[實(shí)用新型]一種電感耦合等離子體質(zhì)譜儀蠕動(dòng)器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821688346.5
• 申請(qǐng)日: 2018-10-18
• 公開（公告）號(hào): CN208903970U
• 公開（公告）日: 2019-05-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李潔;荊路
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 李潔;荊路
• 主分類號(hào): H01J49/02
• 分類號(hào): H01J49/02;H01J49/06;H01J49/42
• 代理公司: 北京市躍揚(yáng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11559
• 代理人: 葉平

1.一種電感耦合等離子體質(zhì)譜儀蠕動(dòng)器，包括箱體(1)，其特征在于：所述箱體(1)的頂部螺接有箱蓋(2)，所述箱體(1)的內(nèi)腔右側(cè)固定設(shè)置有霧化器(3)，所述霧化器(3)的左側(cè)壁上連接有等離子體源(4)，所述等離子體源(4)的后方設(shè)置有離子發(fā)生器(5)，所述箱體(1)的前側(cè)壁右側(cè)固定設(shè)置有儲(chǔ)氣箱(6)，所述儲(chǔ)氣箱(6)和離子發(fā)生器(5)均通過(guò)連接管和等離子體源(4)連接，所述等離子體源(4)的外壁上設(shè)置有環(huán)形的矩管(7)，所述箱體(1)的內(nèi)腔前側(cè)壁上固定設(shè)置有射頻發(fā)生器(8)，且所述射頻發(fā)生器(8)設(shè)置在等離子體源(4)的正前方，所述等離子體源(4)的左端連接有三錐接口(10)，所述三錐接口(10)的左側(cè)連接有透鏡(11)，所述透鏡(11)的左側(cè)連接有四級(jí)桿分析器(12)，所述射頻發(fā)生器(8)的左方設(shè)置有固定在箱體(1)的內(nèi)腔前側(cè)壁上的渦輪分子泵(13)，所述渦輪分子泵(13)通過(guò)連接管分別和透鏡(11)、四級(jí)桿分析器(12)連接，所述四級(jí)桿分析器(12)的左側(cè)連接有檢測(cè)箱(14)，所述檢測(cè)箱(14)內(nèi)腔右側(cè)設(shè)置有前后方向上的電子倍增管(15)，所述檢測(cè)箱(14)內(nèi)腔左側(cè)壁上固定設(shè)置有離子檢測(cè)器(16)，所述離子檢測(cè)器(16)的右側(cè)壁上電性連接有收集器(17)，所述箱體(1)的內(nèi)腔前側(cè)壁左側(cè)固定設(shè)置有和離子檢測(cè)器(16)電性連接的單片機(jī)(18)，所述箱體(1)的前側(cè)壁左側(cè)固定設(shè)置有和單片機(jī)(18)電性連接的顯示器(19)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電感耦合等離子體質(zhì)譜儀蠕動(dòng)器，其特征在于：所述四級(jí)桿分析器(12)為四個(gè)平行的導(dǎo)電棒組成的質(zhì)量過(guò)濾器。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電感耦合等離子體質(zhì)譜儀蠕動(dòng)器，其特征在于：所述收集器(17)沿著離子檢測(cè)器(16)的長(zhǎng)度方向均勻設(shè)置為若干組結(jié)構(gòu)相同的裝置，且所述收集器(17)和離子檢測(cè)器(16)電性連接，且所述收集器(17)的均布方向和電子倍增管(15)的長(zhǎng)度方向一致。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電感耦合等離子體質(zhì)譜儀蠕動(dòng)器，其特征在于：所述三錐接口(10)包括采樣錐，截取錐和超級(jí)截取錐，且采樣錐，截取錐和超級(jí)截取錐從左至右依次設(shè)置為1.1mm、0.9mm和1.0mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電感耦合等離子體質(zhì)譜儀蠕動(dòng)器，其特征在于：所述檢測(cè)箱(14)的內(nèi)腔前后側(cè)壁上均設(shè)置有支架，且所述電子倍增管(15)嵌套在兩組支架之間。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電感耦合等離子體質(zhì)譜儀蠕動(dòng)器，其特征在于：所述單片機(jī)(18)上電性連接有導(dǎo)線，且導(dǎo)線的另一端貫穿檢測(cè)箱(14)的前側(cè)壁后和離子檢測(cè)器(16)電性連接。