[實用新型]一種拋光臺溫度控制裝置有效
| 申請號： | 201821726295.0 | 申請日： | 2018-10-24 |
| 公開（公告）號： | CN208929947U | 公開（公告）日： | 2019-06-04 |
| 發明（設計）人： | 方明喜;肖學才;常強 | 申請（專利權）人： | 愛利彼半導體設備（中國）有限公司 |
| 主分類號： | B24B29/00 | 分類號： | B24B29/00;B24B55/00;F24H9/20 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215300 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 拋光臺 恒溫熱水箱 冷水箱 溫度控制裝置 本實用新型 電磁三通 輻射溫度傳感器 回水溫度傳感器 上溫度傳感器 下溫度傳感器 混合緩沖箱 混合攪拌器 引流 熱交換器 時間控制 溫度波動 出水口 回水箱 進水口 拋光 保證 | ||
1.一種拋光臺溫度控制裝置，其特征在于：包括恒溫熱水箱和恒溫冷水箱，所述恒溫熱水箱和恒溫冷水箱通過引流泵與電磁三通調節閥相連接，所述電磁三通調節閥通過混合緩沖箱與拋光臺的進水口相連接，所述拋光臺的出水口通過回水溫度傳感器與回水箱相連接；所述拋光臺的上部設置有輻射溫度傳感器；
所述恒溫熱水箱和恒溫冷水箱內設置有熱交換器和混合攪拌器，所述恒溫熱水箱和恒溫冷水箱的上部和下部分別設置有上溫度傳感器、下溫度傳感器，還包括控制器，所述電磁三通調節閥、引流泵、回水溫度傳感器、輻射溫度傳感器、上溫度傳感器、下溫度傳感器、混合攪拌器分別與所述控制器相連接。
2.根據權利要求1所述的拋光臺溫度控制裝置，其特征在于：所述混合緩沖箱與拋光臺的進水口之間還設置有第一開關閥，所述混合緩沖箱與第一開關閥之間還通過旁通管與回水箱相連接，所述旁通管上設置有第二開關閥。
3.根據權利要求1所述的拋光臺溫度控制裝置，其特征在于：所述拋光臺上設置有拋光墊，所述拋光墊上部設置有拋光液噴嘴。
4.根據權利要求1所述的拋光臺溫度控制裝置，其特征在于：所述回水箱通過回水電磁三通調節閥分別與所述恒溫熱水箱和恒溫冷水箱相連接。
5.根據權利要求1所述的拋光臺溫度控制裝置，其特征在于：所述恒溫熱水箱和恒溫冷水箱上還分別設置有補水口，所述恒溫熱水箱和恒溫冷水箱內分別設置有水位計。
6.根據權利要求1所述的拋光臺溫度控制裝置，其特征在于：所述恒溫熱水箱和恒溫冷水箱外部分別設置有保溫層。
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