[實用新型]一種全自動曝光機

有效

• 申請號: 201821729942.3
• 申請日: 2018-10-24
• 公開（公告）號: CN208796020U
• 公開（公告）日: 2019-04-26
• 發明（設計）人: 王雷;盧根平;董猛;劉文日;楊振川
• 申請（專利權）人: 江西旭昇電子有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 長沙瀚頓知識產權代理事務所(普通合伙) 43223
• 代理人: 朱敏;吳亮

本實用新型公開了一種全自動曝光機。所述全自動曝光機包括曝光臺面；移動平臺，所述移動平臺設于所述曝光臺面，且所述移動平臺上設有用于線路板定位的定位銷；第一對位裝置，所述第一對位裝置包括設于所述曝光臺面進料端一側用于掃描線路板內孔位的第一掃描裝置，及用于調整所述移動平臺位置的第一控制裝置，所述第一掃描裝置與所述第一控制裝置電連接；第二對位裝置，所述第二對位裝置包括設于所述曝光臺面上方用于掃描線路板外圍孔的第二掃描裝置及用于調整曝光玻璃位置的第二控制裝置，所述第二掃描裝置與所述第二控制裝置電連接。本實用新型提供的全自動曝光機，可有效避免曝光偏孔和拒曝等問題，提高單雙面板定位精度。

技術領域

本實用新型涉及線路生產制作技術領域，特別涉及一種全自動曝光機，尤其涉及一種能改善對位精度的全自動曝光機。

背景技術

曝光機是20世紀60年代初從掃描電子顯微鏡基礎上發展起來，70年代以后廣泛應用于半導體集成電路制造業，曝光機即電子束曝光機是集電子光學、電氣、機械、真空、計算機技術等于一體的復雜的半導體加工設備。在計算機的控制下，利用聚焦電子束對有機聚合物(通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠)進行曝光，受電子束輻照后的光刻膠，其物理化學性質發生變化，在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區域，從而在抗蝕劑上形成精細圖形。

隨著近年自動化需求的提升，手動曝光機逐漸被全自動曝光機取代，傳統的曝光機的手動對位方式也無法滿足自動化生產的要求。

目前業內的曝光機對位的方法是將線路板傳送至曝光臺面固定位置上，通過CCD抓取板內外圍四個大孔，分析后調整粘有菲林的曝光玻璃的位置，使菲林對準外圍孔后進行曝光。此種方法多應用于多層線路板，由于有裁磨流程，板邊規則整齊，而且每塊板外圍孔離板邊距離一致，不會存在拒曝、對位偏孔等問題。然而，單雙面板的定位孔位置由鉆孔操作員自己選取，會存在每塊板的外圍孔離板邊距離不一致的問題，若單雙面板同樣采用多層線路板的對位方式，會造成大量拒曝，曝光偏孔的問題。

鑒于此，有必要提供一種新的曝光對位方式解決上述技術問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是克服上述技術問題，提供一種可提高單雙面板定位精度的全自動曝光機，可有效避免曝光偏孔和拒曝等問題。

為解決上述技術問題，本實用新型的技術方案如下：

一種全自動曝光機，包括：

曝光臺面，所述曝光臺面上方設有曝光玻璃；

移動平臺，所述移動平臺設于所述曝光臺面，且所述移動平臺上設有用于線路板定位的定位銷；

第一對位裝置，所述第一對位裝置包括設于所述曝光臺面進料端一側用于掃描線路板內孔位的第一掃描裝置，及用于調整所述移動平臺位置的第一控制裝置，所述第一掃描裝置與所述第一控制裝置電連接；

第二對位裝置，所述第二對位裝置包括設于所述曝光臺面上方用于掃描線路板外圍孔的第二掃描裝置及用于調整所述曝光玻璃位置的第二控制裝置，所述第二掃描裝置與所述第二控制裝置電連接。

進一步地，所述第一掃描裝置包括對應線路板兩個對角設置的兩個CCD傳感器。

進一步地，所述第一控制裝置包括伺服馬達。

進一步地，所述伺服馬達位于所述曝光臺面下方。

進一步地，所述第二掃描裝置包括對應掃描線路板四角外圍孔的四個CCD傳感器。

相較于現有技術，本實用新型提供的全自動曝光機，有益效果在于：