[實用新型]氣體檢測工裝堵頭

有效

• 申請號: 201821672514.1
• 申請日: 2018-10-15
• 公開（公告）號: CN209264189U
• 公開（公告）日: 2019-08-16
• 發明（設計）人: 翟桃
• 申請（專利權）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: G01M3/02
• 分類號: G01M3/02
• 代理公司: 北京智晨知識產權代理有限公司 11584
• 代理人: 張婧

本實用新型實施例涉及檢測技術領域，公開了一種氣體檢測工裝堵頭，包括螺母、螺栓；螺母開設有階梯孔，階梯孔包括相互連通的孔徑較小孔和孔徑較大孔；螺母包括圍成孔徑較大孔的第一孔壁、圍成孔徑較小孔的第二孔壁、連接第一孔壁與第二孔壁的臺階面、與第一孔壁和第二孔壁間隔設置的外側壁；螺栓包括桿部和沿桿部的徑向方向延伸、并與桿部一體形成的凸緣；桿部包括延伸至孔徑較大孔內、并與第一孔壁經由螺紋固定連接的連接端，且桿部為實心機構；凸緣設于桿部遠離連接端的末端。本實用新型實施例提供的氣體檢測工裝堵頭能簡化組裝工序、提高組裝效率，降低了配合節點過多導致的檢驗誤差，不易漏氣而避免導致氦檢誤判。

技術領域

本實用新型實施例涉及檢測技術領域，特別涉及一種氣體檢測工裝堵頭。

背景技術

在半導體制備工藝中，冷卻夾套在使用前需要檢測是否漏氣，現有技術中通常采用氣體檢測方法檢測冷卻夾套的密封性能，具體的，在檢測時需要在冷卻夾套的接口處安裝連接件，并利用連接件將冷卻夾套與檢測儀連接起來。例如，采用氦檢法檢測冷卻夾套的密封性能時，利用的工裝連接件為兩個軸向上開設有通孔的螺桿；在冷卻夾套的進水口處，利用一個螺桿作為進水口的堵頭，該螺桿的一端通過圓螺母連接進水管、另一端通過圓螺母連接量棒；在冷卻夾套的出水口處，利用另一個螺桿作為出水口和氦檢裝置的接頭，該螺桿的一端通過圓螺母連接出水管，另一端通過圓螺母連接氦檢裝置的丁字形管道；使用時連通氦檢儀的波紋管連通丁字形管道的外徑較大的一端。

本實用新型的發明人發現，現有技術中存在如下問題：作為堵頭的氣體檢測工裝連接件需要通過一個圓螺母將螺桿與金屬量棒連接，螺桿的另一端又需要通過一個螺母與進水管連接，多個螺母的組裝工序繁復，導致組裝效率低下；并且，螺桿與其他結構之間的配合節點過多，檢驗誤差較大，且容易漏氣，導致氦檢誤判。

實用新型內容

本實用新型實施方式的目的在于提供氣體檢測工裝堵頭，其能簡化組裝工序、提高組裝效率，降低了配合節點過多導致的檢驗誤差，不易漏氣而避免導致氦檢誤判。

為解決上述技術問題，本實用新型的實施方式提供了一種氣體檢測工裝堵頭，包括螺母及螺栓；所述螺母開設有階梯孔，所述階梯孔包括相互連通的孔徑較小孔和孔徑較大孔；所述螺母包括圍成所述孔徑較大孔的第一孔壁、圍成所述孔徑較小孔的第二孔壁、連接所述第一孔壁與所述第二孔壁的臺階面、與所述第一孔壁和所述第二孔壁間隔設置的外側壁；所述螺栓包括桿部和沿所述桿部的徑向方向延伸、并與所述桿部一體形成的凸緣；所述桿部包括延伸至所述孔徑較大孔內、并與所述第一孔壁經由螺紋固定連接的連接端，且所述桿部為實心機構；所述凸緣設于所述桿部遠離所述連接端的末端。

本實用新型實施方式相對于現有技術而言，螺栓包括與桿部一體形成的凸緣，一體式的結構設計，便于治具卡持，無需用金屬管封堵，無需額外利用螺母連接螺桿，精簡了工裝堵頭的結構，減少了螺母的用量，簡化了組裝工序，從而提高了組裝效率，同時減少了堵頭與其他結構之間的配合節點，從而降低了檢驗誤差，不易漏氣而避免導致氦檢誤判。桿部為實心機構進一步減少了漏氣的幾率、增加了工裝的可靠性。

另外，還包括：設置在所述孔徑較大孔內并抵接所述連接端的密封圈。階梯孔內容置有密封圈，冷卻夾套進水口的金屬管可以通過孔徑較小孔進入螺母的階梯孔、并抵持在螺栓的連接端上，使密封圈套設在金屬管外壁，從而增強連接處的密封性，減少漏氣的幾率，進而減少誤判幾率；密封圈設置在所述孔徑較大孔中，能防止密封圈脫離螺母、導致漏氣，保證工裝的可靠性。

另外，還包括：設置在所述孔徑較大孔內的擋圈，所述擋圈一側抵持所述密封圈，另一側抵持所述臺階面。如此設置可以防止密封圈夾持在螺栓與螺母之間，防止組裝時密封圈受螺栓和螺母擠壓而被損壞、導致產生氦檢誤判的情況發生；同時，還可以避免螺母的臺階面與連接端之間的距離過長，導致密封圈未被抵接在桿部上，密封圈與連接端之間存在漏點，導致氦檢誤判。