[實用新型]一種激光刻蝕裝置

有效

• 申請號: 201821680715.6
• 申請日: 2018-10-16
• 公開（公告）號: CN209050269U
• 公開（公告）日: 2019-07-02
• 發明（設計）人: 王啟明;陳超;萬楚豪;楊秋松;楊付飛;王才良;胡真;陳浩;周玉蘭;盛建雄;余勉;王瑞;李波
• 申請（專利權）人: 武漢光谷航天三江激光產業技術研究院有限公司
• 主分類號: B23K26/362
• 分類號: B23K26/362;B23K26/70
• 代理公司: 北京眾達德權知識產權代理有限公司 11570
• 代理人: 劉杰

本實用新型公開了一種激光刻蝕裝置，涉及激光刻蝕技術領域，所述裝置包括：發射激光束的光纖激光器；對所述激光束進行準直并發送準直激光束的準直鏡，所述準直鏡設置在所述激光束的光路上；將所述準直激光束進行擴束的擴束鏡，所述擴束鏡設置在所述準直激光束的光路上；可調孔徑光闌，所述孔徑光闌設置在擴束后的所述準直激光束的光路上；第一分色鏡和第二分色鏡；將反射后的所述準直激光束進行聚焦的聚焦鏡；LCD顯示屏，所述LCD顯示屏上具有一薄膜電路。解決了現有技術中的刻蝕裝置對LCD面板進行刻蝕時，工作效率低，激光刻蝕精度低，不能滿足不同刻蝕寬度的加工要求的技術問題，達到了滿足不同刻蝕寬度的加工要求，提高刻蝕線路的質量和直線度的技術效果。

技術領域

本實用新型屬于激光刻蝕技術領域，尤其涉及一種激光刻蝕裝置。

背景技術

激光刻蝕裝置是將從激光器發射出的激光，經光路系統，聚焦成高功率密度的激光束。激光束照射到顯示面板ITO薄膜電路，ITO薄膜吸收激光能量后產生揮發。隨著光束與工件相對位置的移動，最終使ITO薄膜電路刻蝕成所需要的刻蝕電路，達到刻蝕的目的。

但本申請發明人在實現本申請實施例中技術方案的過程中，發現上述現有技術至少存在如下技術問題：

現有技術中的刻蝕裝置在對LCD面板進行刻蝕時，工作效率低，激光刻蝕精度低，不能滿足不同刻蝕寬度的加工要求。

發明內容

本申請實施例通過提供一種激光刻蝕裝置，解決了現有技術中的刻蝕裝置在對LCD面板進行刻蝕時，工作效率低，激光刻蝕精度低，不能滿足不同刻蝕寬度的加工要求的技術問題，達到了滿足不同刻蝕寬度的加工要求，有效提高刻蝕線路的質量和直線度的技術效果。

本實用新型實施例提供了一種激光刻蝕裝置，所述裝置包括：發射激光束的光纖激光器；對所述激光束進行準直并發送準直激光束的準直鏡，所述準直鏡設置在所述激光束的光路上；將所述準直激光束進行擴束的擴束鏡，所述擴束鏡設置在所述準直激光束的光路上；可調孔徑光闌，所述可調孔徑光闌設置在擴束后的所述準直激光束的光路上；第一分色鏡和第二分色鏡，所述準直激光束依次經過所述第一分色鏡和所述第二分色鏡進行反射；將反射后的所述準直激光束進行聚焦的聚焦鏡，所述聚焦鏡設置在反射后的所述準直激光束的光路上；LCD顯示屏，所述LCD顯示屏上具有一薄膜電路；其中，所述聚焦鏡將所述準直激光束聚焦到所述薄膜電路上，對所述薄膜電路進行刻蝕。

優選的，所述裝置還包括：發射照明光的LED點光源；接收所述照明光并進行反射的半透半反鏡，所述半透半反鏡設置在所述照明光的光路上；其中，所述照明光經過所述半透半反鏡反射后，依次通過所述第二分色鏡和所述聚焦鏡，經過所述聚焦鏡聚焦在所述薄膜電路上。

優選的，所述裝置還包括：將經過LCD顯示屏反射，并依次經過所述第二分色鏡、半透半反鏡進行反射后的反射光進行濾光的濾光片，所述濾光片設置在所述半透半反鏡的上方；接收經過所述濾光片濾光后的反射光并進行成像的CCD相機，所述CCD相機設置在濾光后的所述反射光的光路上。

優選的，所述擴束鏡為可連續變倍擴束鏡。

優選的，所述裝置還包括：運動機構，所述運動機構與所述LCD顯示屏連接，帶動所述LCD顯示屏運動。

本實用新型實施例中的上述一個或多個技術方案，至少具有如下一種或多種技術效果：