[實用新型]晶圓載具的氣體傳輸結構

有效

• 申請號: 201821667008.3
• 申請日: 2018-10-15
• 公開（公告）號: CN208954957U
• 公開（公告）日: 2019-06-07
• 發明（設計）人: 鄭凱鴻
• 申請（專利權）人: 樂華科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/677
• 代理公司: 廈門市新華專利商標代理有限公司 35203
• 代理人: 甘紫紅

1.一種晶圓載具的氣體傳輸結構，其特征在于，包含：

一架體；

一轉動組件，該轉動組件設于該架體上；

一供承載一晶圓載具的承載座，該承載座設于該轉動組件上；

一供連接至少一供氣來源的進出氣裝置，該進出氣裝置設于該架體上；

至少一進氣組件，該進氣組件的一端處連接于該進出氣裝置上，該進氣組件的另一端處設于該承載座上并選擇性連接至該晶圓載具上，以配合該進出氣裝置將氣體導入該晶圓載具；及

至少一出氣組件，該出氣組件的一端處連接于該進出氣裝置上，該出氣組件的另一端處設于該承載座上并選擇性連接至該晶圓載具上，以配合該進出氣裝置將氣體導出該晶圓載具。

2.如權利要求1所述的晶圓載具的氣體傳輸結構，其特征在于:該進氣組件包含有一進氣連接件及一進氣管件，該進氣連接件設于該承載座上，連接至該晶圓載具內，而該進氣管件的一端處連接于該進氣連接件上，另一端處連接于該進出氣裝置上。

3.如權利要求1所述的晶圓載具的氣體傳輸結構，其特征在于:該出氣組件包含有一出氣連接件及一出氣管件，該進氣連接件設于該承載座上，連接至該晶圓載具內，而該出氣管件的一端處連接于該出氣連接件上，另一端處連接于該進出氣裝置上。

4.如權利要求1所述的晶圓載具的氣體傳輸結構，其特征在于:該轉動組件包含有一轉動座及一旋轉動力件，該旋轉動力件設于該架體上，而該轉動座設于該旋轉動力件上，連接該承載座。

5.如權利要求1所述的晶圓載具的氣體傳輸結構，其特征在于:該架體上設有一吸取組件。

6.如權利要求5所述的晶圓載具的氣體傳輸結構，其特征在于:該吸取組件包含有一吸取件及一移動支架，該吸取件位于該承載座的一側處，而該移動支架的一端處設于該架體上，另一端處連接于該吸取件上。

7.如權利要求1所述的晶圓載具的氣體傳輸結構，其特征在于：該架體及該轉動組件之間設有一水平移動組件。

8.如權利要求7所述的晶圓載具的氣體傳輸結構，其特征在于：該水平移動組件包含有一水平動力件、至少一滑軌、及一動力承載件，該滑軌設于該架體上，而該動力承載件滑動設置于該滑軌上并連接該轉動組件，而該水平動力件設于該架體上并連接該動力承載件，以帶動該動力承載件于滑軌上移動。

9.如權利要求1所述的晶圓載具的氣體傳輸結構，其特征在于：該承載座上設有至少一定位部。

10.如權利要求1所述的晶圓載具的氣體傳輸結構，其特征在于：該架體上設有一移動組件。