[實用新型]一種密封性好的靶材熱處理裝置

有效

• 申請號: 201821733996.7
• 申請日: 2018-10-25
• 公開（公告）號: CN209010574U
• 公開（公告）日: 2019-06-21
• 發明（設計）人: 王永超
• 申請（專利權）人: 河南東微電子材料有限公司
• 主分類號: C21D9/00
• 分類號: C21D9/00;C21D11/00;C23C14/34;C23C14/32
• 代理公司: 鄭州浩翔專利代理事務所(特殊普通合伙) 41149
• 代理人: 邊延松

本實用新型公開了一種密封性好的靶材熱處理裝置，屬于靶材技術領域，其技術方案要點是，包括箱體和熱處理腔室，箱體的一側面鉸接有觀察門，觀察區的一側設置有熱處理腔室，熱處理腔室包括第一腔室和第二腔室，第一腔室內部固定連接有兩支加熱管，兩支加熱管之間設置有放置槽，放置槽的一端與第一腔室的內側壁相互焊接，第一腔室的右側固定連接有隔板，第一腔室與第二腔室通過隔板相互隔開，第二腔室的內部固定連接有兩個加熱板，且兩個加熱板平行設置，通過加熱管與加熱板對靶材進行加熱處理使得靶材受熱均勻，避免了靶材在使用過程中因為沒有預熱而容易開裂，提高了靶材的使用效率，避免了靶材的資源浪費。

技術領域

本實用新型涉及靶材技術領域，特別涉及一種密封性好的靶材熱處理裝置。

背景技術

鍍膜靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源，簡單說的話，靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時，會產生不同的殺傷破壞效應。

金屬靶材的制作過程一般包括熔煉、均勻化處理、塑性變形加工、熱處理等步驟，其中靶材在使用過程中需要進行加熱處理，而目前在使用靶材時一般沒有進行預熱處理，導致靶材在使用一段時間產生開裂，產生了靶材使用效率不高和靶材資源浪費的問題。

實用新型內容

針對現有技術存在的不足，本實用新型的目的是提供一種密封性好的靶材熱處理裝置，解決靶材在使用過程中產生使用效率不高和靶材資源浪費的問題。

本實用新型的上述技術目的是通過以下技術方案得以實現的：一種密封性好的靶材熱處理裝置，包括箱體和熱處理腔室，所述箱體的一側面鉸接有觀察門，所述觀察門的外側壁上固定連接有觀察區，所述觀察區的下方設置有溫控裝置，所述溫控裝置與觀察門相互卡接，所述觀察區的一側設置有熱處理腔室，所述熱處理腔室包括第一腔室和第二腔室，所述第二腔室位于第一腔室的右側，所述第一腔室和第二腔室與溫控裝置通過導線連接，所述第一腔室的內部固定連接有兩支加熱管，兩支所述加熱管之間加工有放置槽，所述放置槽的一端與第一腔室的內側壁相互焊接，所述位于右側放置槽的上端安裝有第一傳感器，所述第一傳感器與溫控裝置通過導線相互連接，所述第一腔室的右側固定連接有隔板，所述第一傳感器的一端與隔板固定連接，所述第一腔室與第二腔室通過隔板相互隔開，所述第二腔室的內部固定連接有兩個加熱板，且所述兩個加熱板平行設置，所述第二腔室的右內側壁上安裝有第二傳感器，且第二傳感器位于兩個加熱板之間，所述第二傳感器與溫控裝置通過導線相互連接。

優選的，所述加熱板的內部加工有加熱槽，所述加熱板的外側壁插接有導線管，所述加熱板與第二腔室內側壁通過導線管固定連接。

優選的，所述加熱管的一端插接有線槽，所述加熱管的兩側對稱設置有固定架，所述固定架的一端與第一腔室內側壁固定連接。

優選的，所述溫控裝置包括手動調控按鈕和顯示屏，所述手動調控按鈕的上端設置有顯示屏，所述顯示屏與第一傳感器、第二傳感器通過導線相互連接。

優選的，所述放置槽設置有兩組，兩組所述放置槽在同一水平線上，且放置槽呈“凹形”狀。

優選的，所述溫控裝置的右側設置有拉手，所述拉手與觀察門的右端嵌入設置。

優選的，所述熱處理腔室的外側設置有隔腔，所述處理腔室與箱體通過隔腔相互隔開

綜上所述，本實用新型具有以下有益效果：