[實用新型]一種樹脂砂輪

有效

• 申請號: 201821665261.5
• 申請日: 2018-10-15
• 公開（公告）號: CN209598996U
• 公開（公告）日: 2019-11-08
• 發明（設計）人: 蔡家豪;陳殿良;汪其長;李俊;邱智中;蔡吉明
• 申請（專利權）人: 安徽三安光電有限公司
• 主分類號: B24D5/10
• 分類號: B24D5/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型屬磨具磨削領域，尤其涉及一種含有冷卻液微球的樹脂砂輪，該樹脂砂輪包括安裝基體和砂輪層；所述安裝基體中心設置有安裝通孔，所述砂輪層設置于安裝基體外側面上，其特征在于：所述砂輪層由若干個樹脂本體組成，所述樹脂本體內設置有內含冷卻液的微球和研磨顆粒。

技術領域

本實用新型屬于磨具磨削領域，尤其涉及一種含有冷卻液微球的樹脂砂輪。

背景技術

現LED和硅片減薄領域，襯底（晶圓）厚度減薄均使用砂輪進行磨削。現有技術對于襯底（晶圓）厚片減薄均采用陶瓷砂輪或金屬砂輪，現技術缺陷在于陶瓷砂輪減薄時必須加冷卻液，冷卻液起著一個特殊的作用，不但對產品的質量起著決定性作用，而且對加工費用也會有很大的影響，冷卻液循環使用過程中會帶有脫落的砂粒和磨屑。在加工冷卻、潤滑過程中會對襯底（晶圓）表面造成劃傷及邊緣造成暗裂，影響產品良率。

發明內容

為了解決上述問題，本實用新型提供了一種樹脂砂輪，用于研磨待研磨物體，包括安裝基體和砂輪層；所述安裝基體中心設置有安裝通孔，所述砂輪層設置于安裝基體外側面上，其特征在于：所述砂輪層由若干個樹脂本體組成，所述樹脂本體內設置有內含冷卻液的微球和研磨顆粒。

優選的，所述微球為內含冷卻液的玻璃球。

優選的，所述樹脂砂輪在研磨作業時，所述微球破裂后釋放冷卻液。

優選的，所述研磨顆粒為金剛石顆粒。

優選的，所述微球占樹脂本體的體積比為10%~20%。

優選的，所述研磨顆粒占樹脂本體的體積比為30%~35%。

優選的，所述研磨顆粒和所述微球均分布于所述樹脂本體內。

優選的，所述研磨顆粒和所述微球非均分布于所述樹脂本體內。

優選的，所述冷卻液為油基冷卻液。

本實用新型至少具有以下有益效果：

1.避免因外置冷卻液供給導致的冷卻液進入不充分引起的研磨表面質量差的問題，提高片源表面研磨質量；2.避免冷卻液循環使用，減少脫落的砂粒和磨屑在加工冷卻、潤滑過程中會對晶圓襯底表面造成劃傷及邊緣造成暗裂，影響產品良率。

附圖說明

圖1 為本實用新型之一種樹脂砂輪之結構示意圖。

圖2 為本實用新型之樹脂本體之剖視結構示意圖。

圖3 為本實用新型之微球之剖視結構示意圖。

具體實施方式

下面，參照附圖對本實用新型的實施例進行詳細說明。在此，本實用新型的范圍不局限于下面所要說明的實施形態，本實用新型的實施形態可變形為多種其他形態。

實施例1

如圖1~3所示，本實用新型提供了一種樹脂砂輪，用于研磨待研磨物體，包括安裝基體200和砂輪層；安裝基體200中心設置有安裝通孔210，砂輪層設置于安裝基體200外側面上。其中，砂輪層由若干個樹脂本體100組成，該述樹脂本體100內設置有內含冷卻液112的微球110和研磨顆粒120。

本實施例提供的砂輪層由樹脂本體100以同心圓的形式排列而成，該砂輪層在研磨作業時，樹脂本體100內的微球110破裂后釋放冷卻液112。其中，微球110為內含冷卻液112的玻璃球111，砂輪研磨磨削過程中，玻璃球111會受力不斷碎裂，進而釋放出冷卻液112，釋放出的冷卻液112直接用于降低研磨過程中的熱量。