[實(shí)用新型]一種晶圓檢測(cè)用輔助裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821719682.1
• 申請(qǐng)日: 2018-10-23
• 公開（公告）號(hào): CN209000870U
• 公開（公告）日: 2019-06-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王昌華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 鹽城盈信通科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/66
• 分類號(hào): H01L21/66;H01L21/67
• 代理公司: 常州市權(quán)航專利代理有限公司 32280
• 代理人: 袁興隆

1.一種晶圓檢測(cè)用輔助裝置，包括檢測(cè)探頭（1）本體，檢測(cè)探頭（1）底部設(shè)置有多組檢測(cè)探針，其特征在于，包括底座（2）、固定座（3）、兩組固定支架（4）、升降箱（5）、旋轉(zhuǎn)把手（6）、蝸桿（7）、蝸輪（8）、螺紋升降桿（9）、滑動(dòng)套筒（10）、兩組升降滑塊（11）、兩組緩沖彈簧（12）和兩組固定桿（13），固定座（3）安裝在底座（2）頂部中心，兩組固定支架（4）的低端分別固定在底座（2）頂部的左側(cè)和右側(cè)，升降箱（5）內(nèi)部設(shè)置有升降腔，升降箱（5）左側(cè)和右側(cè)分別連通設(shè)置有兩組第一通孔，升降箱（5）頂部和底部分別設(shè)有兩組第二通孔，蝸輪（8）固定在升降腔內(nèi)，蝸桿（7）的兩端分別穿過兩組第一通孔，蝸桿（7）中部的螺紋與蝸輪（8）外部的螺紋嚙合，螺紋升降桿（9）的兩端分別穿過兩組第二通孔，螺紋升降桿（9）的底端穿過蝸輪（8）中心并與蝸輪（8）內(nèi)部的螺紋嚙合，位于底座（2）左側(cè)的固定支架（4）的上部設(shè)置有旋轉(zhuǎn)通孔，位于底座（2）右側(cè)的固定支架（4）的上部左側(cè)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)槽，蝸桿（7）的左端穿過旋轉(zhuǎn)通孔轉(zhuǎn)動(dòng)固定在旋轉(zhuǎn)通孔內(nèi)，蝸桿（7）的右端轉(zhuǎn)動(dòng)固定在旋轉(zhuǎn)槽內(nèi)，把手右側(cè)中部與蝸桿（7）的左端連接，滑動(dòng)套筒（10）中設(shè)置有滑動(dòng)通孔，兩組升降滑塊（11）均滑動(dòng)固定在滑動(dòng)通孔內(nèi)，螺紋升降桿（9）的底端與位于滑動(dòng)套筒（10）上部的升降滑塊（11）的頂部相接觸，檢測(cè)探頭（1）的頂部與位于滑動(dòng)套筒（10）下部的升降滑塊（11）的底端連接，兩組固定桿（13）中的一組固定桿（13）的右端與滑動(dòng)套筒（10）左側(cè)連接，所述固定桿（13）的左端與位于底座（2）左側(cè)的固定支架（4）連接，兩組固定桿（13）中的另一組固定桿（13）的左端與滑動(dòng)套筒（10）右側(cè)連接，所述固定桿（13）的右端與位于底座（2）右側(cè)的固定支架（4）連接；兩組緩沖彈簧（12）的頂部均與位于滑動(dòng)套筒（10）上部的升降滑塊（11）的底部連接，兩組緩沖彈簧（12）的底部均與位于滑動(dòng)套筒（10）下部的升降滑塊（11）的頂端連接。

2.如權(quán)利要求1所述的一種晶圓檢測(cè)用輔助裝置，其特征在于，還包括兩組緊固桿（14）和兩組緊固膠條（15），兩組緊固桿（14）的底部均與底座（2）頂部連接，兩組緊固桿（14）分別位于固定座（3）的左側(cè)和右側(cè)，兩組緊固膠條（15）分別安裝在兩組緊固桿（14）上。

3.如權(quán)利要求2所述的一種晶圓檢測(cè)用輔助裝置，其特征在于，還包括兩組移動(dòng)滑軌（16）和四組移動(dòng)滑塊（17），兩組移動(dòng)滑軌（16）分別固定在底座（2）頂部的前側(cè)和后側(cè)，兩組移動(dòng)滑軌（16）分別位于固定座（3）的前方和后方，四組移動(dòng)滑塊（17）中的兩組移動(dòng)滑塊（17）均滑動(dòng)固定在位于底座（2）前側(cè)的移動(dòng)滑軌（16）上，四組移動(dòng)滑塊（17）中的另兩組移動(dòng)滑塊（17）均滑動(dòng)固定在位于底座（2）后側(cè)的移動(dòng)滑軌（16）上，兩組緊固桿（14）的兩端分別固定在四組移動(dòng)滑塊（17）上。

4.如權(quán)利要求3所述的一種晶圓檢測(cè)用輔助裝置，其特征在于，還包括螺紋調(diào)節(jié)桿（18），在底座（2）中部設(shè)置有調(diào)節(jié)螺紋孔，在固定座（3）底部設(shè)置有調(diào)節(jié)槽，調(diào)節(jié)槽底部與調(diào)節(jié)螺紋孔頂部連通，螺紋調(diào)節(jié)桿（18）頂部螺裝在調(diào)節(jié)螺紋孔的底部，螺紋調(diào)節(jié)桿（18）頂部穿過調(diào)節(jié)螺紋孔放置在調(diào)節(jié)槽內(nèi)。

5.如權(quán)利要求4所述的一種晶圓檢測(cè)用輔助裝置，其特征在于，還包括兩組緊固架（19），兩組緊固架（19）中的一組緊固架（19）的右端與升降箱（5）左側(cè)底部連接，所述緊固架（19）的左端與位于底座（2）左側(cè)的固定支架（4）的上部連接，兩組緊固架（19）中的另一組緊固架（19）的左端與升降箱（5）右側(cè)底部連接，所述緊固架（19）的右端與位于底座（2）左側(cè)的固定支架（4）的上部連接。

6.如權(quán)利要求5所述的一種晶圓檢測(cè)用輔助裝置，其特征在于，還包括四組腳桿（20）和四組自鎖滾輪（21），四組腳桿（20）的頂部分別固定在底座（2）底部的左前側(cè)、右前側(cè)、左后側(cè)和右后側(cè)，四組自鎖滾輪（21）分別安裝在四組腳桿（20）的底端。