[實(shí)用新型]探針臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821672820.5
• 申請(qǐng)日: 2018-10-16
• 公開（公告）號(hào): CN208937860U
• 公開（公告）日: 2019-06-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐陽;劉力明;黃偉東;丁俊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 信利（惠州）智能顯示有限公司
• 主分類號(hào): G02F1/13
• 分類號(hào): G02F1/13
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 葉劍

本實(shí)用新型涉及一種探針臺(tái)，包括探針臺(tái)本體、殼體和手套，所述殼體內(nèi)具有腔室，所述探針臺(tái)本體設(shè)置于所述腔室內(nèi)，所述殼體上開設(shè)有通孔，所述通孔與所述腔室連通，所述手套與所述殼體連接，且所述手套封閉所述通孔，所述手套至少部分活動(dòng)設(shè)置于所述腔室內(nèi)。探針臺(tái)本體設(shè)置于腔室內(nèi)，對(duì)腔室內(nèi)的環(huán)境進(jìn)行抽濕和降溫過程中，將手伸入手套內(nèi)，并使得手通過手套伸入腔室內(nèi)以調(diào)整探針臺(tái)本體的探針位置，一方面避免因多次調(diào)整探針而重復(fù)打開殼體，從而節(jié)省測(cè)試時(shí)間，另一方面避免重復(fù)對(duì)腔室內(nèi)抽濕和降溫。從而減少測(cè)試時(shí)間，使測(cè)試更加高效，且減少抽濕和降溫操作能降低探針臺(tái)的的功耗，降低單次測(cè)試的成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及顯示屏檢測(cè)領(lǐng)域，特別是涉及一種探針臺(tái)。

背景技術(shù)

通過在玻璃基板上集成薄膜晶體管以形成液晶顯示面板，液晶顯示面板以下簡(jiǎn)稱顯示面板，在生產(chǎn)顯示面板過程中，以相同的工藝在玻璃基板上制作出用于檢測(cè)薄膜晶體管特性的測(cè)試元件組合(Test Element Group，簡(jiǎn)稱TEG)，通過半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備來測(cè)試元件組合的電特性，其測(cè)試結(jié)果能反映顯示面板的電特性，目前的其中一種半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備為探針臺(tái)。由于液晶顯示屏的應(yīng)用越發(fā)廣泛，致使對(duì)液晶顯示屏在不同工作環(huán)境的要求也越來越高，故需測(cè)試顯示面板的低溫性能，目前通過探針臺(tái)進(jìn)行測(cè)試，探針臺(tái)本體設(shè)置在一密封的殼體內(nèi)，測(cè)試前需要對(duì)殼體內(nèi)部進(jìn)行抽濕處理，抽濕完畢后再進(jìn)行降溫。在抽濕過程中，設(shè)備會(huì)發(fā)生震動(dòng)使得探針偏位；在降溫過程中，由于溫度急速下降，會(huì)引起探針、玻璃的冷縮，導(dǎo)致探針偏位。若打開殼體對(duì)探針進(jìn)行調(diào)整，則需要再次對(duì)殼體內(nèi)部進(jìn)行抽濕和降溫，效率低下。

實(shí)用新型內(nèi)容

基于此，有必要提供一種探針臺(tái)。

一種探針臺(tái)，包括探針臺(tái)本體、殼體和手套，所述殼體內(nèi)具有腔室，所述探針臺(tái)本體設(shè)置于所述腔室內(nèi)，所述殼體上開設(shè)有通孔，所述通孔與所述腔室連通，所述手套與所述殼體連接，且所述手套封閉所述通孔，所述手套至少部分活動(dòng)設(shè)置于所述腔室內(nèi)，且所述殼體至少部分設(shè)置為透明結(jié)構(gòu)。

上述實(shí)施例的所述探針臺(tái)，探針臺(tái)本體設(shè)置于腔室內(nèi)，對(duì)腔室內(nèi)的環(huán)境進(jìn)行抽濕和降溫過程中，將手伸入手套內(nèi)，并使得手通過手套伸入腔室內(nèi)以調(diào)整探針臺(tái)本體的探針位置，一方面避免因多次調(diào)整探針而重復(fù)打開殼體，從而節(jié)省測(cè)試時(shí)間，另一方面避免重復(fù)對(duì)腔室內(nèi)抽濕和降溫。從而減少測(cè)試時(shí)間，使測(cè)試更加高效，且減少抽濕和降溫操作能降低探針臺(tái)的的功耗，降低單次測(cè)試的成本。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述通孔的數(shù)量和所述手套的數(shù)量分別為兩個(gè)，所述通孔與所述手套一一對(duì)應(yīng)設(shè)置。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，兩個(gè)所述通孔之間的距離為400mm～500mm。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述通孔的截面形狀為三角形、矩形、圓形和多邊形中的其中一種。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，還包括法蘭和螺栓，所述法蘭開設(shè)有伸入口和螺口，所述手套上開設(shè)有通口，所述殼體開設(shè)有螺孔，所述法蘭的外側(cè)表面通過所述手套抵接于所述殼體，所述伸入口與所述手套的內(nèi)部連通，所述螺口、所述通口和所述螺孔依次連通，所述螺栓穿設(shè)于所述螺口、所述通口和所述螺孔內(nèi)，且所述螺栓與所述螺口螺接，所述螺栓與所述螺孔螺接。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，還包括密封墊片，所述密封墊片設(shè)置于所述手套和所述法蘭之間。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述手套為硅膠手套或塑料手套。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述殼體包括本體部和艙門，所述腔室開設(shè)于所述本體部?jī)?nèi)，所述本體部開設(shè)有窗口，所述窗口與所述腔室連通，所述艙門與所述本體部連接，且活動(dòng)封閉所述窗口，所述通孔開設(shè)于所述本體部或所述艙門上。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述殼體為透明殼體。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述殼體上開設(shè)有觀察口，所述觀察口內(nèi)設(shè)置有透明片，所述透明片封閉所述觀察口。

附圖說明