[實用新型]半導體層有效
| 申請號: | 201821715301.2 | 申請日: | 2018-10-23 |
| 公開(公告)號: | CN208954937U | 公開(公告)日: | 2019-06-07 |
| 發明(設計)人: | 林建宏;劉振宇 | 申請(專利權)人: | 宸鴻光電科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/268 | 分類號: | H01L21/268;H01L29/04 |
| 代理公司: | 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金國 |
| 地址: | 中國臺灣臺北市內湖*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 透光區域 半導體層 光罩 半熔融態 結晶形成 熔融態 閃光燈 照射 晶格重新排列 結晶特性 結晶化 接面 搭配 | ||
1.一種半導體層,其特征在于,該半導體層包含:
一第一結晶部分,由一半熔融態的一第一部分結晶形成;以及
一第二結晶部分,由一熔融態的一第二部分結晶形成,
其中該半熔融態的該第一部分與該熔融態的該第二部分是由一閃光燈透過一第一光罩照射該第一部分與該第二部分而形成,該第一光罩包含一部分透光區域與一透光區域,該部分透光區域對應于該第一部分,該透光區域對應于該第二部分,該第一部分鄰近該第二部分;該第二結晶部分是由該第一部分與該第二部分的一接面開始結晶化該第二部分而形成,該第一結晶部分是該第一部分的晶格重新排列而形成。
2.根據權利要求1所述的半導體層,其特征在于,該第一結晶部分包含一微結晶部分。
3.根據權利要求1所述的半導體層,其特征在于,該第二結晶部分包含一側向結晶部分。
4.根據權利要求1所述的半導體層,其特征在于,還包含:
一非結晶部分,是由該閃光燈透過該第一光罩照射該半導體層而形成,其中該第一光罩還包含一不透光區域,該不透光區域對應于該非結晶部分。
5.根據權利要求1所述的半導體層,其特征在于,該閃光燈透過一第二光罩照射該半導體層以改變該半導體層的一結晶狀況。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





