[實用新型]一種安全性高的數控真空鍍膜機

有效

• 申請號: 201821740276.3
• 申請日: 2018-10-25
• 公開（公告）號: CN208965019U
• 公開（公告）日: 2019-06-11
• 發明（設計）人: 王漢春;張金興;羅來山
• 申請（專利權）人: 金山萊寶（廈門）科技有限公司
• 主分類號: C23C14/22
• 分類號: C23C14/22
• 代理公司: 南昌贛專知識產權代理有限公司 36129
• 代理人: 張文宣

本實用新型公開了一種安全性高的數控真空鍍膜機，屬于真空鍍膜機領域，一種安全性高的數控真空鍍膜機包括鍍膜室和循環水冷卻組，鍍膜室的側壁開設有冷卻水腔，鍍膜室的內側壁固定有若干管殼，每個側壁上相鄰的兩個管殼之間均通過連接管固定連接，管殼與冷卻水腔之間通過通孔連通，冷卻水腔與循環水冷卻組相連通。本實用新型的安全性高的數控真空鍍膜機安全性高。

技術領域

本實用新型屬于真空鍍膜機領域，尤其涉及一種安全性高的數控真空鍍膜機。

背景技術

真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。

真空鍍膜機中存在許多安全隱患，在生產過程中需要重視這些安全隱患。其中，鍍膜室的溫度過高會造成成品合格率下降，并且損壞鍍膜室及其內部件，輕則機器部件損壞，重則危及人身財產安全。目前對鍍膜室進行冷卻方式大多采用在鍍膜室外設冷卻管，在冷卻管內通過冷卻水進行冷卻，這種在外冷卻的方式冷卻速度慢，安全性不高。

實用新型內容

為了克服現有技術的缺陷，本實用新型所要解決的技術問題在于提出一種安全性高的數控真空鍍膜機，安全性高。

為達此目的，本實用新型采用以下技術方案：

本實用新型提供的一種安全性高的數控真空鍍膜機，包括鍍膜室和循環水冷卻組，鍍膜室的側壁開設有冷卻水腔，鍍膜室的內側壁固定有若干管殼，每個側壁上相鄰的兩個管殼之間均通過連接管固定連接，管殼與冷卻水腔之間通過通孔連通，冷卻水腔與循環水冷卻組相連通。

本實用新型優選地技術方案在于，循環水冷卻組包括冷卻水進水管、冷卻塔、冷卻水出水管、以及循環水泵，冷卻水進水管的一端固定連通在鍍膜室外側壁的下方，冷卻水進水管的另一端與冷卻塔的出水端固定連通，冷卻水出水管的一端固定連通在鍍膜室外側壁的上方，冷卻水出水管的另一端與冷卻塔的進水端固定連通，循環水泵設在冷卻水出水管上。

本實用新型優選地技術方案在于，還包括抽真空組，抽真空組與鍍膜室固定連通。

本實用新型優選地技術方案在于，抽真空組包括連接管和油擴散泵，連接管的一端與鍍膜室固定連通，連接管的另一端與油擴散泵固定連通。

本實用新型優選地技術方案在于，抽真空組還包括用于防止油擴散泵返油的低溫冷阱，低溫冷阱固定在油擴散泵的泵口端。

本實用新型優選地技術方案在于，抽真空組還包括電磁加熱組，電磁加熱組固定在連接管上。

本實用新型優選地技術方案在于，還包括安裝板和支腿，鍍膜室、循環水冷卻組、以及抽真空組均固定在安裝板上，支腿固定在安裝板的下表面。

本實用新型優選地技術方案在于，支腿的下表面膠接有防滑墊。

本實用新型優選地技術方案在于，防滑墊的下表面具有交叉設置的防滑紋。

本實用新型優選地技術方案在于，還包括觀察窗，觀察窗嵌設在鍍膜室的側壁上。

本實用新型的有益效果為：