[實用新型]一種粉塵清理裝置及包含該裝置的單晶爐尾氣自動除塵器

有效

• 申請號: 201821695207.5
• 申請日: 2018-10-19
• 公開（公告）號: CN209188338U
• 公開（公告）日: 2019-08-02
• 發明（設計）人: 侯繼偉
• 申請（專利權）人: 杭州弘晟智能科技有限公司
• 主分類號: B01D46/02
• 分類號: B01D46/02;B01D46/04
• 代理公司: 北京艾皮專利代理有限公司 11777
• 代理人: 丁艷俠

本實用新型涉及單晶硅生長設備技術領域，公開了一種粉塵清理裝置及包含該裝置的單晶爐尾氣自動除塵裝置。單晶爐尾氣自動除塵裝置，包括罐體，罐體上端設有出氣口，罐體下端設有進氣口；罐體內由上到下依次設有第一固定架、移動架、第二固定架，第一固定架上方設有推拉電磁鐵，推拉電磁鐵用于將移動架推向第二固定架；第一固定架與移動架之間設有拉伸件，拉伸件用于保持移動架向第一固定架運動的趨勢；移動架和第二固定架之間設有過濾布袋，第二固定架上設有過濾口，過濾布袋分別與移動架和過濾口連接。通過設置推拉電磁鐵和拉伸件，使過濾布袋產生上下抖動，從而除塵器中的過濾布袋不需要人工打開罐體進行除塵，生產效率提高。

技術領域

本實用新型涉及單晶硅生長設備技術領域，尤其涉及了一種粉塵清理裝置及包含該裝置的單晶爐尾氣自動除塵裝置。

背景技術

單晶硅生長爐是一種在真空和惰性氣體( 氬氣為主) 環境中，用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生長無錯位單晶的設備。目前的單晶硅生長爐在長晶過程中，爐內會產生粉塵和一氧化碳顆粒。為了保證單晶生長爐內真空，需要接入真空泵抽真空，產生的尾氣接入油霧分離器過濾之后排入大氣中。在真空泵抽真空過程中，爐內氣體中大量粉塵和一氧化碳顆粒會直接吸入真空泵內，粉塵與真空泵內的潤滑油混合，導致真空泵潤滑失效，如若潤滑油更換不及時，會導致真空泵損壞，但潤滑油更換頻繁，不僅資源浪費嚴重，而且加大了拉晶成本，影響生產效率。當前的解決方式是在真空泵體與單晶爐之間連接一個除塵過濾罐。除塵過濾罐內含濾芯，氣體通過濾芯能過濾大量粉塵。但同時粉塵會附著在濾芯上，很快會使濾芯堵塞，導致單晶爐內壓力急劇升高，從而影響生產。因此，工人會經常手動打開過濾爐，拿出濾芯，清理附著在濾芯上的粉塵。這個過程需要人工操作，不僅耗時影響工作效率，而且增加很多額外勞動力。

實用新型內容

為了克服現有技術的不足，本實用新型的目的之一在于提供一種粉塵清理裝置，自動清理過濾布袋上的粉塵，工作效率高。

本實用新型的目的之二在于提供一種單晶爐的尾氣自動除塵裝置，能夠讓真空泵在抽真空的過程中過濾掉爐內氣體中的粉塵。

本實用新型的目的之一采用如下技術方案實現：一種粉塵清理裝置，包括第一固定架、設于所述第一固定架下方的移動架、設于所述移動架下方的第二固定架，所述移動架和所述第二固定架之間設有過濾布袋，所述過濾布袋分別與所述移動架和所述第二固定架固定連接；

所述第一固定架上方設有推拉電磁鐵，所述推拉電磁鐵用于將所述移動架推向所述第二固定架；

所述第一固定架與所述移動架之間設有拉伸件，所述拉伸件用于保持所述移動架向所述第一固定架運動的趨勢。

進一步地，所述推拉電磁鐵包括伸縮端，所述伸縮端貫穿所述第一固定架并與所述移動架固定連接；所述拉伸件分別與所述第一固定架和所述移動架固定連接。推拉電磁鐵通過伸縮端傳遞推動移動架的力，拉伸件可以為拉簧等具有回復力的零部件。

本實用新型的目的之二采用如下技術方案實現：

一種單晶爐尾氣自動除塵器，包括：

罐體，所述罐體上端設有出氣口，所述罐體下端設有進氣口；

所述罐體內由上到下依次設有第一固定架、移動架、第二固定架，所述第一固定架上方設有推拉電磁鐵，所述推拉電磁鐵用于將所述移動架推向所述第二固定架；

所述第一固定架與所述移動架之間設有拉伸件，所述拉伸件用于保持所述移動架向所述第一固定架運動的趨勢；

所述移動架和所述第二固定架之間設有過濾布袋，所述第二固定架上設有過濾口，所述過濾布袋分別與所述移動架和所述過濾口連接；

所述第二固定架與所述罐體密封連接，所述進氣口設于所述第二固定架下方。