[實用新型]靶材浸潤處理的輔助裝置

有效

• 申請號: 201821710875.0
• 申請日: 2018-10-22
• 公開（公告）號: CN209035659U
• 公開（公告）日: 2019-06-28
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;王學澤;丁向前
• 申請（專利權）人: 合肥江豐電子材料有限公司
• 主分類號: B23K3/08
• 分類號: B23K3/08;B23K1/20
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 吳敏

一種靶材浸潤處理的輔助裝置，包括傳動桿以及支撐架，所述支撐架適于支撐所述傳動桿；還包括超聲波盤，所述超聲波盤與所述傳動桿一端固定連接，所述超聲波盤底部固定連接有至少一個超聲波處理器。所述支撐架支撐所述傳動桿與所述超聲波盤，所以操作者可以借助所述支撐架的力支撐所述超聲波處理器，很大程度的節約了操作者的勞動力；并且所述傳動桿與所述超聲波盤固定連接，當操作者手持所述傳動桿，且旋轉所述傳動桿時，所述超聲波盤底部固定的超聲波處理器就會沿固定的環繞軌道旋轉，使得所述超聲波處理器可以處理到靶坯表面或者其他待浸潤處理的表面每一個細節部位，使得浸潤結果更加穩定和均勻。

技術領域

本實用新型涉及機械加工領域，特別涉及一種靶材浸潤處理的輔助裝置。

背景技術

釬焊是一種材料連接方法，人們常使用這種方法連接靶材。在釬焊時，將低于靶材熔點的釬料與靶材同時加熱到釬料熔化的溫度后，使得所述釬料為液態，利用所述液態釬料能夠鋪展到靶材表面以填充靶材表面的縫隙，使靶材的靶坯和背板的表面連接。液體與固體接觸時，有的液體表面張力大，難以和固體相互附著，為了增加這種附著力，一般要對固體表面進行表面浸潤處理。現有技術中，使用超聲波對固體表面進行處理，使得液體鋪展到整個釬焊面上并且形成較強的附著力。

但是，現有技術中，在對靶材表面浸潤處理時，一般是操作者手持超聲波處理儀器，由于超聲波處理焊接面時間比較持久，需要反復處理很多遍，所以，人為手持超聲波處理儀器進行處理焊接面容易使人疲憊，工作效率無法提高，特別是針對半導體晶圓磁控濺射鍍膜用的靶材，這種靶材的靶坯表面是圓形，要使得超聲波處理器能夠均勻處理到該圓形的每個細節處，增加了浸潤處理的難度，使得工作效率非常低，更加不利于大批量作業。

因此，極需要一種輔助裝置，可以提高操作者的工作效率，有益于大批量作業。

發明內容

本實用新型解決的問題是在對靶坯表面使用超聲波處理器進行浸潤處理時，提高操作者的工作效率。

為解決上述問題，本實用新型提供一種靶材浸潤處理的輔助裝置，傳動桿以及支撐架，所述支撐架適于支撐所述傳動桿；超聲波盤，所述超聲波盤與所述傳動桿一端固定連接，所述超聲波盤上固定連接有至少一個超聲波處理器。

可選的，所述支撐架包括支撐腿與支撐桿，所述支撐腿的數量至少為兩條，所述支撐腿與所述支撐桿固定連接，且所述支撐腿支撐所述支撐桿。

可選的，還包括軸承，所述軸承外圈固定于所述支撐桿，所述軸承內圈與所述傳動桿徑向外圈固定。

可選的，還包括軸承盤，所述軸承盤固定于所述支撐桿。

可選的，所述傳動桿與所述軸承盤通過軸承固定連接。

可選的，所述軸承盤厚度方向上具有通孔，所述傳動桿穿過所述通孔。

可選的，在所述通孔內，所述軸承外圈與所述通孔內壁固定連接，所述軸承內圈與所述傳動桿徑向外端固定連接。

可選的，具有兩個所述支撐腿，兩個所述支撐腿分別設立在所述支撐桿軸向兩端。

可選的，具有兩個所述支撐腿，兩條所述支撐腿設置在所述支撐桿局部，且所述支撐腿適于支撐所述支撐桿。

可選的，具有三條所述支撐腿，所述支撐桿適于固定在所述支撐腿上。

可選的，所述超聲波處理器通過焊接或螺紋連接固定在所述超聲波盤上。

可選的，所述傳動桿包括手持部與連接部，所述連接部為桿狀，所述連接部一端與所述手持部固定連接，另一端與所述超聲波盤固定連接。

與現有技術相比，本實用新型的技術方案具有以下優點：