[實用新型]一種擴散后硅片電壓檢測裝置

有效

• 申請號: 201821731243.2
• 申請日: 2018-10-25
• 公開（公告）號: CN209675242U
• 公開（公告）日: 2019-11-22
• 發明（設計）人: 袁磊;常宇峰
• 申請（專利權）人: 江蘇彩虹永能新能源有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;G01R27/02
• 代理公司: 11548 北京華仲龍騰專利代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 李靜<國際申請>=<國際公布>=<進入國

1.一種擴散后硅片電壓檢測裝置，其特征在于，包括四探針方阻測試儀（1），探頭卡槽（2）、表筆（3）、彈簧頂針（4）、萬用表（5）、銅板底座（6）和導線（7），所述探頭卡槽（2）為雙探頭卡槽，其左側卡槽固定安裝表筆（3），右側卡槽固定安裝四探針方阻測試儀（1），所述表筆（3）與四探針方阻測試儀（1）為同一水平高度；所述表筆（3）頂端筆針下端接觸硅片，所述表筆（3）另一端用所述導線（7）連接并插入到所述萬用表（5）“+”號插孔中；所述四探針方阻測試儀（1）的探頭接觸硅片，硅片放置在水平的銅板底座（6）上，所述銅板底座（6）一端用導線（7）連接并插入到所述萬用表（5）“-”號插孔中，把所述萬用表（5）調到“2V”電壓檔，正常測試硅片方塊電阻與硅片的擴散后電壓差值，判斷其是否擴散。

2.根據權利要求1所述的一種擴散后硅片電壓檢測裝置，其特征在于，所述探頭卡槽（2），材質為金屬合金，主要用于定位安裝四探針測試探頭和所述表筆（3），把兩者固定在同一水平位置。

3.根據權利要求1所述的一種擴散后硅片電壓檢測裝置，其特征在于，所述表筆（3）頂端筆針為彈簧頂針（4），在測試硅片方塊電阻的過程中，四探針方阻測試儀（1）的四探針下壓的同時，所述表筆（3）同時下壓，所述彈簧頂針（4）與硅片表面接觸，測試其電壓差值。

4.根據權利要求1所述的一種擴散后硅片電壓檢測裝置，其特征在于，所述彈簧頂針（4），材質為純銅，安裝在所述表筆（3）筆頭位置，主要起緩沖作用，避免所述表筆（3）在下壓過程中沒有緩沖導致測試硅片碎裂。

5.根據權利要求1所述的一種擴散后硅片電壓檢測裝置，其特征在于，所述銅板底座（6），為正方形純銅銅板，長度為20 x 20cm，厚度為1cm。

6.根據權利要求1所述的一種擴散后硅片電壓檢測裝置，其特征在于，所述導線（7），為純銅內芯，主要用于連接所述表筆（3）和所述萬用表（5），以及所述銅板底座（6）和所述萬用表（5）。