[實(shí)用新型]一種便于操作的光刻涂膠機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821718443.4
• 申請(qǐng)日: 2018-10-23
• 公開（公告）號(hào): CN209362852U
• 公開（公告）日: 2019-09-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蘇宗葉;李群;王慶倫;鄧小紅
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市昊昱精密機(jī)電有限公司
• 主分類號(hào): B05C5/00
• 分類號(hào): B05C5/00;B05C11/00
• 代理公司: 佛山覽眾深聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44435
• 代理人: 劉先珍

本實(shí)用新型公開了一種便于操作的光刻涂膠機(jī)，包括光刻涂膠機(jī)本體，光刻涂膠機(jī)本體前端設(shè)置有柜門，柜門一側(cè)設(shè)置有把手，光刻涂膠機(jī)本體底部設(shè)置有滑輪，光刻涂膠機(jī)本體下方設(shè)置有腳踏控制開關(guān)，光刻涂膠機(jī)本體一側(cè)外壁上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)控制開關(guān)，光刻涂膠機(jī)本體頂部一側(cè)設(shè)置有顯示面板。本實(shí)用新型是一種便于操作的光刻涂膠機(jī)，該光刻涂膠機(jī)按下驅(qū)動(dòng)控制開關(guān)，光刻涂膠機(jī)開始工作，通過開關(guān)控制驅(qū)動(dòng)電機(jī)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)涂膠機(jī)頭工作，動(dòng)力系統(tǒng)控制升降移動(dòng)導(dǎo)軌和平行移動(dòng)導(dǎo)軌滑動(dòng)，有利于涂膠機(jī)頭涂膠，光刻涂膠機(jī)的兩側(cè)設(shè)置顯示面板和安全警示燈，方便觀看數(shù)據(jù)和察覺到意外情況及時(shí)做出反應(yīng)，設(shè)置手動(dòng)開關(guān)和腳踏開關(guān)，方便操作，而且提高工作效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種光刻涂膠機(jī)，特別涉及一種便于操作的光刻涂膠機(jī)，屬于涂膠機(jī)應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

涂膠機(jī)是指將涂料施工于底材上的一道或多道涂層所形成的固態(tài)連續(xù)膜的機(jī)器，涂膠機(jī)的功能要求為X軸、Y軸實(shí)現(xiàn)直線插補(bǔ)和圓弧插補(bǔ)，Z軸主要用于作用工位的轉(zhuǎn)換，它是通過機(jī)械系統(tǒng)、動(dòng)力系統(tǒng)、傳感系統(tǒng)、電子信息處理系統(tǒng)、執(zhí)行元件系統(tǒng)等五大子系統(tǒng)組成的機(jī)電一體化系統(tǒng)設(shè)備，所謂的機(jī)電一體化系統(tǒng)是指在系統(tǒng)的主功能，信息處理功能和控制功能等方面引進(jìn)了電子技術(shù)，并把機(jī)械裝置、執(zhí)行部件、計(jì)算機(jī)等電子設(shè)備以及軟件等有機(jī)結(jié)合而構(gòu)成的系統(tǒng)。

光刻是通過一系列生產(chǎn)步驟，將晶圓表面薄膜的特定部分除去的工藝，光刻生產(chǎn)的目標(biāo)是根據(jù)電路設(shè)計(jì)的要求，生成尺寸精確的特征圖形，并且在晶圓表面的位置正確且與其它部件的關(guān)聯(lián)正確，在晶圓的制造過程中，晶體三極管、二極管、電容、電阻和金屬層的各種物理部件在晶圓表面或表層內(nèi)構(gòu)成，這些部件是每次在一個(gè)掩膜層上生成的，并且結(jié)合生成薄膜及去除特定部分，通過光刻工藝過程，最終在晶圓上保留特征圖形的部分。

目前，在產(chǎn)品生產(chǎn)過程中，用到的涂膠機(jī)只能在工作的過程中用手操控，而且不僅要控制機(jī)器，還要操作調(diào)節(jié)產(chǎn)品的拿放和換向，使得操作不方便，工作人員的工作效率低，大大的降低了生產(chǎn)效率，滿足不了生產(chǎn)需求。因此，需要設(shè)計(jì)一種便于操作的光刻涂膠機(jī)，來解決以上的問題，讓工作效率變高。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是克服工作效率低的缺陷，提供一種便于操作的光刻涂膠機(jī)。為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了如下的技術(shù)方案：

本實(shí)用新型提供一種便于操作的光刻涂膠機(jī)，包括光刻涂膠機(jī)本體、柜門、滑輪、腳踏控制開關(guān)、驅(qū)動(dòng)控制開關(guān)、顯示面板、工作臺(tái)、升降移動(dòng)導(dǎo)軌、平行移動(dòng)導(dǎo)軌、驅(qū)動(dòng)電機(jī)、涂膠機(jī)頭和安全警示燈，所述光刻涂膠機(jī)本體的前端設(shè)置有柜門，所述柜門的一側(cè)設(shè)置有把手，所述光刻涂膠機(jī)本體的底部設(shè)置有滑輪，所述光刻涂膠機(jī)本體的下方設(shè)置有腳踏控制開關(guān)，所述光刻涂膠機(jī)本體的一側(cè)外壁上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)控制開關(guān)，所述光刻涂膠機(jī)本體的頂部一側(cè)設(shè)置有顯示面板，所述光刻涂膠機(jī)本體的頂部另一側(cè)設(shè)置有安全警示燈，所述光刻涂膠機(jī)本體的中間部分設(shè)置有工作臺(tái)，所述工作臺(tái)上設(shè)置有升降移動(dòng)導(dǎo)軌和平行移動(dòng)導(dǎo)軌，所述平行移動(dòng)導(dǎo)軌上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的下方設(shè)置有涂膠機(jī)頭，所述光刻涂膠機(jī)本體內(nèi)設(shè)置有機(jī)械系統(tǒng)、電子信號(hào)處理系統(tǒng)、動(dòng)力系統(tǒng)、傳感系統(tǒng)和執(zhí)行元件系統(tǒng)。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述柜門、把手和滑輪均設(shè)置兩個(gè)，所述光刻涂膠機(jī)本體設(shè)置有電機(jī)。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述滑輪的一側(cè)設(shè)置有滑動(dòng)擋塊，所述滑輪通過連接件與光刻涂膠機(jī)本體固定連接。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述顯示面板和安全警示燈均通過支撐柱固定安裝在光刻涂膠機(jī)本體上。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過連接導(dǎo)線與控制電機(jī)的開關(guān)相連接，所述開關(guān)是手動(dòng)控制。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述機(jī)械系統(tǒng)包括顯示面板，所述傳感系統(tǒng)中設(shè)置有溫度傳感器。