[實用新型]一種用于氯化物沉積速率測試的采樣裝置

有效

• 申請號: 201821650448.8
• 申請日: 2018-10-11
• 公開（公告）號: CN209247450U
• 公開（公告）日: 2019-08-13
• 發明（設計）人: 邊美華;彭家寧;梁世容;梁慶國;張興森;盧展強;李君華;劉桂嬋
• 申請（專利權）人: 廣西電網有限責任公司電力科學研究院
• 主分類號: G01N1/20
• 分類號: G01N1/20
• 代理公司: 南寧東智知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 45117
• 代理人: 巢雄輝;裴康明

1.一種用于氯化物沉積速率測試的采樣裝置，其特征在于：包括內框（2）、外框（1）、安裝部；所述內框（2）嵌套在外框（1）內部，所述內框（2）的底部設置有支撐部；所述支撐部與外框（1）固定連接；所述內框（2）的頂部設置有固定部；所述固定部與外框（1）可拆卸連接；所述安裝部與外框（1）或支撐部固定連接，用于將采樣裝置安裝在采樣點處。

2.根據權利要求1所述的一種用于氯化物沉積速率測試的采樣裝置，其特征在于：所述支撐部包括支撐板I（3）、支撐板II（4）；所述內框（2）的底部與外框（1）的底部持平；所述支撐板I（3）和支撐板II（4）分別固定設置在外框（1）相對的兩端；所述支撐板I（3）固定在外框（1）下部的邊上，支撐板I（3）的底部與外框（1）的邊持平；所述支撐板I（3）的寬度大于外框（1）的寬度且小于外框（1）的寬度與內框（2）的寬度之和；所述支撐板II（4）固定在外框（1）上部的邊上；支撐板II（4）的底部設置在內框（2）的邊上，支撐板II（4）的頂部超出外框（1）的寬度。

3.根據權利要求2所述的一種用于氯化物沉積速率測試的采樣裝置，其特征在于：所述安裝部包括安裝孔（5）；所述安裝孔（5）設置在支撐板II（4）超出外框（1）寬度的部分上。

4.根據權利要求1所述的一種用于氯化物沉積速率測試的采樣裝置，其特征在于：所述支撐部為嵌套在外框（1）內部的支撐框（9）；所述支撐框（9）固定在外框（1）的頂部與底部之間，且支撐框（9）的底部與外框（1）的底部持平；所述內框（2）嵌套在外框（1）內部且放置在支撐框（9）上面；所述支撐框（9）的高度與內框（2）的高度之和等于外框（1）的高度；所述內框（2）的寬度小于等于支撐框（9）的寬度。

5.根據權利要求4所述的一種用于氯化物沉積速率測試的采樣裝置，其特征在于：所述支撐框（9）與外框（1）一體成型或者支撐框（9）與外框（1）通過粘接實現固定連接。

6.根據權利要求1所述的一種用于氯化物沉積速率測試的采樣裝置，其特征在于：所述支撐部為固定在外框（1）內壁上的凸起（10）；所述凸起（10）沿徑向水平設置在外框（1）的內壁上且在外框（1）的頂部與底部之間；所述外框（1）的每條邊上設置至少1個凸起（10）；所述凸起（10）的水平長度大于等于內框（2）的寬度。

7.根據權利要求1所述的一種用于氯化物沉積速率測試的采樣裝置，其特征在于：所述固定部包括固定角鐵（7）；所述固定角鐵（7）包括水平部、豎直部；所述豎直部設置在內框（2）的內壁上；所述水平部設置在外框（1）的邊上，且水平部上設置有通孔，外框（1）的邊上對應設置與通孔大小匹配的連接孔，所述連接孔設置有內螺紋；采用螺桿與蝶形螺母（8）相配合，穿過通孔、連接孔，實現固定部與外框（1）可拆卸連接。

8.根據權利要求1或4-7任一所述的一種用于氯化物沉積速率測試的采樣裝置，其特征在于：所述安裝部包括剛性連接件，所述連接件的兩端分別設置有通孔；所述連接件的一端通過通孔與外框（1）的上部的邊固定連接；所述連接件的另一端通過通孔與采樣點固定連接。

9.根據權利要求8所述的一種用于氯化物沉積速率測試的采樣裝置，其特征在于：所述連接件為角鐵或條形鋼板。