[實(shí)用新型]一種晶圓移片裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821711251.0
• 申請日: 2018-10-22
• 公開（公告）號: CN209193020U
• 公開（公告）日: 2019-08-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王浩;王剛;張陳濤
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇艾科半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: B65G47/82
• 分類號: B65G47/82;B65G47/74;G01R31/26
• 代理公司: 南京申云知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32274
• 代理人: 于賀賀;邱興天

1.一種晶圓移片裝置，包括工具移片機(jī)(1)以及放置在工具移片機(jī)(1)上滿載的晶圓匣(2)以及空載的晶圓匣(2)，并且這兩個(gè)晶圓匣(2)相對應(yīng)放置；其特征在于:所述的工具移片機(jī)(1)的下端面安裝有一可往復(fù)推動(dòng)的推動(dòng)裝置(3)，且該推動(dòng)裝置(3)上安裝有聯(lián)動(dòng)桿(4)，該聯(lián)動(dòng)桿(4)從工具移片機(jī)(1)的下方向滿載的晶圓匣(2)的位置延伸并且在桿端部還安裝有豎直放置的移片套筒(5)，該所述的移片套筒(5)內(nèi)還安裝有晶圓移片基板(6)，所述的晶圓移片基板(6)向上延伸設(shè)置，并且其板面一側(cè)設(shè)置有橫向伸出的晶圓移片推桿(7)，所述的晶圓移片推桿(7)從上而下間隔均勻設(shè)置；該所述的晶圓移片推桿(7)與滿載的晶圓匣(2)的位置對應(yīng)；并且上下兩相鄰晶圓移片推桿(7)之間的間距與晶圓匣(2)內(nèi)晶圓(8)的厚度相對應(yīng)；使晶圓移片推桿(7)可間隔式的對準(zhǔn)晶圓匣(2)內(nèi)的晶圓(8)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓移片裝置，其特征在于：所述的晶圓移片基板(6)的下端開設(shè)有一臺階槽(9)；而在該臺階槽(9)內(nèi)放置有一分離式安裝的奇偶滑塊(10)，該奇偶滑塊(10)與晶圓移片基板(6)一同放置在移片套筒(5)內(nèi)；并且該奇偶滑塊(10)的高度設(shè)置為與晶圓(8)的厚度相對應(yīng)；并且奇偶滑塊(10)上還安裝有一撥桿(11)；而移片套筒(5)上則設(shè)置有滑槽(12)，所述撥桿(11)從滑槽(12)內(nèi)伸出。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓移片裝置，其特征在于：所述的晶圓移片基板(6)和移片套筒(5)上還設(shè)置有上下兩個(gè)相對應(yīng)的螺紋孔(13)，該螺紋孔(13)內(nèi)安裝有可分離固定的波珠螺絲(14)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓移片裝置，其特征在于：所述移片套筒(5)的前端還設(shè)置有限位槽(15)；而所述的晶圓移片基板(6)上則設(shè)置有相對應(yīng)的限位塊(16)，該限位塊(16)設(shè)置在限位槽(15)中，所述的晶圓移片基板(6)可帶動(dòng)限位塊(16)抬升，而此時(shí)奇偶滑塊(10)則可從臺階槽(9)處移動(dòng)到晶圓移片基板(6)的下端。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓移片裝置，其特征在于：所述的推動(dòng)裝置(3)上還設(shè)置有移動(dòng)控制把手(17)。