[實用新型]真空泵

有效

• 申請號: 201821698138.3
• 申請日: 2018-10-19
• 公開（公告）號: CN209483643U
• 公開（公告）日: 2019-10-11
• 發明（設計）人: 芝守
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D29/58;F04D27/00
• 代理公司: 北京派特恩知識產權代理有限公司 11270
• 代理人: 康艷青;姚開麗

在使用滾珠軸承的一體型真空泵中，防止滾珠軸承部的溫度上升而實現耐用年限的提高。真空泵包括：泵裝置，使轉子以由滾珠軸承支承的旋轉軸為中心而高速旋轉，從泵排氣口排出由泵吸氣口吸入的氣體；以及控制裝置，安裝在所述泵裝置的沿所述旋轉軸的方向的側面，且包括包含發熱元件的電子電路及收納所述電子電路的殼體，對泵裝置的運行進行控制，所述發熱元件直接接觸所述殼體的與泵裝置不相接的外板，而所述發熱元件不接觸所述殼體的與泵裝置相接的外板。

技術領域

本實用新型涉及一種使泵裝置與控制裝置一體化的一體型的真空泵。

背景技術

作為用于半導體制造裝置或分析裝置等中的真空泵，是使用渦輪分子泵 (turbomolecular pump)。渦輪分子泵包括泵裝置及控制裝置，所述控制裝置包括用于驅動及控制泵裝置內的馬達等的驅動電路、控制電路等。

在渦輪分子泵中，為了通過使形成有多段旋轉葉片的轉子(rotor)高速旋轉而進行排氣，設置有在其兩端附近旋轉自如地支撐作為轉子的旋轉軸的軸(shaft)的軸承。在軸承中，是使用潤滑脂(grease)潤滑式的滾珠軸承、或利用永久磁鐵或電磁鐵的吸引力及排斥力的磁軸承。磁軸承雖然具有非接觸的優點，但是與滾珠軸承相比體型大并且成本高。因此，在小型泵中，通常是在軸的一個吸氣口側(高真空側)的端部使用磁軸承，在另一個排氣口側(低真空側)的端部使用體型小且成本低的潤滑脂潤滑式的滾珠軸承。

為了使渦輪分子泵小型化，已知如專利文獻1所述的泵裝置與控制裝置的一體化。在專利文獻1所述的渦輪分子泵中，是在進行真空排氣的泵裝置的底座的側面形成凹部，在所述凹部內收納包含搭載有電子零件的基板的控制裝置而實現小型化。

[現有技術文獻]

[專利文獻]

專利文獻1：日本專利特開2014-105695號公報

實用新型內容

[實用新型所要解決的問題]

在渦輪分子泵中，為了使轉子高速旋轉，必須利用大功率來進行驅動，因此控制裝置內的特別是驅動電路成為大發熱源。當為了小型化而使泵裝置與控制裝置一體化時，控制裝置內的驅動電路等發熱元件所產生的熱會傳遞至泵裝置。而且，當所述熱傳輸至對轉子進行支撐的滾珠軸承時，存在滾珠軸承的潤滑脂等潤滑劑經加熱而蒸發使得滾珠軸承的壽命縮短的問題。

[解決問題的技術手段]

根據本實用新型的第一方式，真空泵包括：泵裝置，使轉子以由滾珠軸承支承的旋轉軸為中心而高速旋轉，從泵排氣口排出由泵吸氣口吸入的氣體；控制裝置，安裝在所述泵裝置的沿所述旋轉軸的方向的側面，且控制裝置包括包含發熱元件的電子電路及收納所述電子電路的殼體，控制裝置對所述泵裝置的運行進行控制；并且所述發熱元件直接接觸所述殼體的與所述泵裝置不相接的外板，所述發熱元件不接觸所述殼體的與所述泵裝置相接的外板。

所述發熱元件與所述殼體的與所述泵裝置不相接的外板以低熱阻連接。

根據本實用新型的真空泵，所述殼體是具有沿所述旋轉軸的方向的長邊方向的長方體，所述殼體的所述發熱元件所接觸的所述外板是沿所述旋轉軸的方向延伸的外板。

根據本實用新型的的真空泵，所述殼體經由隔熱構件而與所述泵裝置相接。

根據本實用新型的的真空泵，包括：冷卻風扇，設置在所述泵裝置的外表面，使所述泵裝置冷卻。

根據本實用新型的的真空泵，所述控制裝置設置在來自所述冷卻風扇的冷卻風的冷卻路徑上。

根據本實用新型的的真空泵，所述冷卻風扇相對于所述控制裝置，夾著所述旋轉軸而設置在所述泵裝置的相反側。

根據本實用新型的的真空泵，所述發熱元件經由傳熱構件，與所述殼體的所述外板連接。