[實用新型]一種研磨廢水的處理裝置

有效

• 申請號: 201821713782.3
• 申請日: 2018-10-22
• 公開（公告）號: CN208327480U
• 公開（公告）日: 2019-01-04
• 發明（設計）人: 張建清
• 申請（專利權）人: 高頻美特利環境科技（北京）有限公司
• 主分類號: C02F1/44
• 分類號: C02F1/44;C02F103/34
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李寧;李海建

本實用新型公開了一種研磨廢水的處理裝置，其包括廢水進管；陶瓷膜過濾器，所述陶瓷膜過濾器具有進廢水側和產水側，所述廢水進管與所述進廢水側連通；出水管，所述出水管與所述產水側連通；與進廢水側連通的正沖進水管和正沖出水管。本實用新型提供的研磨廢水的處理裝置采用陶瓷膜對研磨廢水進行回收處理，充分保證了水中直徑較大的顆粒，如膠體、固體顆粒、病菌、隱性孢子等被完全過濾掉，進而保證了通過陶瓷膜過濾后的出水，不含懸浮物，可以直接使用，過濾效果較好。而且，陶瓷膜具有優異的耐化學腐蝕的性能，因此可以在廣泛的pH值范圍內進行操作，并且耐氧化，可以用來處理加氯處理后的水，以及用強氧化劑進行清洗。

技術領域

本實用新型涉及水處理技術領域，更具體地說，涉及一種研磨廢水的處理裝置。

背景技術

自90年代以來，全球電子行業蓬勃發展，引起了世界各國政府的高度重視。中國的電子工業歷經多年的改革開放，逐漸成為“世界電子產品制造業的加工廠”。目前國家大力發展晶圓廠，在晶棒、晶圓的制造過程中，切割、研磨、劃片、減薄、化學研磨平坦化(CMP)等工藝后的清洗過程中，均會產生研磨廢水。研磨廢水中含有少量的研磨膏、被研磨下來的微小顆粒以及清洗劑，但其中的水質比較好，電導率和TOC(Total Organic Carbon，總有機碳)含量都比較低，具有回收利用的價值。

研磨廢水回收的難點在于廢水中的顆粒物非常微小，采用傳統的介質過濾沒有辦法去除。現有技術中一般采用混凝沉淀進行預處理，再運用高分子有機物制成的超濾技術，利用有機超濾膜的孔徑小的特點，對研磨廢水中的微小顆粒進行截留，合格的產水進行回收。但是，由于研磨廢水中的顆粒物比較鋒利，且有機超濾存在機械強度不足，容易斷絲且過濾效果較差的情況。另外，有機超濾對進水中SS(Suspended Solids，懸浮物)和TOC的容忍度有限，對預處理的要求嚴格，化學穩定性有限，運行故障后，膜的性能恢復性不理想等缺陷，因此有機超濾運用起來故障率高，更換頻繁。

綜上所述，如何有效地解決研磨廢水處理時過濾效果較差的問題，是目前本領域技術人員急需解決的問題。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種研磨廢水的處理裝置，該研磨廢水的處理裝置的結構設計可以有效地解決研磨廢水處理時過濾效果較差的問題。

為了達到上述第一個目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種研磨廢水的處理裝置，包括：

廢水進管；

陶瓷膜過濾器，所述陶瓷膜過濾器具有進廢水側和產水側，所述廢水進管與所述進廢水側連通；

出水管，所述出水管與所述產水側連通；

與進廢水側連通的正沖進水管和正沖出水管。

優選地，上述研磨廢水的處理裝置中，所述陶瓷膜過濾器的過濾方式為死端過濾或錯流過濾。

優選地，上述研磨廢水的處理裝置中，所述陶瓷膜過濾器的過濾方式為內壓式過濾方式。

優選地，上述研磨廢水的處理裝置中，還包括串接在所述廢水進管或出水管上的第一壓力部件，所述第一壓力部件能夠使所述進廢水側的壓力大于或小于所述產水側的壓力。

優選地，上述研磨廢水的處理裝置中，還包括與進廢水側連通的反洗出水管和與所述產水側連通的反洗進水管。

優選地，上述研磨廢水的處理裝置中，還包括串接在所述反洗出水管或反洗進水管上的第三壓力部件，所述第三壓力部件能夠使所述進廢水側的壓力小于所述產水側的壓力。

優選地，上述研磨廢水的處理裝置中，進入所述反洗進水管的清洗液中添加有酸、堿或殺菌劑。

優選地，上述研磨廢水的處理裝置中，所述陶瓷膜過濾器的陶瓷膜過濾孔的平均孔徑為30nm。