[實(shí)用新型]研磨液過濾系統(tǒng)、研磨液供應(yīng)系統(tǒng)及化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821700687.X
• 申請(qǐng)日: 2018-10-19
• 公開（公告）號(hào): CN208913880U
• 公開（公告）日: 2019-05-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 田得暄;辛君;吳龍江;林宗賢
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 德淮半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): B24B57/02
• 分類號(hào): B24B57/02
• 代理公司: 上海思捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31295
• 代理人: 王宏婧

1.一種研磨液過濾系統(tǒng)，其特征在于，包含：

主管路，其一端作為研磨液供給端，其另一端作為研磨液輸出端；

過濾器，安裝于所述主管路上；

用于控制所述主管路通斷的第一閥門，安裝于所述主管路上，且位于所述過濾器與所述研磨液供給端之間；以及

用于向所述過濾器提供沖洗物質(zhì)以排出所述過濾器中殘存的研磨液的清洗裝置，與所述第一閥門和所述過濾器之間的所述主管路相連接。

2.如權(quán)利要求1所述的研磨液過濾系統(tǒng)，其特征在于，所述清洗裝置包含：

第一管路，其一端與所述主管路連接，且其連接點(diǎn)位于所述第一閥門與所述過濾器之間，其另一端用于接入沖洗物質(zhì)源；以及

用于控制所述第一管路通斷的第二閥門，安裝于所述第一管路上。

3.如權(quán)利要求1所述的研磨液過濾系統(tǒng)，其特征在于，所述清洗裝置包含：

第一管路、第一支管路和第二支管路，所述第一管路的一端與所述主管路連接且其連接點(diǎn)位于所述第一閥門與所述過濾器之間；

用于控制所述第一管路通斷的第二閥門，安裝于所述第一管路上；

所述第一管路的另一端直接引出或通過連接件引出所述第一支管路和第二支管路，所述第一支管路用于接入干燥氣體源，所述第二支管路用于接入沖洗物質(zhì)源；

用于控制該第一支管路通斷的第三閥門，其設(shè)置在所述第一支管路上；以及

用于控制該第二支管路通斷的第四閥門，其設(shè)置在所述第二支管路上。

4.如權(quán)利要求3所述的研磨液過濾系統(tǒng)，其特征在于，所述第一閥門、第二閥門、第三閥門及第四閥門采用手動(dòng)閥和/或氣動(dòng)閥。

5.如權(quán)利要求3所述的研磨液過濾系統(tǒng)，其特征在于，所述連接件為三通閥，所述三通閥中的任意一路連通所述第一管路，其余的兩路中的任意一路與所述第一支管路連接，另一路與所述第二支管路連接。

6.如權(quán)利要求1所述的研磨液過濾系統(tǒng)，其特征在于，所述過濾器包括殼體及位于所述殼體內(nèi)的過濾芯。

7.如權(quán)利要求6所述的研磨液過濾系統(tǒng)，其特征在于，所述過濾芯采用折疊筒式過濾芯。

8.如權(quán)利要求1～7中任意一項(xiàng)所述的研磨液過濾系統(tǒng)，其特征在于，還包含：用于檢測(cè)所述主管路所排出液體的pH值的pH檢測(cè)設(shè)備，安裝于所述主管路上。

9.一種研磨液供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，包含：

研磨液供給源；以及

如權(quán)利要求1～8中任意一項(xiàng)所述的研磨液過濾系統(tǒng)，所述研磨液過濾系統(tǒng)中的主管路的研磨液供給端與所述研磨液供給源連接。

10.一種化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備，其特征在于，包含：

旋轉(zhuǎn)臺(tái)；

固定在所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)表面的研磨墊；以及

如權(quán)利要求1～8中任意一項(xiàng)所述的研磨液過濾系統(tǒng)，所述研磨液過濾系統(tǒng)中的主管路的研磨液輸出端用于向所述研磨墊上提供研磨液。