷依次相接的凹凸形狀。

可選地，所述微凹凸面的凹凸紋理設置為長條狀。

可選地，所述微凹凸面的相鄰凸峰或相鄰凹谷的間隔為微米級或者納米級。

可選地，所述第一敏感膜的至少一表面整體設置為微凹凸面；和/或，所述第二敏感膜的至少一表面整體設置為微凹凸面。

可選地，所述電容式氣壓傳感器具有與所述第一極板相對設置的襯底，所述襯底用于與產品載體安裝；

所述襯底的中間部分向靠近所述第一極板的方向作減薄設置，以形成所述第二敏感膜，并在所述襯底的背離所述第一極板的側面形成用于與外部空氣連通的連通孔。

可選地，所述第一敏感膜與第二敏感膜之間部分的周緣設有絕緣層，所述絕緣層內側限定出密閉容腔。