[實用新型]熱膨脹系數的測量裝置有效
| 申請號： | 201821715412.3 | 申請日： | 2018-10-23 |
| 公開（公告）號： | CN209460177U | 公開（公告）日： | 2019-10-01 |
| 發明（設計）人： | 劉兵海;華佑南;傅超;寥金枝;李曉旻 | 申請（專利權）人： | 勝科納米(蘇州)有限公司 |
| 主分類號： | G01N25/16 | 分類號： | G01N25/16 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 朱琳 |
| 地址： | 215123 江蘇省蘇州市工業園*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 熱膨脹系數 微觀 懸臂 信號處理系統 本實用新型 激光束信號 測量裝置 激光反射 原位加熱 放大 激光束 工作臺 反射 熱膨脹 測量熱膨脹系數 光敏二極管陣列 尺寸變化 處理系統 放大模組 加熱樣品 納米探針 信號接收 懸臂表面 一端設置 有效放大 反射層 激光源 納米級 投射 涂覆 承載 傳遞 | ||
【權利要求書】：
1.一種熱膨脹系數的測量裝置，其特征在于，包括：
原位加熱臺，用于承載并加熱樣品；
工作臺，位于原位加熱臺一側；
微觀懸臂，一端設置于所述工作臺的頂部，另一端通過納米探針與樣品的表面接觸，并且，所述微觀懸臂表面涂覆有反射層；
激光源，用于向所述微觀懸臂投射激光束；
激光反射放大模組，用于接收所述微觀懸臂上反射的激光束，放大后反射出去；
以及
信號接收和處理系統，包括光敏二極管陣列和信號處理系統，所述光敏二極管陣列用于接收放大后的激光束信號并傳遞給信號處理系統，所述信號處理系統對激光束信號進行處理，從而獲取樣品的熱膨脹系數。
2.如權利要求1所述的熱膨脹系數的測量裝置，其特征在于，所述激光反射放大模組至少設置有2組。
3.如權利要求1所述的熱膨脹系數的測量裝置，其特征在于，所述原位加熱臺中設置有溫度控制和記錄系統，且所述溫度控制和記錄系統與所述信號處理系統連接。
4.如權利要求1所述的熱膨脹系數的測量裝置，其特征在于，所述工作臺為壓電樣品臺。
5.如權利要求1所述的熱膨脹系數的測量裝置，其特征在于，所述激光反射放大模組包括：二極管激光器和激光反射鏡。
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