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[實用新型]單晶爐用新型連續(xù)加料裝置有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201821719734.5 申請日: 2018-10-23
公開(公告)號: CN208949443U 公開(公告)日: 2019-06-07
發(fā)明(設計)人: 張建新 申請(專利權(quán))人: 寧夏旭櫻新能源科技有限公司
主分類號: C30B15/02 分類號: C30B15/02;C30B15/14;C30B29/06
代理公司: 寧夏合天律師事務所 64103 代理人: 周曉梅;孫彥虎
地址: 753000 寧夏回族*** 國省代碼: 寧夏;64
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 過渡裝置 儲料裝置 導出裝置 投料裝置 連續(xù)加料裝置 固定裝置 加熱裝置 單晶爐 入口端 上端 爐體 熔融 下端 本實用新型 裝料 環(huán)繞設置 石英坩堝 加料 不均勻 出口端 硅液晶 硅棒 硅料 硅液 化料 拉晶 內(nèi)壁 生產(chǎn)成本 出口
【說明書】:

一種單晶爐用新型連續(xù)加料裝置,包括儲料裝置、過渡裝置、固定裝置、液體導出裝置、加熱裝置,還包括投料裝置,投料裝置設置于爐體的上端,投料裝置的正下端設置有儲料裝置,儲料裝置設置于爐體的下端,過渡裝置的入口端與儲料裝置相連接,過渡裝置設置于固定裝置上端,液體導出裝置的入口端與過渡裝置的出口端相連接,液體導出裝置的出口端設置于石英坩堝的內(nèi)壁上,加熱裝置環(huán)繞設置于過渡裝置、液體導出裝置的外側(cè);本實用新型徹底解決了現(xiàn)有技術硅料熔融后硅液晶相分布不均勻、硅液的一致性差的難題,不需預先裝料,減少加料、化料的時間,提高硅棒熔融效率和水平,提高拉晶效率,有效的降低勞動強度和生產(chǎn)成本,同時因為其投入少,便于推廣。

技術領域

本實用新型涉及單多晶技術領域,尤其涉及單晶爐用新型連續(xù)加料裝置。

背景技術

目前單晶爐的裝料基本都是將硅料預先放置于石英坩堝中,且硅料放置時還要將小塊的硅料放置于石英坩堝的底部,將最大塊的硅料放置于石英坩堝的中部,將中等大小的硅料放置于石英坩堝放在石英坩堝的最上端,硅料還有其它類似放置方式,硅料放置不符合工藝要求時,往往會造成硅料熔融后的硅液晶相分布不均勻,硅液的一致性差,對拉晶過程產(chǎn)生不利影響,如造成拉晶時間過長,晶棒品質(zhì)欠佳,難以生產(chǎn)高純度、晶相一致性好的晶棒。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此,針對上述不足,有必要提出一種單晶爐用新型連續(xù)加料裝置。

單晶爐用新型連續(xù)加料裝置,包括儲料裝置、過渡裝置、固定裝置、液體導出裝置、加熱裝置,所述儲料裝置設置于爐體的下端,所述過渡裝置的入口端與儲料裝置相連接,所述過渡裝置設置于固定裝置上端,所述過渡裝置為漏斗形的腔體,所述液體導出裝置的入口端與過渡裝置的出口端相連接,所述液體導出裝置的出口端設置于石英坩堝的內(nèi)壁上,所述液體導出裝置為空心管體,所述加熱裝置環(huán)繞設置于過渡裝置、液體導出裝置的外側(cè);

所述儲料裝置包括外管套、內(nèi)管套,所述外管套環(huán)繞過渡裝置設置,并延伸至固定裝置上端,所述內(nèi)管套底端設置于外管套中,并延伸至過渡裝置錐形面與圓環(huán)形面交界處,所述內(nèi)管套內(nèi)部形成穩(wěn)定的儲料空間;

所述固定裝置設置于爐體內(nèi)部的支撐環(huán)上,且固定裝置為空心的剛性管體,所述固定裝置一端的內(nèi)徑大,所述固定裝置另一端的內(nèi)徑小,所述固定裝置外徑大的一端還設置于通孔,用于在通孔中設置液體導出裝置。

優(yōu)選的,本實用新型的單晶爐用新型連續(xù)加料裝置還包括投料裝置,所述投料裝置設置于爐體的上端,所述投料裝置的正下端設置有儲料裝置,所述投料裝置包括投料缸體、缸蓋、空心螺紋管、環(huán)形密封件、繩輪、投料繩,所述投料缸體為內(nèi)部中空的圓柱形缸體,投料缸體的頂端設置有缸蓋,所述缸蓋由透明的鋼化玻璃制成,所述投料缸體底端設置有傾斜面,且在傾斜面的中心處開設有通孔,所述空心螺紋管一端設置于投料缸體傾斜面的通孔中,所述空心螺紋管另一端設置于爐體外壁上焊接的螺紋管中,所述環(huán)形密封件環(huán)繞空心螺紋管外壁設置,且環(huán)形密封件位于投料缸體傾斜面與爐體外壁之間,所述繩輪設置于靠近缸體頂端的內(nèi)壁上,且繩輪表面開設有凹槽,所述投料繩設置于繩輪的凹槽中。

優(yōu)選的,所述投料裝置一側(cè)還開設置有排氣閥,用于抽除投料裝置內(nèi)部的氣體;所述投料裝置一側(cè)還設置有進氣閥,用于向投料裝置內(nèi)部沖入氬氣;所述投料裝置內(nèi)部的底端還設置有密封蓋,用于對投料裝置底端傾斜面中心處的通孔進行密封,所述密封蓋的一側(cè)還設置有電機,用于驅(qū)動密封蓋進行轉(zhuǎn)動。

優(yōu)選的,所述空心螺紋管長度不大于爐體、環(huán)形密封件的厚度之和,所述環(huán)形密封件內(nèi)壁上設置有與空心螺紋管相匹配的螺紋,且環(huán)形密封件靠近傾斜面一端的內(nèi)徑大,用于與空心螺紋管外壁相設置,且環(huán)形密封件遠離傾斜面一端的內(nèi)徑小,用于與爐體外壁上焊接的螺紋管相設置。

優(yōu)選的,所述外管套一端內(nèi)徑小,另一端內(nèi)徑大,所述外管套內(nèi)徑小的一端與內(nèi)管套相接觸,所述外管套內(nèi)徑大的另一端也與內(nèi)管套相接觸,使外管套與內(nèi)管套在接觸區(qū)域形成空隙,所述過渡裝置的上端設置于所述空隙中。

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