[實用新型]一種膠體粒子掩膜制備裝置

有效

• 申請號: 201821650904.9
• 申請日: 2018-10-12
• 公開（公告）號: CN208965039U
• 公開（公告）日: 2019-06-11
• 發明（設計）人: 秦歌;李永亮;劉凱瑞;王江帆;閆亮;明平美
• 申請（專利權）人: 河南理工大學
• 主分類號: C23F1/02
• 分類號: C23F1/02;C23F1/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種膠體粒子掩膜制備裝置，包括槽體（1）、升降裝置（2）、調速裝置（3）、溶液加熱恒溫裝置（4）、粒子平整裝置（5）和液面監測裝置（6），其特征在于：所述的槽體（1）包括固定槽（101）和溶液槽（102）；所述的升降裝置（2）包括電機（201）、螺母絲杠（202）、導軌（203）、螺母滑塊（204）和移動平臺（205）；所述的調速裝置（3）包括電機（301）、調速齒輪組（302）、調速箱（303）、輸出軸（304）和鎖緊螺母（305）；所述的粒子平整裝置（5）包括調整螺栓（501）、壓輥（502）、支撐架（503）和平整安裝架（504）；所述的液面監測裝置（6）包括液面監測計（601）和穩液管（602），所述的升降裝置（2）中的電機（201）安裝在固定槽（101）的底部；所述的調速裝置（3）安裝在升降裝置（2）的移動平臺（205）上，且與升降裝置（2）共同設置在固定槽（101）的側壁上；所述的溶液加熱恒溫裝置（4）設置在溶液槽（102）的槽底；所述的粒子平整裝置（5）設置在調速裝置（3）的調速箱（303）上；所述的液面監測裝置（6）設置在溶液槽（102）外壁出液口處。

2.根據權利要求1所述的一種膠體粒子掩膜制備裝置，其特征是：所述的粒子平整裝置（5）中的工件（7）與壓輥（502）之間間隙可通過旋轉調整螺栓（501）調節，其間隙大于粒子層數乘以粒子直徑、小于粒子層數加一后乘以粒子直徑。

3.根據權利要求1所述的一種膠體粒子掩膜制備裝置，其特征是：所述的粒子平整裝置（5）中的調整螺栓（501）間隙裝配在平整安裝架（504）頂端中間的圓孔內；支撐架（503）的一端為兩側帶有燕尾結構、中間外側為半圓狀內螺紋結構，其燕尾結構裝配在平整安裝架（504）頂端的燕尾槽中，半圓狀內螺紋與裝配在圓孔內的調整螺栓（501）螺紋連接配合，旋轉調整螺栓（501）時，調整螺栓（501）與平整安裝架（504）無相對位移，螺紋帶動支撐架上下移動，從而調節粒子平整裝置（5）中壓輥（502）與工件（7）間間隙。

4.根據權利要求1所述的一種膠體粒子掩膜制備裝置，其特征是：所述的槽體（1）、粒子平整裝置（5）、調速箱（303）和輸出軸（304）采用高強度、耐化學腐蝕的高分子材料，如聚丙烯、聚甲醛。

5.根據權利要求1所述的一種膠體粒子掩膜制備裝置，其特征是：所述的液面監測裝置（6）中穩液管（602）采用透明耐熱材料，如玻璃。