[實用新型]一種激光二極管芯片光電屬性檢測裝置

有效

• 申請號: 201821700128.9
• 申請日: 2018-10-19
• 公開（公告）號: CN209055636U
• 公開（公告）日: 2019-07-02
• 發明（設計）人: 朱干軍;張家堯
• 申請（專利權）人: 義烏臻格科技有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 合肥市上嘉專利代理事務所(普通合伙) 34125
• 代理人: 葉洋軍;郭華俊

本實用新型公開了一種激光二極管芯片光電屬性檢測裝置，包括一維升降機構、夾具、和條帶探針，其中，所述夾具固連至一維升降機構，用于夾持弧形的條帶探針，其中，所述條帶探針自身呈弧形或彎曲成弧形，以與激光二極管脊頂面電極的延伸方向正交的方式，水平下降至與脊頂面電極的金電極圖層接觸的位置，由條帶探針的彎曲形變提供接觸壓力。本實用新型以條帶型的探針去替代傳統的探針，去提供激光二極管光電屬性檢測過程所需要的電流(電壓)，由于下針方式和接觸面積的改變，對檢測設備的位置精準度降低了要求，保護了激光二極管上的電極墊，延長了探針的使用壽命。從設備、耗材、以及制程工藝上降低了成本。

技術領域

本實用新型涉及一種激光二極管芯片光電屬性檢測裝置。

背景技術

激光二極管芯片的光電屬性(例如光強電流電壓/PIV曲線，波長，遠近場，高速特性)在其制程和產品品級篩選過程中是非常重要的參數，所有這些檢測環節都需要給激光二極管芯片提供電流(或電壓)的條件。

如圖1和圖2所示，在目前的激光二極管光電屬性檢測設備上，一般采用一根細的剛性探針20去接觸芯片10上端的電極墊(pad)12，來提供正極電流；負極由二極管芯片背面的導電膜層或其他電極接觸來提供。

激光二極管芯片上的電極墊通常是一個直徑在幾十微米，厚度在亞微米級的金(Au)墊構成。為了形成有效的電接觸，探針的尖端直徑不能超過電極墊的直徑，通常為40-60微米。通常尖端也是延展性較高的金屬(金Au)構成。

由于電極墊和探針都是直徑尺寸都很小，對測量設備的位置對準要求較高，而且由于電極墊和探針尖都是延展性高的金屬，所以在接觸過程中，會發生形變，磨損和物質轉移。電極墊如果扎的次數夠多，就極大的改變了其接觸電阻，影響器件的使用功效。而探針尖端，也會因為磨損造成失效。有些做法是：額外制造供檢測光電屬性的電極墊。

所以，傳統的針型探針在激光二極管光電屬性檢測上在設備、耗材和制程工藝上都有成本的問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種激光二級光光電屬性檢測裝置，以替代傳統的針尖型探針檢測方式。

為此，本實用新型提供了一種激光二極管芯片光電屬性檢測裝置，包括一維升降機構、夾具、和條帶探針，其中，所述夾具固連至一維升降機構，用于夾持弧形的條帶探針，其中，所述條帶探針自身呈弧形或彎曲成弧形，以與激光二極管脊頂面電極的延伸方向正交的方式，水平下降至與脊頂面電極的金電極圖層接觸的位置，由條帶探針的彎曲形變提供接觸壓力。

進一步地，上述激光二極管芯片光電屬性檢測裝置還包括用于檢測條帶探針升降位移的測距裝置(如激光測距器件，電容測距器件，溫度測距器件)。

進一步地，上述條帶探針的寬度為百微米級。

進一步地，上述夾具上排列由一組條帶探針，用于一次探測多個激光二極管芯片。

本實用新型以條帶型的探針去替代傳統的探針，去提供激光二極管光電屬性檢測過程所需要的電流(電壓)，由于下針方式和接觸面積的改變，對檢測設備的位置精準度降低了要求，保護了激光二極管上的電極墊，延長了探針的使用壽命。從設備、材料(耗材)、以及制程工藝上為激光二極管芯片的制造和檢測降低了成本。

除了上面所描述的目的、特征和優點之外，本實用新型還有其它的目的、特征和優點。下面將參照圖，對本實用新型作進一步詳細的說明。

附圖說明

構成本申請的一部分的說明書附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定。在附圖中：

圖1是傳統的使用針型探針進行激光二極管芯片光電屬性檢測的平面示意圖；