[實用新型]石英保溫桶

有效

• 申請號: 201821663396.8
• 申請日: 2018-10-15
• 公開（公告）號: CN209041866U
• 公開（公告）日: 2019-06-28
• 發明（設計）人: 李光華;趙偉恒;高峰
• 申請（專利權）人: 沈陽芯貝伊爾半導體科技有限公司
• 主分類號: F16L59/02
• 分類號: F16L59/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型提供了一種石英保溫桶，石英保溫桶豎直放置在固定面上，石英保溫桶對晶圓片保溫，石英保溫桶包括：桶體、底板、端蓋和保溫片；桶體為兩端具有開口的中空腔體，且晶圓片嵌于桶體內；底板蓋合在桶體的底端開口處，且將桶體的底端開口閉合；端蓋上設置有通孔，端蓋蓋合在桶體的頂端開口處，且通孔與桶體相通；至少兩個保溫片套設在桶體的外側。當嵌于桶體內的晶圓片進行散熱時，通過將至少兩個保溫片套設在桶體的外側，可實現對石英保溫桶進行保溫，從而防止因溫度的變化過快，而致使晶圓片發生損壞及避免工藝氣相沉積因溫度產生晶圓不良率，進而提高了晶圓片的質量，及晶圓片表面長膜均勻性。

技術領域

本實用新型涉及石英技術領域，具體而言，涉及一種石英保溫桶。

背景技術

目前，在相關技術中，現有的石英保溫桶由于在外側未設置保溫片，因此，石英保溫桶的外表面成一整體，致使石英保溫桶的散熱面積增大，導致石英保溫桶內的溫度變化快，這就容易對嵌入石英保溫桶內的晶圓片產生損壞，降低了晶圓片的質量。

實用新型內容

本實用新型旨在至少解決現有技術或相關技術中存在的技術問題之一。

為此，本實用新型的提出一種石英保溫桶。

有鑒于此，本實用新型提供了一種石英保溫桶，石英保溫桶豎直放置在固定面上，石英保溫桶對晶圓片保溫，石英保溫桶包括：桶體、底板、端蓋和保溫片；桶體為兩端具有開口的中空腔體，且晶圓片嵌于桶體內；底板蓋合在桶體的底端開口處，且將桶體的底端開口閉合；端蓋上設置有通孔，端蓋蓋合在桶體的頂端開口處，且通孔與桶體相通；至少兩個保溫片套設在桶體的外側。

在該技術方案中，通過將桶體設置為兩端具有開口的中空腔體，以實現將晶圓片嵌于桶體內，從而對晶圓片進行保溫；通過將底板蓋合在桶體的底端開口處，以實現將桶體的底端開口進行閉合，從而提高石英保溫桶的密封性。通過在端蓋上設置有通孔，并將端蓋蓋合在桶體的頂端開口處，以實現將通孔與桶體相通；通過將至少兩個保溫片套設在桶體的外側，以將桶體的外表面分隔成多個部分，減少單個部分的散熱面積，以實現當對嵌于桶體內的晶圓片進行加熱時，減緩桶體內溫度的變化速度，從而使晶圓片的溫度緩慢上升；同時，當嵌于桶體內的晶圓片進行散熱時，通過將至少兩個保溫片套設在桶體的外側，可實現對石英保溫桶進行保溫，從而防止因溫度的變化過快，而致使晶圓片發生損壞及避免工藝氣相沉積因溫度產生晶圓不良率，進而提高了晶圓片的質量，及晶圓片表面長膜均勻性。

另外，本實用新型提供的上述技術方案中的石英保溫桶還可以具有如下附加技術特征：

在上述技術方案中，優選地，保溫片為八個，且八個保溫片套設在桶體的底部。

在該技術方案中，通過將保溫片設置為八個，并將八個保溫片套設在桶體的底部，進一步實現減緩桶體內的溫度變化，以對石英保溫桶進行保溫，從而防止因溫度的變化過快，而致使晶圓片發生損壞，進而提高了晶圓片的質量，延長了晶圓片的使用年限。

在上述技術方案中，優選地，石英保溫桶包括：固定孔和連接件；至少兩個固定孔穿過底板；連接件穿過固定孔與固定面連接。

在該技術方案中，通過將至少兩個固定孔穿過底板，并使連接件穿過固定孔后與固定面相連接，以實現將石英保溫桶固定在固定面上，從而提高石英保溫桶的穩定性，避免石英保溫桶發生傾倒，進而提高了石英保溫桶使用的安全性，提升用戶的體驗。

在上述技術方案中，優選地，固定孔為四個，且四個固定孔均勻設置在底板上。

在該技術方案中，通過將固定孔設置為四個，并將四個固定孔均勻設置在底板上，以實現底板的受力更加均勻，從而使石英保溫桶保持平衡狀態，以避免石英保溫桶發生傾倒，進而提高石英保溫桶的穩定性，并提高了石英保溫桶使用的安全性，提升用戶的體驗。