[實用新型]一種高效率真空鍍膜機

有效

• 申請號: 201821686383.2
• 申請日: 2018-10-17
• 公開（公告）號: CN209816269U
• 公開（公告）日: 2019-12-20
• 發明（設計）人: 李志榮;陸創程
• 申請（專利權）人: 東莞市匯成真空科技有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 44104 廣州知友專利商標代理有限公司
• 代理人: 周克佑

本實用新型公開了一種高效率真空鍍膜機，其包括真空鍍膜室，在真空鍍膜室內安裝有制冷盤管，對應制冷盤管的位置安裝有用于加熱制冷盤管的加熱器，其特征是，真空鍍膜機還包括密封罩和直線運動機構，密封罩安裝在直線運動機構上，由直線運動機構帶動密封罩直線運動，密封罩位于真空鍍膜室內并與制冷盤管的位置對應，密封罩可密封罩住制冷盤管，對應制冷盤管的位置安裝有抽氣接頭，抽氣接頭用于與外部的抽氣泵連接，從而抽取在密封罩住制冷盤管時密封罩內的空氣。本實用新型提高了吸附效率、工作效率，能使真空鍍膜室內獲得更潔凈的真空環境。

技術領域

本實用新型涉及一種高效率真空鍍膜機。

背景技術

真空鍍膜機的鍍膜室內在高真空環境時所殘留氣體80％以上是水蒸汽，還有其它高沸點蒸汽，若用油擴散泵用作主抽氣泵則還會殘留有油蒸汽，但抽氣系統抽除這些殘留氣體的能力低、需時間長，而且所有殘留氣體還會污染工件，從而使產品的產量和質量受影響。要提高抽氣效率，首要必須提高排除水蒸汽的效率，人們采用低溫水汽捕集器解決這一難題。眾所周知，水汽的冷凝溫度與水汽分壓有關，例如水汽分壓1.33x10^-1Pa則冷凝溫度為-89.6℃；水汽分壓1.33x10^-3Pa則冷凝溫度為-112.2℃。深冷水汽捕集器的工作原理就是將一個能降溫至-120℃以下的制冷盤管放置到真空鍍膜室內，通過其表面的低溫冷凝效應，迅速捕集真空鍍膜室里的水汽和其他殘余氣體，把這些氣體冷凝成固相附在制冷盤管上，真空鍍膜室內真空度就會迅速提高，從而大大縮短抽真空的時間，并獲得鍍膜室內潔凈真空環境。

現在裝有深冷水汽捕集器的真空鍍膜機，一般都把制冷盤管安裝在鍍膜室的中央或側壁上，運作過程是這樣：在抽氣階段，當鍍膜室進入幾Pa時，即啟動制冷裝置，3～5分鐘就可制冷到-120℃或更低溫，低溫盤管快速吸附冷凝水汽、油蒸汽，達到所要求真空度，進入鍍膜作業，大大縮短抽氣時間。鍍膜完成后，在開爐門之前，必須讓制冷盤管切換至熱氣除霜，約2分鐘則迅速回溫恢復至常溫，以防止打開爐門后制冷盤管從大氣中吸附大量水汽結霜，影響下一爐次抽真空。

上述的深冷水汽捕集器配置在真空鍍膜室內，吸附水氣直接高效，但有不盡合理之處：因為在開爐門前制冷盤管又必須回溫解吸，己被制冷盤管吸附了的水汽、油汽、雜氣會再釋放回鍍膜室，部分又被鍍膜室壁、夾件和工件再重新吸附而受污染。經多次鍍膜作業，鍍膜室被反復解吸的雜氣污染，污染物會不斷積累，鍍膜室的潔凈度會不斷下降。

為了解決上述問題，現有的一種方案為：將制冷盤管安裝在擴散泵上面的高真空閥與鍍膜室抽氣口之間的管道內，在抽氣口旁增設一個真空閘板閥，可以把裝有制冷盤管的高真空閥與真空閘板閥之間的管道獨立隔離開來，抽高真空時打開高真空閥和真空閘板閥，制冷盤管制冷冷凝除水汽，不抽高真空時關閉高真空閥和真空閘板閥，它們所隔離的管道中開有帶閥門連接專用的機械泵抽氣管道，可維持制冷盤管所在管道段的真空。上述這樣連接安排必須變動傳統的真空機組的抽氣連接，即擴散泵由維持泵抽前級，鍍膜室的粗抽泵(包括機械泵和羅茨泵)不與擴散泵連接，而直接與鍍膜室連接抽低真空。另一種方案為：在高真空閥與鍍膜室抽氣口之間的管道中側開一接口，連接一制冷盤管室，連接口處置有一閘板閥，與管道隔離，把制冷盤管置于該隔離室內，該隔離室由專用泵抽氣。上述兩種方案是相類似的，其優點在真空鍍膜完畢后開啟爐門之前，可先關閉閘板閥，從而將制冷盤管隔離，使得爐門的開啟不會影響制冷盤管的工作，可以根據制冷盤管結霜情況再決定是否回溫除霜，不需要每爐都回溫除霜，更節能。回溫除霜解吸的雜氣能直接抽出鍍膜室外，不會污染鍍膜室。但這樣設計的制冷盤管遠離了鍍膜室，不能直接吸附水氣，降低了效率。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題，就是提供一種高效率真空鍍膜機，其提高了吸附效率、工作效率，能使真空鍍膜室內獲得更潔凈的真空環境。

解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案如下：