[實用新型]探針臺

有效

• 申請號: 201821672820.5
• 申請日: 2018-10-16
• 公開（公告）號: CN208937860U
• 公開（公告）日: 2019-06-04
• 發明（設計）人: 徐陽;劉力明;黃偉東;丁俊
• 申請（專利權）人: 信利（惠州）智能顯示有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 葉劍

本實用新型涉及一種探針臺，包括探針臺本體、殼體和手套，所述殼體內具有腔室，所述探針臺本體設置于所述腔室內，所述殼體上開設有通孔，所述通孔與所述腔室連通，所述手套與所述殼體連接，且所述手套封閉所述通孔，所述手套至少部分活動設置于所述腔室內。探針臺本體設置于腔室內，對腔室內的環境進行抽濕和降溫過程中，將手伸入手套內，并使得手通過手套伸入腔室內以調整探針臺本體的探針位置，一方面避免因多次調整探針而重復打開殼體，從而節省測試時間，另一方面避免重復對腔室內抽濕和降溫。從而減少測試時間，使測試更加高效，且減少抽濕和降溫操作能降低探針臺的的功耗，降低單次測試的成本。

技術領域

本實用新型涉及顯示屏檢測領域，特別是涉及一種探針臺。

背景技術

通過在玻璃基板上集成薄膜晶體管以形成液晶顯示面板，液晶顯示面板以下簡稱顯示面板，在生產顯示面板過程中，以相同的工藝在玻璃基板上制作出用于檢測薄膜晶體管特性的測試元件組合(Test Element Group，簡稱TEG)，通過半導體檢測設備來測試元件組合的電特性，其測試結果能反映顯示面板的電特性，目前的其中一種半導體檢測設備為探針臺。由于液晶顯示屏的應用越發廣泛，致使對液晶顯示屏在不同工作環境的要求也越來越高，故需測試顯示面板的低溫性能，目前通過探針臺進行測試，探針臺本體設置在一密封的殼體內，測試前需要對殼體內部進行抽濕處理，抽濕完畢后再進行降溫。在抽濕過程中，設備會發生震動使得探針偏位；在降溫過程中，由于溫度急速下降，會引起探針、玻璃的冷縮，導致探針偏位。若打開殼體對探針進行調整，則需要再次對殼體內部進行抽濕和降溫，效率低下。

實用新型內容

基于此，有必要提供一種探針臺。

一種探針臺，包括探針臺本體、殼體和手套，所述殼體內具有腔室，所述探針臺本體設置于所述腔室內，所述殼體上開設有通孔，所述通孔與所述腔室連通，所述手套與所述殼體連接，且所述手套封閉所述通孔，所述手套至少部分活動設置于所述腔室內，且所述殼體至少部分設置為透明結構。

上述實施例的所述探針臺，探針臺本體設置于腔室內，對腔室內的環境進行抽濕和降溫過程中，將手伸入手套內，并使得手通過手套伸入腔室內以調整探針臺本體的探針位置，一方面避免因多次調整探針而重復打開殼體，從而節省測試時間，另一方面避免重復對腔室內抽濕和降溫。從而減少測試時間，使測試更加高效，且減少抽濕和降溫操作能降低探針臺的的功耗，降低單次測試的成本。

在其中一個實施例中，所述通孔的數量和所述手套的數量分別為兩個，所述通孔與所述手套一一對應設置。

在其中一個實施例中，兩個所述通孔之間的距離為400mm～500mm。

在其中一個實施例中，所述通孔的截面形狀為三角形、矩形、圓形和多邊形中的其中一種。

在其中一個實施例中，還包括法蘭和螺栓，所述法蘭開設有伸入口和螺口，所述手套上開設有通口，所述殼體開設有螺孔，所述法蘭的外側表面通過所述手套抵接于所述殼體，所述伸入口與所述手套的內部連通，所述螺口、所述通口和所述螺孔依次連通，所述螺栓穿設于所述螺口、所述通口和所述螺孔內，且所述螺栓與所述螺口螺接，所述螺栓與所述螺孔螺接。

在其中一個實施例中，還包括密封墊片，所述密封墊片設置于所述手套和所述法蘭之間。

在其中一個實施例中，所述手套為硅膠手套或塑料手套。

在其中一個實施例中，所述殼體包括本體部和艙門，所述腔室開設于所述本體部內，所述本體部開設有窗口，所述窗口與所述腔室連通，所述艙門與所述本體部連接，且活動封閉所述窗口，所述通孔開設于所述本體部或所述艙門上。

在其中一個實施例中，所述殼體為透明殼體。

在其中一個實施例中，所述殼體上開設有觀察口，所述觀察口內設置有透明片，所述透明片封閉所述觀察口。

附圖說明