[實(shí)用新型]一種晶圓片刷洗機(jī)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821671912.1
• 申請日: 2018-10-15
• 公開（公告）號: CN208767263U
• 公開（公告）日: 2019-04-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李繼忠
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇科沛達(dá)半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京科家知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11427
• 代理人: 陳娟

1.一種晶圓片刷洗機(jī)，包括機(jī)體(1)，其特征在于：所述機(jī)體(1)頂部的左側(cè)開設(shè)有清洗槽(2)，所述清洗槽(2)的頂部焊接有環(huán)形水管(3)，所述環(huán)形水管(3)頂部的左側(cè)固定安裝有接水管(4)，所述接水管(4)的一端貫穿機(jī)體(1)并延伸至其外，所述環(huán)形水管(3)的底部均勻安裝有出水頭(5)，所述清洗槽(2)的中部活動安裝有清洗板(6)，所述清洗板(6)的一端套接有斷齒齒輪(7)，所述清洗槽(2)的底部固定安裝有第一電機(jī)(8)，所述第一電機(jī)(8)的輸出端轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)動齒輪(9)，所述轉(zhuǎn)動齒輪(9)的頂部與斷齒齒輪(7)的底部相嚙合，所述機(jī)體(1)的頂部焊接有基臺(10)，所述基臺(10)的頂部固定安裝有第一伸縮氣缸(11)，所述第一伸縮氣缸(11)的自由端焊接有頂座(12)，所述頂座(12)的底部固定安裝有第二電機(jī)(13)，所述第二電機(jī)(13)的輸出端轉(zhuǎn)動連接有刷毛板(14)，所述刷毛板(14)位于清洗槽(2)的上方，所述機(jī)體(1)頂部的右側(cè)開設(shè)有烘干槽(18)，所述清洗槽(2)與烘干槽(18)之間開設(shè)有斜槽(15)，所述機(jī)體(1)的內(nèi)腔安裝有第二伸縮氣缸(16)，所述第二伸縮氣缸(16)的自由端安裝有閉合板(17)，所述閉合板(17)位于斜槽(15)內(nèi)，所述烘干槽(18)的底部固定安裝有烘板(19)，所述烘板(19)上均勻安裝有烘干管(20)，所述機(jī)體(1)的底部對稱焊接有減震底座(21)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓片刷洗機(jī)，其特征在于：所述機(jī)體(1)的內(nèi)腔開設(shè)有排泄槽(22)，所述排泄槽(22)的底部貫穿機(jī)體(1)的底部，所述機(jī)體(1)的底部焊接有滑座(23)，所述滑座(23)上滑動安裝有盛接盒(24)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓片刷洗機(jī)，其特征在于：所述清洗槽(2)的右側(cè)焊接有定位凸臺(25)，且定位凸臺(25)位于斜槽(15)的底部。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓片刷洗機(jī)，其特征在于：所述清洗板(6)上開設(shè)有漏孔。