[實用新型]一種鈮酸鋰法腐蝕裝置

有效

• 申請號: 201821710688.2
• 申請日: 2018-10-22
• 公開（公告）號: CN208980829U
• 公開（公告）日: 2019-06-14
• 發明（設計）人: 華平壤;姜城
• 申請（專利權）人: 派尼爾科技（天津）有限公司
• 主分類號: C30B33/10
• 分類號: C30B33/10;C30B29/30
• 代理公司: 北京沁優知識產權代理事務所(普通合伙) 11684
• 代理人: 汪發成

1.一種鈮酸鋰法腐蝕裝置，其特征在于：所述腐蝕裝置包括裝置本體(1)、驅動機構(2)、樣品放置機構(3)及通風機構(4)，所述裝置本體(1)為一殼體，其內設有容納腔(5)，所述容納腔(5)分別設置有腐蝕槽(6)及清水槽(7)；所述裝置本體(1)上設有取放樣門(8)，用于取放基片樣品；

所述驅動機構(2)與所述樣品放置機構(3)固定連接，用于驅動所述樣品放置機構(3)在所述容納腔(5)內水平方向上移動及豎直方向上移動；

所述通風機構(4)包括抽風機(401)及通風管道(402)，所述通風管道(402)設于所述裝置本體(1)內，并連接所述抽風機(401)。

2.根據權利要求1所述的一種鈮酸鋰法腐蝕裝置，其特征在于，所述驅動機構(2)包括電動推桿(201)、第一電機(202)及第二電機(203)，所述電動推桿(201)固定安裝在所述容納腔(5)內，其輸出端連接一活動板(204)；所述活動板(204)面向所述腐蝕槽(6)的一側開設有凹槽(205)，所述第一電機(202)設于所述凹槽(205)內，且其輸出端通過聯軸器與一絲桿(206)固定連接；所述絲桿(206)上通過螺紋連接一滑塊(207)，所述滑塊(207)能夠沿所述絲桿(206)長度方向上移動；所述滑塊(207)面向所述腐蝕槽(6)的一側安裝有所述第二電機(203)，所述第二電機(203)的輸出軸與一攪拌桿(208)固定連接，所述攪拌桿(208)遠離所述第二電機(203)的一側與所述樣品放置機構(3)固定連接。

3.根據權利要求2所述的一種鈮酸鋰法腐蝕裝置，其特征在于，所述攪拌桿(208)上設有若干攪拌葉(209)。

4.根據權利要求2或3所述的一種鈮酸鋰法腐蝕裝置，其特征在于，所述樣品放置機構(3)包括固定架(31)及鎖緊裝置(32)，所述固定架(31)包括定位盤(311)及定位桿(312)，所述定位桿(312)一端與所述定位盤(311)固定連接，其另一端與所述攪拌桿(208)固定連接；所述定位桿(312)上設有滑槽(33)；所述鎖緊裝置(32)包括夾塊(321)及夾片(322)，所述夾片(322)與所述夾塊(321)固定連接，且所述夾塊(321)滑動插接于所述滑槽(33)內，所述滑槽(33)內設有一彈性件(323)，所述彈性件(323)抵持所述夾塊(321)。

5.根據權利要求4所述的一種鈮酸鋰法腐蝕裝置，其特征在于，所述定位盤(311)上設有穿孔(3111)。

6.根據權利要求4所述的一種鈮酸鋰法腐蝕裝置，其特征在于，所述腐蝕裝置還包括一濾籃(9)，所述濾籃(9)與所述攪拌桿(208)固定連接，所述樣品放置機構(3)置于所述濾籃(9)內。

7.根據權利要求1所述的一種鈮酸鋰法腐蝕裝置，其特征在于：所述清水槽(7)內設置有用于清洗基片樣品的若干噴淋頭(10)。

8.根據權利要求1所述的一種鈮酸鋰法腐蝕裝置，其特征在于：所述裝置本體(1)上還設有觀察窗(11)，所述觀察窗(11)的材質采用透明有機玻璃。